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一种筛板式反应器石英载体及其加工工艺

阅读：569发布：2020-05-12

专利汇可以提供一种筛板式反应器石英载体及其加工工艺专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明公开了一种筛板式反应器石英载体及其加工工艺，包括主管体、法兰、顶板、挡板、石英环、偶管、小法兰，所述主管体通过焊接方式与法兰固定连接，位于所述主管体上紧邻所述法兰位置固定对称焊接有小法兰，所述主管体外侧固定焊接有偶管，所述法兰相对应一侧固定焊接有顶板，所述顶板位于所述主管体最外侧，所述挡板中心位置对称开有两个通孔，所述挡板固定焊接于所述主管体内，且与所述顶板平行设置，位于顶板、挡板之间固定设有石英环，所述石英环通过焊接方式与顶板及挡板固定连接，所述顶板大小为所述挡板的1.7倍。，下面是一种筛板式反应器石英载体及其加工工艺专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种筛板式反应器石英载体，其特征在于：包括主管体(1)、法兰(2)、顶板(3)、挡板(4)、石英环(5)、偶管(6)、小法兰(7)；
所述主管体(1)通过焊接方式与法兰(2)固定连接，位于所述主管体(1)上紧邻所述法兰(2)位置固定对称焊接有小法兰(7)，所述主管体(1)外侧固定焊接有偶管(6)；
所述法兰(2)相对应一侧固定焊接有顶板(3)，所述顶板(3)位于所述主管体(1)最外侧；
所述挡板(4)中心位置对称开有两个通孔，所述挡板(4)固定焊接于所述主管体(1)内，且与所述顶板(3)平行设置，位于顶板(3)、挡板(4)之间固定设有石英环(5)，所述石英环(5)通过焊接方式与顶板(3)及挡板(4)固定连接，所述顶板(3)大小为所述挡板(4)的1.7倍。
2.根据权利要求1所述的一种筛板式反应器石英载体，其特征在于：所述法兰(2)厚度为30-35mm，所述法兰(2)小端面带有台阶，所述法兰(2)带有坡度，所述坡度角为30度。
3.根据权利要求1所述的一种筛板式反应器石英载体，其特征在于：所述小法兰(7)圆周对称设置两个，且与所述主管体(1)相通，位于所述主管体(1)外侧的偶管(6)一端与所述小法兰(7)固定焊接，且相通。
4.根据权利要求1所述的一种筛板式反应器石英载体，其特征在于：所述石英环(5)圆周端面上开有通孔，且通孔与所述偶管(6)一端固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种筛板式反应器石英载体，其特征在于：所述顶板(3)上布置有通孔，所述通孔50度间隔设置，且由所述顶板(3)中心向外扩散呈四圈，且第一圈至第三圈等距，第四圈与第三圈间距为前三圈间隔间距的1.2倍。
6.根据权利要求5所述的一种筛板式反应器石英载体，其特征在于：所述顶板(3)上布置的通孔由中心向外至第三圈逐渐递增，通孔最多均布10个，所述第四圈均布通孔数量为第二圈的二分之一。
7.根据权利要求1所述的一种筛板式反应器石英载体，其特征在于：所述偶管(6)采用四组点焊方式与所述主管体(1)连接，且间隔均布。
8.一种权利要求1-8所述的一种筛板式反应器石英载体的加工工艺，其特征在于，包括如下步骤：
S1:预处理，采用5％～10％硝酸浸泡整体部件，随后次用5％～20％氢氟酸浸泡，温度控制在10-30℃，纯水清洗干净；
S2:加工，采用灯光车床对接主管体与法兰,打表定位同心度、垂直度；
S3:热处理，充分退火，温度为1100～1180℃，恒温2小时，随炉冷却后精磨端面，细研磨法兰及法兰接口；
S4:将步骤S3中处理后的零件放入5％～10％硝酸浸泡4小时后，温度10-30℃，纯水清洗干净，进行画线激光打孔位置；
S5:将步骤S4中激光打孔处理后的零件放入5％～10％硝酸浸泡，5％～20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；
S6:将S5进行加工整体长度确定，退火经过酸洗机处理，5％～20％氢氟酸浸泡，温度
10-30℃，纯水清洗干净；
S7:将S1-S6抛光退火，经过酸洗机处理，全部配件5％～10％硝酸浸泡,5％～20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；
S8:进行组配合焊接，首先焊接顶板与石英环后充分退火，温度为1100～1180℃，恒温一小时，随炉冷却，经过酸洗机加入5％～7％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；
S9:焊接顶板与主管体,补料需饱满，焊接后进行充分退火，温度为1100～1180℃，恒温
2小时，车削顶板焊口，细研磨，进过两次酸洗第一次采用5％～10％硝酸浸泡、，温度10-30℃，纯水清洗干净，第二次采用5％～20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；
S10:抛光顶板,充分退火，温度为1100～1180℃，恒温一小时，经过酸洗机采用5％～
20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；
S11:焊接偶管,充分退火，温度为1100～1180℃，恒温一小时，经过酸洗机5％～20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；
S12:焊接挡板，充分退火，温度为1100～1180℃，恒温一小时，经过酸洗机5％～20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；
S13:焊接两处小法兰，充分退火，温度为1100～1180℃，恒温一小时，经过酸洗机5％～
20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；
S14:火抛分两次，充分退火，温度为1100～1180℃，恒温一小时；
S15:检验尺寸及外观，经过酸洗机5％～10％硝酸浸泡，5％～20％氢氟酸过酸处理，温度10-30度，纯水清洗干净，洁净封装，入库。

