灵敏度可调的真空检漏自动化系统
专利汇可以提供灵敏度可调的真空检漏自动化系统专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种灵敏度可调的 真空 检漏自动化系统，主要包括真空获得和测量单元以及检漏单元；所述真空获得与测量单元包括真空室、分子 泵 、 螺杆泵 、真空计、 气动 插板 阀 、可控蝶阀、 电磁阀 和 过滤器 ；所述检漏单元包括氦质谱检漏仪、标准漏孔、充放气设备和计算机控制系统，计算机控制系统通过PLC程序对分子泵、螺杆泵、氦质谱检漏仪以及各阀 门 进行控制。本发明通过计算机控制系统，提高了试验仪器操作的便捷性和准确率，试验 数据处理 能 力 有效提升，节省了试验时间和经费。，下面是灵敏度可调的真空检漏自动化系统专利的具体信息内容。
1.灵敏度可调的真空检漏自动化系统，主要包括真空获得和测量单元以及检漏单元；
所述真空获得与测量单元包括真空室、分子泵、螺杆泵、真空计、气动插板阀、可控蝶阀、电磁阀和过滤器；所述检漏单元包括氦质谱检漏仪、标准漏孔、充放气设备和计算机控制系统，其中，分子泵一端通过气动插板阀一连接在真空室上，分子泵另一端分别通过电磁阀一和可控蝶阀与氦质谱检漏仪、螺杆泵管路连通，螺杆泵与可控蝶阀管路又分别通过气动插板阀二和电磁阀二与真空室、过滤器一连通；真空室上还分别设置有真空计、通过电磁阀三连通的过滤器二以及通过电磁阀四连接的标准漏孔，真空室还连接有充放气设备，对待测样品进行充放气，计算机控制系统通过PLC程序对分子泵、螺杆泵、氦质谱检漏仪以及各阀门进行控制，其中，所述可控蝶阀通过设置阀门开度来控制阀门的流量，所述计算机控制系统用于向分子泵、各阀门、氦质谱检漏仪发出控制信号，并且处理分子泵、各阀门、氦质谱检漏仪传入的数据信号，再将控制、测量结果呈现出来。
2.如权利要求1所述的系统，其中，螺杆泵与气动插板阀二的管路上还设置有真空计二。
3.如权利要求1或2所述的系统，其中，电磁阀四与标准漏孔之间的管路上还设置有备用电磁阀五，用于平衡标准漏孔压力。
4.利用权利要求1-2任一项所述系统进行检漏的方法，包括以下步骤：
1）将待检漏产品设置在真空室内，连接好充放气设备，对真空室抽气；
2）达到检漏要求真空度后，启动氦质谱检漏仪，氦质谱检漏仪正常工作后，连入检漏系统；
3）通过可控蝶阀调节进入螺杆泵气体量，从而改变进入氦质谱检漏仪的气体量，改变氦质谱检漏仪的本底噪声；
4）通过计算机控制系统标定标准漏孔，记录相关数据，标定完毕后恢复至系统本底后，对待检漏产品充入要求压力的示踪气体，记录氦质谱检漏仪数据并将结果反馈给计算机控制系统，再经计算机控制系统处理后，得出待检漏产品的参数。
灵敏度可调的真空检漏自动化系统
技术领域
背景技术
发明内容
具体实施方式
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