专利汇可以提供纳米硅薄膜晶体管液晶显示器的制备方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种纳米 硅 薄膜 晶体管 液晶 显示器 的制备方法,包括在玻璃或 单晶硅 基板 上通过金属溅射成膜、 光刻 、湿刻制作扫描线极源漏极 电极 ;利用 等离子体 化学汽相沉积技术制备纳米硅薄膜;通过连续成膜、小岛光刻、小岛干刻制作晶体管的有源层,在该有源层的 基础 上加入了一层非晶硅,厚度约为150nm;制备栅极绝缘层和 钝化 保护层,该栅极绝缘层和钝化保护层共用氮化硅薄膜;经过孔干刻S/D金属Al层溅射成膜、S/D光刻、S/D湿刻形成TFT的源、漏电极、栅极及数据线;最终在玻璃基板上形成晶体管阵列。本发明制备的纳米硅 薄膜晶体管 液晶显示器 件响应时间短、容量大、清晰度高和品质高全真彩色视频显示设备。,下面是纳米硅薄膜晶体管液晶显示器的制备方法专利的具体信息内容。
本发明涉及纳米硅薄膜应用技术和液晶显示技术领域,特指一种将纳米硅薄膜晶体管 控制液晶材料已达到显示图像的目的的装置,即纳米硅薄膜晶体管液晶显示器。
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