技术领域
[0001] 本实用新型涉及
半导体技术领域，具体而言，涉及一种托盘及具有其的载具。
背景技术
[0002]
薄膜太阳能电池具有重量轻、厚度薄、可弯曲、易携带的特点，使其应用范围广泛。在薄膜
太阳能电池的制备的过程中，常在晶片上附有一层薄膜。由于晶片的材料性质和工艺原因，附有薄膜的晶片四
角应
力较大。将附有薄膜的晶片放入现有托盘中进行搬运或者运输时，晶片四角会碰撞到托盘，可能会造成晶片破裂，造成损耗。
实用新型内容
[0003] 本实用新型提供了一种托盘及具有其的载具，以解决
现有技术中附有薄膜的晶片在移动时容易破裂的问题。
[0004] 为了解决上述问题，根据本实用新型的一个方面，本实用新型提供了一种托盘，用于放置附有薄膜的晶片，托盘包括：底盘；多个凸台，多个凸台间隔设置在底盘上，底盘与多个凸台围绕形成用于放置晶片的容纳腔，凸台的背离底盘的一面用于承载薄膜凸出于晶片的部分；在底盘的周向上，相邻两个凸台的间隔区域用于避让晶片的角。
[0005] 进一步地，底盘为方形结构，多个凸台沿底盘的四个边沿分布。
[0006] 进一步地，托盘包括四个凸台，四个凸台与底盘的四个边沿一一对应设置，每个凸台的长度方向均沿底盘的一个边沿延伸。
[0007] 进一步地，底盘具有避让缺口，避让缺口的开口位于底盘的一侧，多个凸台中的任一个为第一凸台，第一凸台包括两个限位
块，两个限位块分布在避让缺口的开口的两侧。
[0008] 进一步地，底盘的上表面为平面，凸台凸出设置在上表面上，凸台的厚度小于或等于晶片的厚度。
[0009] 进一步地，凸台为长方体结构，凸台的宽度大于或等于薄膜凸出于晶片的部分在凸台的宽度方向上的尺寸。
[0010] 根据本实用新型的另一方面，提供了一种载具，包括多个排列设置的托盘，托盘为上述提供的托盘。
[0011] 进一步地，载具还包括：侧
支架，侧支架上沿垂直于底盘的方向排列设置有多个插槽，多个托盘的边沿一一对应地插入多个插槽中。
[0012] 进一步地，载具包括多个侧支架，多个侧支架围绕成U型结构，各侧支架上的插槽在垂直于底盘的方向相互对应，托盘的边沿插入各侧支架上位于同一高度的插槽内，多个托盘从U型结构的开口处插入。
[0013] 进一步地，多个侧支架中的第一侧支架和第二侧支架形成U型结构的开口，载具还包括：两个
挡板，用于对多个托盘进行限位，两个挡板均沿垂直于底盘的方向设置，其中，一个挡板遮挡住第一侧支架的每个插槽的至少一部分，另一个挡板遮挡住第二侧支架的每个插槽的至少一部分。
[0014] 进一步地，载具还包括上端板和下端板，侧支架的下端与下端板连接，侧支架的上端与上端板连接。
[0015] 应用本实用新型的技术方案，在托盘中设置有底盘和多个凸台，多个凸台间隔设置在底盘上，底盘与多个凸台围绕形成用于放置晶片的容纳腔，凸台的背离底盘的一面用于承载薄膜凸出于晶片的部分，在底盘的周向上，相邻两个凸台的间隔区域用于避让晶片的角。通过上述设置，将附有薄膜的晶片放置到托盘上后，由于有专
门避让晶片的角的区域，因此晶片的角不会与托盘
接触，这样避免了晶片的角受到磕碰，从而避免了附有薄膜的晶片在移动时破裂，减少晶片的损耗，节约成本。
附图说明
[0016] 构成本
申请的一部分的
说明书附图用来提供对本实用新型的进一步理解，本实用新型的示意性
实施例及其说明用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中：
[0017] 图1示出了本实用新型的实施例一提供的托盘的结构示意图；
[0018] 图2示出了将附有薄膜的晶片放入图1中的托盘的示意图；
[0019] 图3示出了本实用新型的实施例二提供的托盘的结构示意图；
[0020] 图4示出了本实用新型的实施例三提供的载具的结构示意图；
[0021] 图5示出了图4中的载具的剖视图。
[0022] 其中，上述附图包括以下附图标记：
[0023] 10、底盘；11、避让缺口；20、凸台；21、限位块；30、侧支架；40、挡板；51、上端板；52、下端板；61、晶片；62、薄膜。
具体实施方式
[0024] 下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本实用新型及其应用或使用的任何限制。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
