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一种外延工艺石英焊件组件及其加工工艺

阅读：695发布：2020-05-12

专利汇可以提供一种外延工艺石英焊件组件及其加工工艺专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本发明公开一种外延工艺石英焊件组件及其加工工艺，包括第一乳白砣石英环、第一透明石英、配阶台、石英环片、第一配合沿、第二乳白砣石英、对接槽、第二配合沿，所述第一乳白砣石英环内镶嵌有第一透明石英，所述第一乳白砣石英环下端面固定设有配阶台，位于所述配阶台外设有石英环片，所述第一乳白砣石英环上固定开设有第一配合沿，所述第一乳白砣石英环与第二乳白砣石英相配合。，下面是一种外延工艺石英焊件组件及其加工工艺专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种外延工艺石英焊件组件，包括第一乳白砣石英环(1)、第一透明石英(2)、配阶台(3)、石英环片(4)、第一配合沿(5)、第二乳白砣石英(6)、对接槽(7)、第二配合沿(8)，其特征在于：所述第一乳白砣石英环(1)内镶嵌有第一透明石英(2)，所述第一乳白砣石英环(1)下端面固定设有配阶台(3)，位于所述配阶台(3)外设有石英环片(4)，所述第一乳白砣石英环(1)上固定开设有第一配合沿(5)，所述第一乳白砣石英环(1)与第二乳白砣石英(6)相配合。
2.根据权利要求1所述的一种外延工艺石英焊件组件，其特征在于：所述第一配合沿(5)宽度占第一乳白砣石英环(1)整体宽度的百分之四十四。
3.根据权利要求1所述的一种外延工艺石英焊件组件，其特征在于：所述第二乳白砣石英(6)上端面开有对接槽(7)，紧邻所述对接槽(7)开设有与石英环片(4)相配合的容纳区。
4.根据权利要求1所述的一种外延工艺石英焊件组件，其特征在于：所述第一透明石英(2)镶嵌在第一乳白砣石英环(1)内通孔处并通过焊接方式固定为一体，所述第一透明石英(2)的厚度为第一乳白砣石英环(1)厚度的五分之一。
5.根据权利要求1或3所述的一种外延工艺石英焊件组件，其特征在于：所述第二乳白砣石英(6)下端面设有凸台，所述凸台与外界石英管固定焊接。
6.根据权利要求1所述的一种外延工艺石英焊件组件，其特征在于：所述第二乳白砣石英(6)上端面固定开有与第一配合沿(5)相配合的第二配合沿(8)，所述第一配合沿(5)与第二配合沿(8)内侧接触石英环片(4)。
7.根据权利要求1所述的一种外延工艺石英焊件组件，其特征在于：所述石英环片(4)套接在配阶台(3)上。
8.根据权利要求1-7所述的一种外延工艺石英焊件组件加工工艺方法，其特征在于，加工工艺如下：
1)采用平盘机进行切磨-双面见平；
2)通过切割机锯切第一透明石英，及石英环片(4)；
3)通过MC加工中心加工配阶台(3)、第一配合沿(5)、对接槽(7)、第二配合沿(8)，后经酸洗机清洗，整体抛火，退火；
4)双面冷抛第一乳白砣石英环(1)、第二乳白砣石英(6)；
5)经过酸洗机清洗，干燥检验入库。

说明书全文

一种外延工艺石英焊件组件及其加工工艺

技术领域

[0001] 本发明涉及石英技术领域，尤其涉及一种外延工艺石英焊件组件及其加工工艺。

背景技术

[0002] 1)现有的石英焊接件均为整体塑造成型结构，透明度差，原有的石英通过组成反应腔室，反射差，热源扩散快，不能对整体进行保温处理，为此本申请人根据现有工艺进行改进对单件芯片做处理，自成腔室，周围高温加热电热器，节省空间，面积小，区别于大型炉管，单片反应，发生问题时损失小，及时处理，其次通过所使用的石英焊接属于对接焊，两种不同材质所产生的变形影响整体的外观及尺寸要求，长期使用存在炸裂的风险。

发明内容

[0003] 本发明的目的在于提供一种外延工艺石英焊件组件及其加工工艺，以解决上述背景技术中提出的问题。

[0004] 本发明的目的是通过下述技术方案予以实现：一种外延工艺石英焊件组件，包括第一乳白砣石英环、第一透明石英、配阶台、石英环片、第一配合沿、第二乳白砣石英、对接槽、第二配合沿，所述第一乳白砣石英环内镶嵌有第一透明石英，所述第一乳白砣石英环下端面固定设有配阶台，位于所述配阶台外设有石英环片，所述第一乳白砣石英环上固定开设有第一配合沿，所述第一乳白砣石英环与第二乳白砣石英相配合。