说明书全文

一种筛板式反应器石英载体及其加工工艺

技术领域

[0001] 本发明涉及炉管设备技术领域，具体涉及一种筛板式反应器石英载体及其加工工艺。

背景技术

[0002] 现有的炉管设备中常用石英管，而与石英管配备的组件中激光筛板打孔，由于片大孔多，激光在加工孔时容易炸裂，或在孔边有细小的炸纹，使后序加工中难度加大，且筛板与管体焊接，由于筛板位于管体顶端，并且进气管与筛板连接时无法两侧同时烧焊，造成只能一侧精烧，容易炸裂，同时原有的石英管结构设计在整体使用上效率低，影响工作，为此特别设计了一种新型的立式石英管。

发明内容

[0003] 本发明的目的在于提供一种筛板式反应器石英载体及其加工工艺，以解决上述背景技术中提出的问题。该立式管在外部有2支进气管与法兰相连，焊接后通过管体直通顶部，再通过筛板在压力作用下向管体输入氢氧混合型成的水蒸气。

[0004] 本发明的目的是通过下述技术方案予以实现：一种筛板式反应器石英载体，包括主管体、法兰、顶板、挡板、石英环、偶管、小法兰；

[0005] 所述主管体通过焊接方式与法兰固定连接，位于所述主管体上紧邻所述法兰位置固定对称焊接有小法兰，所述主管体外侧固定焊接有偶管；

[0006] 所述法兰相对应一侧固定焊接有顶板，所述顶板位于所述主管体最外侧；

[0007] 所述挡板中心位置对称开有两个通孔，所述挡板固定焊接于所述主管体内，且与所述顶板平行设置，位于顶板、挡板之间固定设有石英环，所述石英环通过焊接方式与顶板及挡板固定连接，所述顶板大小为所述挡板的1.7倍。

[0008] 进一步地，所述法兰厚度为30-35mm，所述法兰小端面带有台阶，所述法兰带有坡度，所述坡度角为30度。

[0009] 进一步地，所述小法兰圆周对称设置两个，且与所述主管体相通，位于所述主管体外侧的偶管一端与所述小法兰固定焊接，且相通。

[0010] 进一步地，所述石英环圆周端面上开有通孔，且通孔与所述偶管一端固定连接。

[0011] 进一步地，所述顶板上布置有通孔，所述通孔50度间隔设置，且由所述顶板中心向外扩散呈四圈，且第一圈至第三圈等距，第四圈与第三圈间距为前三圈间隔间距的1.2倍。

