Barrier rib forming method for plasma display panel
专利汇可以提供Barrier rib forming method for plasma display panel专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且PURPOSE: To improve printability of glass paste so as to obtain a barrier rib of good shape by providing constitution such that a lipophilic property high molecular layer is formed in a part of forming the barrier rib on a glass panel.
CONSTITUTION: A substance of forming a lipophilic property high molecular layer 6, which is a radical copolymer of P acid styrene and styrene containing a phenylazide group of optical reaction, is applied onto a glass panel 1 of arranging a transparent conductive film electrode 3. Next, the molecular layer 6 is exposed by using an optomask 7, by irradiation, for instance, of UV (250 to 320nm). Then, this layer is developed. Here as a developer, a general developer of negative resist of xylene or the like is used. A UV-irradiated part is left as a pattern of the lipophilic property high molecular layer 6. On the panel 1 having the pattern of the molecular layer 6, since wettability is improved when glass paste 2 is printed on the pattern, an improper shape due to improper wet and chip of the paste 2 is prevented from being easily generated.
COPYRIGHT: (C)1993,JPO&Japio，下面是Barrier rib forming method for plasma display panel专利的具体信息内容。
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、文字・図形等の表示に用いられるプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）のバリアリブ形成方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図５は、例えば特開昭５８−１５０２４
８号公報に示された従来のプラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）のバリアリブ形成方法を示す側面断面図である。 図において、１は一般的なソーダライムガラスから成るガラスパネル、２は放電セルを形成するバリアリブ（隔壁）を作るためのガラスペースト、３は放電を起こすストライプ状の透明導電膜電極（ＩＴＯ膜）、４はガラスペースト２を印刷するためのステンレスメッシュスクリーン、５はステンレスメッシュスクリーン４からガラスペースト２を転写させるためのスキージである。
【０００３】次に動作について説明する。 一般的にプラズマディスプレイパネルは上下に配された２枚のガラスパネルにそれぞれ互いに直交して形成された複数のストライプ状の電極間にガスを封入して成り、電圧を印加することにより発生するガス放電を利用して数字や文字を表示する素子である。 それぞれの電極が対向してマトリクス形状に形成される交点間の空間にガス放電を起こすことにより発光させる。 この時、放電の拡散（クロストーク）を防ぐためバリアリブ（隔壁）が形成される。 隔壁の形状は、幅が約１００μｍ，高さ（厚み）が１００
