アレイ導波路回折格子の光透過中心波長温度依存性を低減する。 　光入力導波路２と、第１のスラブ導波路３と、互いに異なる長さの複数の導波路よりなるアレイ導波路４と、第２のスラブ導波路５と、複数の光出力導波路６を有するアレイ導波路回折格子の第１のスラブ導波路３を、通過光経路と交わる分離面８で分離して分離スラブ導波路３ａ，３ｂとし、互いに温度変化に対する伸縮量が異なる部材により形成したスライド移動部材７ａ，７ｂ，７ｃによって、分離スラブ導波路３ａを分離面８に沿って温度に依存してスライド移動する。各スライド移動部材７ａ，７ｂ，７ｃはアレイ導波路回折格子の使用温度帯内の互いに異なる温度帯に対応して分離スラブ導波路３ａを移動する構成とし、分離スラブ導波路３ａのスライド移動量を、アレイ導波路回折格子の光透過中心波長の温度依存性を低減するように温度変化に対して変化する温度依存低減量と成す。

　導波路最小曲げ半径を小さくしなくても、アレイ導波路を配置する面積を小さくすることができるアレイ導波路回折格子を提供することを課題として、本願発明のアレイ導波路回折格子は、入力側単一モード導波路１１、出力側単一モード導波路１２、入力側スラブ導波路１３、出力側スラブ導波路１４、入力側テーパー導波路１５、出力側テーパー導波路１６、曲げアレイ導波路（内側）１７、曲げアレイ導波路（外側）１８、及び反射構造１９からなる。アレイ導波路回折格子に入射した光は、導波路内の反射構造１９によって反射し、出力側の導波路を伝搬する。  

一种自回程重型无痕折弯模，包括安装在液压冲床的上工作台板的折弯上模、相应安装在液压冲床的下工作台板的折弯下模、设置在折弯下模上用于弯附板滚动摩擦折弯的自回程装置，折弯上模包括固定在上工作台板的上模板（1）、通过螺钉固定连接的上垫板（2）和上模（3）。该折弯模采用滚轴（8）、配套折弯模座机构、旋转自回程装置组成的折弯模结构，将传统的V型折弯模，通过滚轴转动转换成工件相对静止的滚动摩擦折弯，液压冲床配合自回程重型无痕折弯模解决了厚板折弯精度不稳定、折弯压痕等问题，提高了产品质量和生产效率。

回折素子を設置する素子設置部と、素子設置部に設置された回折素子を固定する素子固定部とを有する回折素子の固定装置において、素子設置部は設置された回折素子を任意の形に曲げる素子設置面を有し、冷却用流体の圧力による回折素子の変形を抑えるよう素子設置面をアーチ状に形成することを特徴とする回折素子の固定装置。

ブレーズド回折格子（１）は、主表面（１０Ｓ）を有する基板（１０）と、格子溝（２０Ａ）を有する樹脂層（２０）と、ブレーズ面（３１）および段差面（３２）を有する金属膜（３０）とを備える。主表面（１０Ｓ）と直交する方向における金属膜（３０）の高さは、格子溝（２０Ａ）上において一定である。ブレーズ面（３１）は、ブレーズ方向とブレーズ面（３１）との間に鋭角のブレーズ角（θＢ）を形成する。段差面（３２）は、ブレーズ方向と段差面（３２）との間にブレーズ角（θＢ）よりも大きくかつ９０°以下の角度を有する段差角（θ）を形成する。主表面（１０Ｓ）と直交する方向における金属膜（３０）の高さをｔ（ｎｍ）とし、段差角をθ（°）とすると、ｔ≧２７０／ｃｏｓθの関係を満たす。

一种挠性关节（0100），具有第一端（0110）与第二端（0120），第一端与第二端铰接于铰接部（0130），铰接部具有至少一个铰接轴（0131），铰接轴依次铰接而形成积木式逐级铰接关系，传动轮组（0140）连接于铰接轴上，具有与铰接轴轴向平行的第一传动轮（0141）与第二传动轮（0142），第一传动轮具有第一张紧面（0141a），第二传动轮具有第二张紧面（0142a），连接第一臂（0200）与第二臂（0300）的挠性件（0400）可张紧于第一张紧面和/或第二张紧面上。该挠性关节具有全旋转角度、灵敏度高、结构紧凑和省力等优点。一种回转折臂（1000），包括第一臂、第二臂、挠性件与上述挠性关节。