[0025] 如图1至图2所示，本实用新型的实施例一提供了一种托盘，用于放置附有薄膜62的晶片61，托盘包括：底盘10；多个凸台20，多个凸台20间隔设置在底盘10上，底盘10与多个凸台20围绕形成用于放置晶片61的容纳腔，凸台20的背离底盘10的一面用于承载薄膜62凸出于晶片61的部分；在底盘10的周向上，相邻两个凸台20的间隔区域用于避让晶片61的角。
[0026] 应用本实施例的技术方案，在托盘中设置有底盘10和多个凸台20，多个凸台20间隔设置在底盘10上，底盘10与多个凸台20围绕形成用于放置晶片61的容纳腔，凸台20的背离底盘10的一面用于承载薄膜62凸出于晶片61的部分，在底盘10的周向上，相邻两个凸台20的间隔区域用于避让晶片61的角。通过上述设置，将附有薄膜62的晶片61放置到托盘上后，由于有专门避让晶片61的角的区域，因此晶片61的角不会与托盘接触，这样避免了晶片
61的角受到磕碰，从而避免了附有薄膜62的晶片61在移动时破裂，减少晶片61的损耗，节约成本。多个凸台20可对晶片61起到限制作用，这样在输送晶片61时，可减少或避免晶片61晃动。
[0027] 在本实施例中，底盘10为方形结构，多个凸台20沿底盘10的四个边沿分布。这样可与方形的附有薄膜62的晶片61匹配，以便于放置附有薄膜62的晶片61。
[0028] 在本实施例中，托盘包括四个凸台20，四个凸台20与底盘10的四个边沿一一对应设置，每个凸台20的长度方向均沿底盘10的一个边沿延伸。这样对于方形的晶片61，可以通过四个凸台20对晶片61的四个侧面进行限位，从而放置和固定晶片61，减少或避免晃动。通过上述设置还可以减小托盘的尺寸，以减小占用空间。
[0029] 如图2所示，底盘10的上表面为平面，凸台20凸出设置在上表面上，凸台20的厚度小于或等于晶片61的厚度。通过上述设置，当附有薄膜62的晶片61放置到托盘上后，薄膜62的下表面与凸台20的上表面平齐，或者薄膜62的下表面与凸台20的上表面之间有间隙，这样可避免凸台20抵压薄膜62，以避免损伤薄膜。
[0030] 进一步地，凸台20为长方体结构，凸台20的宽度大于或等于薄膜62凸出于晶片61的部分在凸台20的宽度方向上的尺寸。这样可通过凸台20对薄膜62的边沿进行保护，以避免薄膜62的边沿与其他物品碰撞而造成薄膜62的损坏。
[0031] 如图3所示，在本实用新型的实施例二中，与上述实施例不同的是，底盘10具有避让缺口11，避让缺口11的开口位于底盘10的一侧，多个凸台20中的任一个为第一凸台，第一凸台包括两个限位块21，两个限位块21分布在避让缺口11的开口的两侧。通过设置避让缺口11，可便于机械手等设备伸入托盘中，以取放晶片61。将第一凸台设置为包括两个限位块21，可以在对晶片61进行限位的同时，不好阻挡避让缺口11。避让缺口11可以设置为方形、U形等形状。
[0032] 如图4和图5所示，本实用新型的实施例三提供了一种载具，载具包括多个排列设置的托盘，托盘为上述实施例提供的托盘。应用本实施例的技术方案，在托盘中设置有底盘10和多个凸台20，多个凸台20间隔设置在底盘10上，底盘10与多个凸台20围绕形成用于放置晶片61的容纳腔，凸台20的背离底盘10的一面用于承载薄膜62凸出于晶片61的部分，在底盘10的周向上，相邻两个凸台20的间隔区域用于避让晶片61的角。通过上述设置，将附有薄膜62的晶片61放置到托盘上后，由于有专门避让晶片61的角的区域，因此晶片61的角不会与托盘接触，这样避免了晶片61的角受到磕碰，从而避免了附有薄膜62的晶片61在移动时破裂。在载具中设置多个托盘，可以一次承载和输送多个附有薄膜62的晶片61，从而提高输送效率。
[0033] 在本实施例中，载具还包括：侧支架30，侧支架30上沿垂直于底盘10的方向排列设置有多个插槽，多个托盘的边沿一一对应地插入多个插槽中。通过设置侧支架30便于多个托盘的布置和固定。而且，采用插槽插接的方式，可以方便地实现多个托盘的装配。在本实施例中，相邻两个托盘之间具有足够的间隙，以避免托盘与下方或上方的薄膜62或晶片61发生碰撞。例如，相邻的两个托盘之间设有预设间距，预设间距大于晶片的厚度，以便机械手取放晶片。
