专利汇可以提供石墨烯晶片的制备方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且提供了一种 石墨 烯晶片的制备方法,包括对需要沉积 石墨烯 晶片的衬底和石墨材料进行活化处理;通过 离子注入 方法控制石墨烯的厚度;将衬底与石墨表面 接触 ,施加外物理场使石墨烯晶片从石墨材料表面剥离下来并沉积到衬底表面。其提供的石墨烯晶片的制备方法直接将高 质量 石墨烯制备到合适的衬底上、可实现准确 定位 到衬底某一 指定 位置 ,并且制备的石墨烯晶片厚度和尺寸都可控。同时该制备方法工艺流程简单,设备与微 电子 工艺设备兼容,不需要大量的人工劳动 力 ,重复性好,可以用于自动化宏量生产石墨烯晶片。,下面是石墨烯晶片的制备方法专利的具体信息内容。
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