Ｘ線回折測定装置は、ケース６０を備えて、ケース６０内に、測定対象物ＯＢに向けてＸ線を出射するＸ線出射器１０と、イメージングプレート２１が取り付けられるテーブル２０と、イメージングプレート２１にレーザ光を照射して、出射した光を受光して受光強度に応じた受光信号を出力するレーザ検出装置４０と、テーブル２０を中心軸回りに回転させるスピンドルモータ３７と、テーブル２０をイメージングプレート２１の受光面に平行な方向に移動するフィードモータ３２とを収容する。ケース６０は、測定対象物ＯＢ上に載置される傾斜面壁６７を有し、傾斜面壁６７には出射されたＸ線を通過させる貫通孔６７ａが設けられている。傾斜面壁６７は、出射されたＸ線の光軸方向と所定の角度をなす。

コントローラＣＴは、測定対象物にて回折したＸ線による回折環を記録した回折光受光器２８にレーザ光を照射して回折環を測定する。コントローラＣＴは、レーザ光が照射されている位置の半径値が増加するに従って大きくなる回折Ｘ線の減衰量の変化を補正するように、半径値を用いてレーザ光強度を計算して、計算したレーザ光強度のレーザ光を回折光受光器２８に照射する。また、コントローラＣＴは、前記半径値が増加するに従って大きくなる測定対象物にＸ線を照射した際の回折Ｘ線が受光される面積の変化を補正するように、前記半径値を用いてフォーカス制御値を計算して、前記計算したフォーカス制御値に応じて対物レンズ３０によるフォーカス位置を制御して、回折光受光器２８に形成されるレーザ光のスポット径を制御する。

　本発明の課題は、絞りや偏心による影響を抑え、多焦点の何れの焦点効果もより安定的に得ることの出来る回折レンズの、新規な製造方法を提供することにある。　かかる課題を解決するために、本発明は、回折レンズ１０の径方向の少なくとも一部の領域においてそれぞれの回折一次光が互いに異なる焦点距離を与える少なくとも二種類のレリーフ３２,３４を重ねて設定し、且つ、それらの重ねて設定したレリーフにおける格子ピッチが最大のレリーフの各格子ピッチに対して、他のレリーフにおける格子ピッチが周期的に重なり合う同期構造を設定して、得られたレリーフ３０を光学材料１０の表面２４に形成するようにした。

広い帯域の光に対して反射防止機能を有し、製造が簡単な回折格子を提供することを目的とする。本発明による回折格子は、基板上に一定の周期で配置された格子凸部（１０１）を備える。格子凸部の形状の、底面および底面に平行な断面の面積をＡ、底面に平行な断面の底面からの距離をｚとした場合に、ｚの増加に従ってＡが単調に減少する。また、ｚの増加に対するＡの減少の比率は、ｚが小さいほど大きい。

所望の光学特性を容易に得ることのできる回折光学素子とその製造方法を提供する。　回折格子形状を有する第一材料層（１１）と、第一材料層（１１）に積層された第二材料層（１２）とを有し、上記回折格子形状は、第一材料層（１１）と第二材料層（１２）の積層方向（方向Ｄ）から平面視した状態にて、同心円状の複数の輪帯Ｒ_ｎを形成しており、輪帯Ｒ_ｎのうちの最も内側の輪帯Ｒ_１の半径は、各輪帯Ｒ_ｎの間隔Ｐ_１～Ｐ_９のいずれか１つよりも小さい。

　試料を所望の形状でＸ線回折測定を行うことができ、且つその測定精度を向上させることができるＸ線回折測定装置及びＸ線回折測定方法を提供する。Ｘ線回折測定装置１は、所定の第１回転軸Ｃ１回りに回転することで試料１０を所定平面内で回転させる試料回転部２２と、回転中の試料１０に対してＸ線を照射するＸ線源３と、Ｘ線の光軸Ｃ０に対して直交した第２回転軸Ｃ２を中心とする円弧軌跡ｆ上を移動することで試料１０を透過して回折した回折Ｘ線１２を検出する回折Ｘ線検出部４と、光軸Ｃ０と第２回転軸Ｃ２とを含む仮想平面において、試料１０を中心として、第１回転軸Ｃ１を光軸Ｃ０に対して所定の鋭角度θで相対的に傾斜させる軸傾斜機構５とを備える。

　コントローラＣＴは、残留応力が０である基準物体ＢＯＢ及び測定対象物ＯＢに、Ｘ線出射器１３からのＸ線をそれぞれ照射して、イメージングプレート２８上に基準物体ＢＯＢ及び測定対象物ＯＢの回折環をそれぞれ撮像する。そして、コントローラＣＴは、前記撮像した両回折環の形状をそれぞれ検出し、測定対象物ＯＢの回折環の形状を、基準物体ＢＯＢの回折環の形状を用いて補正して、イメージングプレート２８のテーブル２７に対する取付け誤差の影響を少なくする。これにより、イメージングプレートの取付け精度の良否によらず、測定対象物の残留応力を精度よく測定できるようにする。