μｍ以上である。
【０００４】従来のバリアリブ形成は、厚膜スクリーン印刷法によって作られるのが主流である。 その技術は、
ガラス粉末（ＳｉＯ 2 ，Ａｌ 2 Ｏ 3 ，ＰｂＯ等）を有機バインダ，溶媒等と混合したガラスペースト２を用いる。
【０００５】図５（ａ）において、透明導電膜電極（Ｉ
ＴＯ膜）３がパターニングされたガラスパネル１上に、
各電極間の間隙に隔壁を作るようにガラスペースト２の印刷を行う。 ガラスペースト２はステンレスメッシュスクリーン４に乳剤で抜きパターンを作り、スキージ５でガラスペースト２を抜きパターンから押し出すようにして印刷する。 印刷後、乾燥及び焼成を行い、バリアリブ（隔壁）を形成する。 １回の印刷では、形成可能な厚みはせいぜい十数μｍであり、１００μｍ以上の厚みをつけるためには、印刷・乾燥工程を数回〜十数回繰り返す必要がある。 図５（ｂ）はバリアリブ形成後の状態を示す。 ガラスペースト２が積層してバリアリブ２Ａが形成されている。 また、ガラスパネル１上には
【０００６】
【化１】
【０００７】に見られるように、シラノール基（−Ｓｉ
ＯＨ）が存在し、極めて親水性なため有機分を多く含むガラスペースト２が印刷しづらくなる。 このため、ガラスペースト２は、厚みを稼ぎ、ガラスパネル１上に載せやすくするために高粘度のタイプのものが用いられている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】従来のプラズマディスプレイパネルのバリアリブ形成方法は、以上のように構成されているので、 （１）所定の高さのバリアリブを得るために数回〜十数回の印刷工程が必要であるため、印刷の位置再現性が悪い。 （２）ガラスは表面に親水性のシラノール基（−ＳｉＯ
Ｈ）を持つため、溶剤等が入ったガラスペーストは印刷しにくく、印刷形状が悪くなる。 （３）ガラスペーストは高粘度のため、スクリーンメッシュを抜けにくく、そのため印刷時にパターンのダレや抜けが発生する。 また、ステンレスメッシュスクリーンの目詰まりも発生しやすい。 等の問題点があった。
【０００９】この発明は、上記のような問題点を解消するためになされたもので、バリアリブを構成するガラスペーストの印刷性を改善し、精度の良い形状にすることができるプラズマディスプレイパネルのバリアリブ形成方法を得ることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】この発明に係るプラズマディスプレイパネルのバリアリブ形成方法は、ガラスパネル上の透明導電膜電極間のバリアリブを形成する該当部分に、フォトリソグラフィ（写真製版）等を用いて親油性高分子層を形成し、親水性のシラノール基（−Ｓｉ
ＯＨ）を持つガラスパネル表面を改質するものである。
【００１１】
【作用】この発明におけるプラズマディスプレイパネルのバリアリブ形成方法は、バリアリブを形成するガラスパネル上の該当箇所を親水性から親油性に表面改質することにより、ガラスペーストの濡れ性を良くし、印刷の位置再現性の一助を担い、ガラスペーストのダレや濡れ不良を抑えて印刷精度を上げる。 また、表面改質を行うことにより、ガラスペーストの粘度を、ステンレスメッシュスクリーンからの抜けが良好に行えるように下げても、ガラスパネルの該当箇所の印刷性は損なわれず、また、粘度を下げないまでもガラスペーストの溶剤成分をステンレスメッシュスクリーンの抜けが良くなるようにチクソ性を下げる方向に振っていったとしても、同様の印刷性が得られる。 これによりステンレスメッシュスクリーンの目詰まりが防げる。
【００１２】
実施例１． 以下、この発明の一実施例を図について説明する。 図１において、１〜５までは図５と共通である。
６は親油性高分子層で、ガラスパネル１上のバリアリブを作る個所、即ち、ガラスペースト２を印刷する部分に設けられている。
【００１３】ガラスパネル１に親油性高分子層６を形成する方法としては、フェニルアジド基の光反応性を利用する方法がある。 これは、フェニルアジド基がＵＶ（紫外線）（波長２５０〜３２０ｎｍ）照射によってナイトレンに転化し、ナイトレンが近傍の炭化水素と直ちに反応して共有結合を形成することを利用している。 フェニルアジド基を側鎖に有する親油性の高分子を合成すれば、図２に示されるように炭化水素が表面にあるガラスパネル１に化学的に安定な親油性の高分子層を写真製版法（フォトリソグラフィ）により形成することができる。
【００１４】ここでは化１に示されるように、ガラスパネル１表面にシラノール基（−ＳｉＯＨ）による炭化水素が表面に存在するため、
【００１５】
【化２】