[0034] 如图4和图5所示，在本实施例中，载具包括多个侧支架30，多个侧支架30围绕成U型结构，各侧支架30上的插槽在垂直于底盘10的方向相互对应，托盘的边沿插入各侧支架30上位于同一高度的插槽内，多个托盘从U型结构的开口处插入。通过设置多个侧支架30，能够更好地对多个托盘进行限位和
支撑。将多个侧支架30围绕成U型结构，可方便多个托盘的装配。
[0035] 进一步地，多个侧支架30中的第一侧支架和第二侧支架形成U型结构的开口，载具还包括：两个挡板40，用于对多个托盘进行限位，两个挡板40均沿垂直于底盘10的方向设置，其中，一个挡板40遮挡住第一侧支架的每个插槽的至少一部分，另一个挡板40遮挡住第二侧支架的每个插槽的至少一部分。多个侧支架30围绕成U型结构，可以对托盘的三个侧面进行限位，而U型结构具有开口的一侧，托盘仍然存在可移动的
风险。通过设置两个挡板40，可以对托盘位于U型结构的开口的一侧进行限位，这样托盘的四个侧面均有限位，从而对托盘进行了可靠限位，避免托盘晃动，提高可靠性和安全性。
[0036] 在本实施例中，每个托盘的避让缺口的开口均朝向U型结构的开口，这样可形成取放区域，便于取放晶片。
[0037] 可选地，如图5所示，在本实施例中，设置有四个侧支架30，围绕形成U型结构，其中两个侧支架30可对托盘的远离U型结构的一侧(在
水平方向可以理解为托盘的后侧)进行限位，另两个侧支架分别对托盘的左侧和右侧进行限位，挡板40对托盘的位于U型结构的开口的一侧(在水平方向可以理解为托盘的前侧)进行限位。
[0038] 在图5中，挡板40为两个，两个挡板40分别与两个侧支架30连接，这两个侧支架30即为第一侧支架和第二侧支架。这样可以提高限位效果以及载具的结构强度。
[0039] 在本实施例中，载具还包括上端板51和下端板52，侧支架30的下端与下端板52连接，侧支架30的上端与上端板51连接。通过上端板51和下端板52可以提高载具的整体结构强度，并且可便于多个侧支架30以及挡板40的布置。
[0040] 以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何
修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
[0041] 需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。
[0042] 除非另外具体说明，否则在这些实施例中阐述的部件和步骤的相对布置、数字表达式和数值不限制本实用新型的范围。同时，应当明白，为了便于描述，附图中所示出的各个部分的尺寸并不是按照实际的比例关系绘制的。对于相关领域普通技术人员已知的技术、方法和设备可能不作详细讨论，但在适当情况下，所述技术、方法和设备应当被视为授权说明书的一部分。在这里示出和讨论的所有示例中，任何具体值应被解释为仅仅是示例性的，而不是作为限制。因此，示例性实施例的其它示例可以具有不同的值。应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步讨论。
[0043] 在本实用新型的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或
位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。
[0044] 为了便于描述，在这里可以使用空间相对术语，如“在……之上”、“在……上方”、“在……上表面”、“上面的”等，用来描述如在图中所示的一个器件或特征与其他器件或特征的空间位置关系。应当理解的是，空间相对术语旨在包含除了器件在图中所描述的方位之外的在使用或操作中的不同方位。例如，如果附图中的器件被倒置，则描述为“在其他器件或构造上方”或“在其他器件或构造之上”的器件之后将被
定位为“在其他器件或构造下方”或“在其他器件或构造之下”。因而，示例性术语“在……上方”可以包括“在……上方”和“在……下方”两种方位。该器件也可以其他不同方式定位(旋转90度或处于其他方位)，并且对这里所使用的空间相对描述作出相应解释。
[0045] 此外，需要说明的是，使用“第一”、“第二”等词语来限定零部件，仅仅是为了便于对相应零部件进行区别，如没有另行
声明，上述词语并没有特殊含义，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制。