　回折環形成装置は、Ｘ線を測定対象物に照射するためのＸ線出射器、及び回折環を記録するためのイメージングプレートを内蔵したケース１００を備えている。ケース１００は、互いに直交する平面壁１０１，１０２と、平面壁１０１，１０２と略４５度の角度で交差する平行な平面壁１０３，１０４と、平面壁１０３，１０４に垂直である平面壁１０５とを有する。Ｘ線出射器から出射されるＸ線の光軸が、平面壁１０１，１０２にそれぞれ直交する面内に含まれるとともに、平面壁１０３，１０４にそれぞれ平行であり、かつ平面壁１０１，１０２を延長させた交差線の近傍位置に、平面壁１０５に対して入射角度が所定角度になるように、Ｘ線出射器をケース１００に配置する。

　Ｘ線回折測定装置は、ケース１０内に、Ｘ線出射器２０、移動かつ回転可能なテーブル３０、テーブル３０に取付けられるイメージングプレート３１及びレーザ検出装置５０を収容させている。Ｘ線出射器２０からのＸ線を測定対象物に照射し、測定対象物から出射された回折Ｘ線によってイメージングプレート３１に回折環を形成させ、レーザ検出装置５０によってイメージングプレート３１上に形成された回折環の形状を読み取って、測定対象物の残留応力を検出する。ケース１０の正面壁１１と底面壁１４は直交しており、底面壁１４及び正面壁１１をＬ字形状の測定対象物の水平面と垂直面にそれぞれ当接させたとき、水平面の角部近傍にＸ線が照射されるようにＸ線出射器２０を配置する。

固定保持されている試料1を照らす入射X線8として所定の元素の特性X線を発生させるX線管9が固定保持される位置が、入射X線8が試料1の被測定領域A全体を照らすことのできる位置であって且つ試料1と接触しない範囲で限りなく試料1に接近した位置である。これにより、X線管9から出射されたX線ビームが試料に到達するまでの光路における強度の減衰を極力小さくすることにより、不均一な結晶構造を有する試料の局所構造情報を備えるX線回折図形を、実験室や現場で短時間且つ簡単に取得することができる。

　本発明の一態様であるＸ線回折装置（１）は、被検試料（１６）のＸ線回折強度プロファイルを測定する測定ユニット（２）と、被検試料（１６）と測定ユニット（２）との間の離間距離（Ｚ）を測定する距離測定部（９）と、Ｘ線回折強度プロファイルを補正処理するデータ処理部（１０）とを備える。 測定ユニット（２）は、被検試料（１６）にＸ線を照射するＸ線照射部（３）と、被検試料（１６）からの複数の回折Ｘ線を１次元検出または２次元検出するＸ線検出部（６）と、基準面（１７）に対して相対的にＸ線照射部（３）およびＸ線検出部（６）を固定配置される筐体（８）とを有する。データ処理部（１０）は、離間距離（Ｚ）をもとに被検試料（１６）の変位（ΔＺ）を算出し、算出した変位（ΔＺ）に応じて、被検試料（１６）の測定点における真のＸ線回折角度（２θ）を算出し、算出した真のＸ線回折角度（２θ）をもとに、Ｘ線回折強度プロファイルを補正する。

　後段受光スリットを使用することなく測定分解能を変更可能で、かつ、後段受光スリットを使用する場合には実現不可能な測定分解能の変更にも柔軟に対応可能とする。本発明のＸ線回折装置は、Ｘ線源で発生させたＸ線を試料台７上の試料Ｓに照射し、そこで回折したＸ線を検出器１５で検出するもので、仮想マスク設定部２６と信号処理部２１を備える。検出器１５は、検出面１７を形成する複数の検出素子１６ごとに、検出素子１６で受光したＸ線の強度に応じた検出信号を出力する。仮想マスク設定部２６は、検出器１５の検出面１７に仮想マスク３１を設定するとともに、仮想マスク３１の開口条件として、少なくとも仮想マスクの開口寸法をＸ方向とＹ方向で独立に設定可能である。信号処理部２１は、検出器１５から出力された検出信号を、仮想マスク設定部２６で設定された仮想マスクの開口条件に応じて処理する。

　本発明の回折光学素子の製造方法によれば、金型１の成型面２の中心に形成された所定形状のマーカー３と、基材４の回折格子５の形状とに基づいて、成型面２の中心と基材４の中心との位置合わせをする。成型面２と回折格子５との間に、ナノコンポジット材料９を配置し、金型１と基材４とにより材料９を押圧して、回折格子５上に光学調整層１０を形成する。