【００１６】に示されるＰアシドスチレンと、
【００１７】
【化３】
【００１８】に示されるスチレンとをラジカル共重合させた合成高分子を用いて、ガラスパネル１上に親油性高分子層６を形成する。
【００１９】具体的な形成方法の実施例を図３に示す。
図３（ａ）に示されるように、透明導電膜電極３を配置したガラスパネル１上に光反応性のフェニルアジド基を含むＰアシドスチレンとスチレンとのラジカル共重合体である親油性高分子層６を形成する物質を塗布する。 次に、図３（ｂ）のように、ＵＶ（２５０〜３２０ｎｍ）
照射により親油性高分子層６をフォトマスク７を用いて露光する。 次に、これを現像することにより、図３
（ｃ）のような形状が得られる。 現像液としては、キシレン等のネガ型レジストの一般的な現像液を用いる。 そしてＵＶ照射された部分が親油性高分子層６のパターンとして残る。
【００２０】以上のように形成された、親油性高分子層６のパターンを持つガラスパネル１上では、そのパターン上にガラスペースト２を印刷する時に濡れ性が改善されるため、ガラスペースト２の濡れ不良や欠けによる形状不良が発生しにくい。 また、そのパターン上にガラスペースト２が選択的に載りやすいため、印刷の位置精度向上に寄与する。 図１（ｂ）のように、バリアリブ（隔壁）２Ａは約１００μｍ以上の厚みをつける必要があるため、数回〜十数回の重ね印刷をする必要があるが、初回印刷の精度が形状及び位置精度に影響を及ぼすため、
この表面処理の効果は大である。
【００２１】また、ガラスペースト２は先に述べたように厚みを稼ぐためと、印刷形状を安定させるために高粘度，高チクソ性を有する。 そのためステンレスメッシュスクリーン４の目詰まりが起こり、パターンの欠けが発生するという問題があったが、この発明によれば、親油性高分子層６のパターンを持つガラスパネル１上では、
ガラスペースト２の粘度を下げたり、チクソ性を下げても、ガラスペースト２のダレや濡れ不良による印刷性の低下は起りにくく、ステンレスメッシュスクリーン４の目詰まりやパターンの欠け等も軽減される。 以上により、品質改善と共に歩留向上をも図れる。 なお、印刷後、焼成（４５０℃〜６００℃）を行うと親油性高分子層６は分解して燃焼される。
【００２２】実施例２． なお、上記実施例１ではガラスパネル１上の表面改質後のバリアリブ形成にガラスペースト２の厚膜スクリーン印刷法を用いたが、図４に示されるようにローラ８を用いて印刷しても良い。
【００２３】その場合、親油性高分子層６は厚みを２０
〜３０μｍ以上にして、ガラスペースト２は厚膜スクリーン印刷法で用いたものより粘度を下げたものを用いる。 ローラ８とガラスパネル１とのギャップをガラスペースト粘度や室温に応じて調整し、接触する程度の距離で塗布すると、親油性高分子層６にガラスペースト２は選択的に載るため、バリアリブを容易に形成できる。 また、この場合はガラスペースト２の粘度が低く、１回当たりの印刷膜厚は薄いが、重ね塗り工程が厚膜スクリーン印刷法より簡略なため作業性が良い。
【００２４】実施例３． 上記実施例１では親油性高分子層６にＰアシドスチレンとスチレンのラジカル共重合体を用いたが、さらに親油性を増すためには、Ｐアシドスチレンとパーフルオロメタクリレートからラジカル共重合体を生成して用いることもできる。
【００２５】実施例４． さらに、親油性高分子層６には、膜厚が薄く効果が落ちるが、一般的なネガタイプフォトレジスト（環化ゴム系）やポジタイプフォトレジスト（キノン，ジアザイド系）を用いても良い。
【００２６】
【発明の効果】以上のように、この発明によればガラスパネル上のバリアリブを形成する該当部分に親油性高分子層を形成するように構成したので、ガラスペーストの印刷性が向上し、良好な形状のバリアリブが得られる。
このため、放電の拡散（クロストーク）がなく画面のコントラストが良いプラズマディスプレイパネルが得られる。 また、印刷したガラスペーストの濡れ不良や欠けを低減できるため、歩留りを向上させることができる等の効果がある。
【図１】この発明の一実施例によるプラズマディスプレイパネルのバリアリブ形成方法を示す側面断面図である。
【図２】この発明の原理を示す構成図である。
【図３】この発明の一実施例による親油性高分子層の形成工程を示す側面断面図である。
【図４】この発明の他の実施例によるプラズマディスプレイパネルのバリアリブ形成方法を示す側面断面図である。
【図５】従来のプラズマディスプレイパネルのバリアリブ形成方法を示す側面断面図である。
１ ガラスパネル ２ ガラスペースト ２Ａ バリアリブ ６ 親油性高分子層
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