Method employing ion beams for polishing and figuring refractory dielectrics |
|||||||
| 申请号 | US3548189D | 申请日 | 1965-06-16 | 公开(公告)号 | US3548189A | 公开(公告)日 | 1970-12-15 |
| 申请人 | ADEN B MEINEL; STANLEY BASHKIN; DONALD A LOOMIS; JOHN B SCHROEDER; | 发明人 | MEINEL ADEN B; BASHKIN STANLEY; LOOMIS DONALD A; SCHROEDER JOHN B; | ||||
| 摘要 | |||||||
| 权利要求 | |||||||
| 说明书全文 | |||||||
QQ群二维码
意见反馈
意见反馈