VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON TITAN-DOTIERTEM KIESELGLAS FÜR DEN EINSATZ IN DER EUV-LITHOGRAPHIE |
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| 申请号 | EP14744804.7 | 申请日 | 2014-07-22 | 公开(公告)号 | EP3033306B8 | 公开(公告)日 | 2017-08-16 |
| 申请人 | Heraeus Quarzglas GmbH & Co. KG; | 发明人 | OCHS, Stefan; BECKER, Klaus; THOMAS, Stephan; | ||||
| 摘要 | |||||||
| 权利要求 | |||||||
| 说明书全文 | |||||||
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