[0012] 进一步地，所述顶板上布置的通孔由中心向外至第三圈逐渐递增，通孔最多均布10个，所述第四圈均布通孔数量为第二圈的二分之一。

[0013] 进一步地，所述偶管采用四组点焊方式与所述主管体连接，且间隔均布。

[0014] 一种筛板式反应器石英载体的加工工艺，包括如下步骤：

[0015] S1:预处理，采用5％～10％硝酸浸泡整体部件，随后次用5％～20％氢氟酸浸泡，温度控制在10-30℃，纯水清洗干净；

[0016] S2:加工，采用灯光车床对接主管体与法兰,打表定位同心度、垂直度；

[0017] S3:热处理，充分退火，温度为1100～1180℃，恒温2小时，随炉冷却后精磨端面，细研磨法兰及法兰接口；

[0018] S4:将步骤S3中处理后的零件放入5％～10％硝酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净，进行画线激光打孔位置；

[0019] S5:将步骤S4中激光打孔处理后的零件放入5％～10％硝酸浸泡，5％～20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；

[0020] S6:将S5进行加工整体长度确定，退火经过酸洗机处理，5％～20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；

[0021] S7:将S1-S6抛光退火，经过酸洗机处理，全部配件5％～10％硝酸浸泡,5％～20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；

[0022] S8:进行组配合焊接，首先焊接顶板与石英环后充分退火，温度为1100～1180℃，恒温一小时，随炉冷却，经过酸洗机加入5％～20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；

[0023] S9:焊接顶板与主管体,补料需饱满，焊接后进行充分退火，温度为1100～1180℃，恒温一小时，车削顶板焊口，细研磨，进过两次酸洗第一次采用5％～10％硝酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净，第二次采用5％～20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；

[0024] S10:抛光顶板,充分退火，温度为1100～1180℃，恒温一小时，经过酸洗机采用5％～20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；

[0025] S11:焊接偶管,充分退火，温度为1100～1180℃，恒温一小时，经过酸洗机5％～20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；

[0026] S12:焊接挡板，充分退火，温度为1100～1180℃，恒温一小时，经过酸洗机5％～20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；

[0027] S13:焊接两处小法兰，充分退火，温度为1100～1180℃，恒温一小时，经过酸洗机5％～20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；

[0028] S14:火抛分两次，充分退火，温度为1100～1180℃，恒温一小时；

[0029] S15:检验尺寸及外观，经过酸洗机5％～10％硝酸浸泡，5％～20％氢氟酸过酸处理，温度10-30度，纯水清洗干净，洁净封装，入库。

[0030] 与现有技术相比，本发明的有益效果是：该发明结构简单，改变加工参数，并且在外围加工时采用激光切片时加上加热装置，在激光打孔时，保持片有一定温度，减少加工时由于冷热不均产生的应力加大而造成的炸裂，；加工中采用快速焊接，提高速度减少烟的形成。在焊口部增加对焊的部分，使产品由单面焊接，两侧对焊，保证焊口部位尽量少烟，无烟。附图说明

[0031] 图1是本发明整体示意图；

[0032] 图2是本发明法兰示意图；

[0033] 图3是本发明偶管示意图；

[0034] 图4是本发明顶板示意图；

[0035] 图5是本发明石英环示意图；

[0036] 图6是本发明挡板示意图。

具体实施方式

[0037] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

[0038] 如图1-6所示，一种筛板式反应器石英载体，包括主管体1、法兰2、顶板3、挡板4、石英环5、偶管6、小法兰7；

[0039] 所述主管体1通过焊接方式与法兰2固定连接，位于所述主管体1上紧邻所述法兰2位置固定对称焊接有小法兰7，所述主管体1外侧固定焊接有偶管6；

[0040] 所述法兰2相对应一侧固定焊接有顶板3，所述顶板3位于所述主管体1最外侧；

[0041] 所述挡板4中心位置对称开有两个通孔，所述挡板4固定焊接于所述主管体1内，且与所述顶板3平行设置，位于顶板3、挡板4之间固定设有石英环5，所述石英环5通过焊接方式与顶板3及挡板4固定连接，所述顶板3大小为所述挡板4的1.7倍。

