Rinsing agent for gallium arsenide wafer and method of rinsing same
专利汇可以提供Rinsing agent for gallium arsenide wafer and method of rinsing same专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且PURPOSE: To reduce haze generated on the polished face of a gallium arsenide wafer and to eliminate directional trace by providing solution in which sodium salt or potassium salt is dissolved in water.
CONSTITUTION: When a gallium arsenide wafer is rinsed after polishing, solution in which sodium salt or potassium salt is dissolved in water is employed instead of conventional pure water as rinsing agent to rinse the polished wafer. The agent is aqueous solution in which any of sodium carbonate, sodium hydroxide, potassium hydroxide and potassium carbonate is dissolved in pure water. Thus, the polished face of the wafer is low haze with less fine uneven part and directional trace is not observed on the polished face.
COPYRIGHT: (C)1990,JPO&Japio，下面是Rinsing agent for gallium arsenide wafer and method of rinsing same专利的具体信息内容。
| 标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
|---|---|---|
| 一种抗菌皮肤清洁用品 | 2020-05-08 | 918 |
| 无细胞表达rhUTI蛋白系统及生产rhUTI蛋白的方法 | 2020-05-08 | 371 |
| 一种由植物油基制造的预制构件专用脱模剂 | 2020-05-08 | 214 |
| 含有4-(3-乙氧基-4-羟苯基)丁-2-酮和有机酸化合物的抗微生物混合物、以及含有该抗微生物混合物的化妆品组合物 | 2020-05-08 | 539 |
| 一种解堵剂及其制备方法 | 2020-05-08 | 529 |
| 一种环保生产MQ硅树脂的方法 | 2020-05-08 | 501 |
| 一种采用聚合物辅助的壁流式颗粒过滤器载体的涂覆方法 | 2020-05-08 | 250 |
| 一种用于动静脉及脏器出血的止血微球及其制备方法 | 2020-05-08 | 84 |
| 一种杂多酸催化剂的制备及其在氯丙烯环氧化中的应用 | 2020-05-08 | 233 |
| 一种轻质高强陶粒及其制备方法 | 2020-05-08 | 925 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台，是提供专利分析，专利查询，专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据，免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析，涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度，系统通过AI智能系统对图表进行解读，只需1分钟，一键生成行业专利分析报告。