[0005] 进一步地，所述第一配合沿宽度占第一乳白砣石英环整体宽度的百分之四十四。

[0006] 进一步地，所述第二乳白砣石英上端面开有对接槽，紧邻所述对接槽开设有与石英环片相配合的容纳区。

[0007] 进一步地，所述第一透明石英镶嵌在第一乳白砣石英环内通孔处并通过焊接方式固定为一体，所述第一透明石英的厚度为第一乳白砣石英环厚度的五分之一。

[0008] 进一步地，所述第二乳白砣石英下端面设有凸台，所述凸台与外界石英管固定焊接。

[0009] 进一步地，所述第二乳白砣石英上端面固定开有与第一配合沿相配合的第二配合沿，所述第一配合沿与第二配合沿内侧接触石英环片。

[0010] 进一步地，所述石英环片套接在配阶台上。

[0011] 一种外延工艺石英焊件组件加工工艺方法，加工工艺如下：

[0012] 1)采用平盘机进行切磨-双面见平；

[0013] 2)通过切割机锯切第一透明石英，及石英环片；

[0014] 3)通过MC加工中心加工配阶台、第一配合沿、对接槽、第二配合沿，后经酸洗机清洗，整体抛火，退火；

[0015] 4)双面冷抛第一乳白砣石英环、第二乳白砣石英；

[0016] 5)经过酸洗机清洗，干燥检验入库。

[0017] 与现有技术相比，本发明的有益效果是：为防止产品在使用时焊口薄与厚度不均，工艺上采用了机械抛光的方法，将顶片全面机械抛光，粗糙度达到0.1μm以下，透光率达到93％，光源直接照射产品；法兰密封面采用MC加工中心，将不透明石英最大限度的减少，由于不透明石英气孔大而引起密封不严精度更高；透明与不透明石英之间的焊接通过预留工艺台阶的方式，减少以往两种不同材质所产生的变形，应力及炸裂的风险。
附图说明

[0018] 图1是本发明整体示意图；

[0019] 图2是本发明第二乳白砣石英示意图。

具体实施方式

[0020] 下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

[0021] 如图1-2所示，一种外延工艺石英焊件组件，包括第一乳白砣石英环1、第一透明石英2、配阶台3、石英环片4、第一配合沿5、第二乳白砣石英6、对接槽7、第二配合沿8，所述第一乳白砣石英环1内镶嵌有第一透明石英2，所述第一乳白砣石英环1下端面固定设有配阶台3，位于所述配阶台3外设有石英环片4，所述第一乳白砣石英环1上固定开设有第一配合沿5，所述第一乳白砣石英环1与第二乳白砣石英6相配合。

[0022] 在本实施例中，所述第一配合沿5宽度占第一乳白砣石英环1整体宽度的百分之四十四。

[0023] 在本实施例中，所述第二乳白砣石英6上端面开有对接槽7，紧邻所述对接槽7开设有与石英环片4相配合的容纳区。

[0024] 在本实施例中，所述第一透明石英2镶嵌在第一乳白砣石英环1内通孔处并通过焊接方式固定为一体，所述第一透明石英2的厚度为第一乳白砣石英环1厚度的五分之一。

[0025] 在本实施例中，所述第二乳白砣石英6下端面设有凸台，所述凸台与外界石英管固定焊接。

[0026] 在本实施例中，所述第二乳白砣石英6上端面固定开有与第一配合沿5相配合的第二配合沿8，所述第一配合沿5与第二配合沿8内侧接触石英环片4。

[0027] 在本实施例中，所述石英环片4套接在配阶台3上。

[0028] 一种外延工艺石英焊件组件加工工艺方法，加工工艺如下：

[0029] 1)采用平盘机进行切磨-双面见平；

[0030] 2)通过切割机锯切第一透明石英，及石英环片4；

[0031] 3)通过MC加工中心加工配阶台3、第一配合沿5、对接槽7、第二配合沿8，后经酸洗机清洗，整体抛火，退火；

[0032] 4)双面冷抛第一乳白砣石英环1、第二乳白砣石英6；

[0033] 5)经过酸洗机清洗，干燥检验入库。

[0034] 对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

[0035] 此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

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