[0042] 在本实施例中，所述法兰2厚度为30-35mm，所述法兰2小端面带有台阶，所述法兰2带有坡度，所述坡度角为30度。

[0043] 在本实施例中，所述小法兰7圆周对称设置两个，且与所述主管体1相通，位于所述主管体1外侧的偶管6一端与所述小法兰7固定焊接，且相通。

[0044] 在本实施例中，所述石英环5圆周端面上开有通孔，且通孔与所述偶管6一端固定连接。

[0045] 在本实施例中，所述顶板3上布置有通孔，所述通孔50度间隔设置，且由所述顶板3中心向外扩散呈四圈，且第一圈至第三圈等距，第四圈与第三圈间距为前三圈间隔间距的1.2倍。

[0046] 在本实施例中，所述顶板3上布置的通孔由中心向外至第三圈逐渐递增，通孔最多均布10个，所述第四圈均布通孔数量为第二圈的二分之一。

[0047] 在本实施例中，所述偶管6采用四组点焊方式与所述主管体1连接，且间隔均布。

[0048] 一种筛板式反应器石英载体的加工工艺，包括如下步骤：

[0049] S1:预处理，采用5％-10％硝酸浸泡整体部件，随后次用5％～20％氢氟酸浸泡，温度控制在10-30℃，纯水清洗干净；

[0050] S2:加工，采用灯光车床对接主管体与法兰,打表定位同心度、垂直度；

[0051] S3:热处理，充分退火，温度为1100～1180℃，恒温一小时，随炉冷却后精磨端面，细研磨法兰及法兰接口；

[0052] S4:将步骤S3中处理后的零件放入5％～10％硝酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净，进行画线激光打孔位置；

[0053] S5:将步骤S4中激光打孔处理后的零件放入5％～10％硝酸浸泡，5％～20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；

[0054] S6:将S5进行加工整体长度确定，退火经过酸洗机处理，5％～20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；

[0055] S7:将S1-S6抛光退火，经过酸洗机处理，全部配件5％-10％硝酸浸泡,5％～20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；

[0056] S8:进行组配合焊接，首先焊接顶板与石英环后充分退火，温度为1100～1180℃，恒温一小时，随炉冷却，经过酸洗机加入5％～20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；

[0057] S9:焊接顶板与主管体,补料需饱满，焊接后进行充分退火，温度为1100～1180℃，恒温一小时，车削顶板焊口，细研磨，进过两次酸洗第一次采用5％～10％硝酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净，第二次采用5％～20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；

[0058] S10:抛光顶板,充分退火，温度为1100～1180℃，恒温一小时，经过酸洗机采用5％～10％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；

[0059] S11:焊接偶管,充分退火，温度为1100～1180℃，恒温一小时，经过酸洗机5％～20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；

[0060] S12:焊接挡板，充分退火，温度为1100～1180℃，恒温一小时，经过酸洗机5％～20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；

[0061] S13:焊接两处小法兰，充分退火，温度为1100～1180℃，恒温一小时，经过酸洗机5％～20％氢氟酸浸泡，温度10-30℃，纯水清洗干净；

[0062] S14:火抛分两次，充分退火，温度为1100～1180℃，恒温一小时；

[0063] S15:检验尺寸及外观，经过酸洗机5％～10％硝酸浸泡，5％～20％氢氟酸过酸处理，温度10-30度，纯水清洗干净，洁净封装，入库。

[0064] 所述该发明通过点火腔室内的氢氧合成将气体从偶管处小法兰由下自上通过压力的作用下，通过外偶管进入顶盖，在顶盖上有密闭的筛板片，筛板上均匀分布着公差为0.1mm的小孔，在压力的作用下，将气体慢慢送入主体管，像淋浴头一样均匀分散的向下沉积，散落在石英舟上的硅片表面，使表面沉积一层氧化膜，在高温的作用下固定在表面，当工艺完成后，再通过压力的作用，使多余气体从另一侧法兰输出管体，完成一次完整的工艺。

[0065] 对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

[0066] 此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

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