具有载体的薄的金属膜 |
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| 申请号 | CN201380066938.7 | 申请日 | 2013-12-17 | 公开(公告)号 | CN105121331A | 公开(公告)日 | 2015-12-02 |
| 申请人 | 贺利氏德国有限责任两合公司; | 发明人 | N.巴尔托斯; O.凯特尔; L.韦伯; A.赖辛格; | ||||
| 摘要 | 本 发明 在原则上涉及包含由至少两个彼此接合的层构成的 复合材料 的部件，其中a.第一层具有孔洞，b.第二层具有1至50μm的厚度，其中第一层和第二层各自包含至少一种金属，并且其中第一层的组成不同于第二层的组成。本发明的其它主题是制造包含至少两个具有上述特征的彼此接合的层的部件的方法，制造包含至少三个具有上述特征的彼此接合的层的部件的方法，以及可以通过上述方法之一获得的部件和上述部件的至少之一用于活体中或者制造用在活体中的 植入物 的用途。 | ||||||
| 权利要求 | 1.包含由至少两个彼此接合的层(2)和(3)构成的复合材料(6)的部件(1)，其中a. 第一层(2)具有至少一个孔洞(7)； |
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| 说明书全文 | 具有载体的薄的金属膜[0001] 本发明原则上涉及包含由至少两个彼此接合的层构成的复合材料的部件，其中a.第一层具有孔洞，b.第二层具有1至50 µm的厚度，其中第一层和第二层各自包含至少一种金属，并且其中第一层的组成不同于第二层的组成。本发明的其它主题是制造包含至少两个具有上述特征的彼此接合的层的部件的方法，制造包含至少三个具有上述特征的彼此接合的层的部件的方法，以及可以通过上述方法之一获得的部件和上述部件的至少之一用于活体中或者制造用于活体中的植入物的用途。 [0002] 具有薄的膜厚度的膜可以用作可植入的仪器或者医学器械中的压力传感器的传输介质，其被引入到人体中用于测量和其它活动。在身体中出现的压力差原则上是相对低的。因此必需使用尽可能薄的膜。这实现精确的压力传输和因此实现压力测量。此外，所用的和与体液接触的所有材料必须是生物相容的。 [0003] 这种膜是已知的。既可以使用金属膜，也使用基于塑料的膜作为材料。非常薄的金属膜通常通过剥蚀的制造方法，例如通过铣削或者侵蚀制造。然而，这样制造的膜达不到所需的薄的膜厚度。尽管如果用这些方法实现小于50 µm的膜厚度，必需极高的消耗以制造保持相同的品质。 [0004] 根据另一个已知的制造方法，通过焊接接合使用具有所希望的厚度的薄的金属板或者金属箔。完全可以制造具有小的层厚度的板和金属箔。然而，迄今为止不存在将这些板或者箔与基础体接合的方法，其确保气密性的焊接接合和可接受的价格下的保持相同的品质。此外，可以设想钎焊方法，作为焊接的替代方案。其缺点是，除了所用的金属以外，引入其它金属和合金。这些合金通常具有非常有限的生物相容性。此外，该方式隐藏有形成局部元件和因此形成腐蚀的风险。 [0005] 从微系统技术，即不同于制造生物相容的物品的领域中，已知硅膜的制造方法。该硅膜用于流量传感器。该膜通过硅晶片的选择性蚀刻制造。作为对此的实例，可以提到以下文件：DE 10 2005 023 699 A1、EP 1 114 985 A1和WO 1997/21986 A1。这些引用的方法使用半导体工业中常见的用氟化氢气体的干燥蚀刻。该方法受限于硅晶片，并且不可以转用于制造可植入的膜。 [0006] 因此，本发明的基本目的是提供可植入的部件，其优选地包含金属衬底和金属膜，其中该膜应具有尽可能薄的层厚度。 [0007] 本发明的另一目的是提供金属膜，其中该膜具有小于50 µm，优选小于30 µm或者小于10 µm的层厚度。 [0008] 本发明的另一目的是提供部件，其中衬底和膜在其接触面处平面地，尤其不透水和气密性地接合。 [0009] 另一目的在于提供金属膜，其耐压密闭地与衬底和任选地与容纳该膜的部件接合。 [0010] 另一目的在于提供金属膜，其适合于将压力变化从该金属膜的一侧转移到该金属膜的另一侧上。 [0011] 另一目的是提供制造方法，其中可以获得优选地包含金属衬底和金属膜的可植入的部件，其中该膜应具有尽可能薄的层厚度，特别是小于50 µm。 [0012] 另一目的是提供尽可能简单和成本有利的制造方法。 [0013] 本发明的另一目的是提供部件，其能够用于可植入体内的医学仪器中。 [0014] 本发明的另一目的是提供制造部件的方法，该部件实现上述目的的一个，但是优选所有的。 [0016] 包含由至少两个彼此接合的层构成的复合材料的部件，特别是膜，有助于实现起初提到的目的，其中a. 第一层具有至少一个孔洞， b. 第二层具有1至50 µm，优选1至40 µm，或者1至30 µm,，或者1至15 µm的厚度； 并且 其中该第一层和第二层各自包含至少一种金属，并且 其中第一层的组成不同于第二层的组成。 [0017] 在本发明的意义上，孔洞表示层的这样的区域，在其中该层在其整个厚度上断开，其中在该层的平面中的孔洞由层的边缘界定。 [0018] 在本发明的意义上，连续意味着这样标示的物体或者层的这样标示的区域不具有孔洞、不具有材料缺口等。同样地，标示为连续的物体可以具有不同的厚度，其中该厚度始终大于零。 [0019] 层的厚度表示该层垂直于在测试位置处可以铺设到该层中的平面的大小。如果在多个位置处测量层厚度得到不同的值，那么厚度为测量值的算术平均值。如果该层形成管，那么将管上的测试位置处的切向平面理解为该层中的平面。 [0020] 在本发明的意义上，不可透意味着液体，特别是水，或者气体，特别是氦气在对于该物体施加的0至30000 Pa的压力下不穿透标示为不可透的物体。该不可透性借助用氦气的对于物体的密封性测试（所谓的“氦泄漏测试”）根据标准MIL-STD-883H，方法1014.13，测试条件A4实施。 [0021] 在本发明的意义上，耐受意味着与物质接触的标示为耐受的物体的质量在接触时间内不减小。这在本发明的意义上为这样的情况，即该物体的质量在与该物质接触之后相比于与该液体接触之前而言减少小于0.1%。该质量优选地不变（nimmt）。 [0022] 在本发明的上下文中，生物相容意味着这样标示的物体满足对于根据标准ISO10993，第1-20部分的生物相容的相关需求。 [0023] 非贵金属的特征在于标准电势E°（T=25℃，p=1.013 bar）小于0 V。 [0024] 本发明部件的至少两个彼此接合的层，即第一层和第二层优选地构成膜。这样的膜例如用于测量例如人类或者动物的血压的压力差的装置中。该至少两个彼此接合的层和本发明的部件特别适合于测定最大25000 Pa的压力差。在本发明的上下文中，压力差意味着测量相对压力或者压力变化，而非绝对压力。 [0025] 本发明的第一层可以具有各种适合于与第二层接合的形状，并且由各种适合于与第二层接合的材料构成。该第一层和第二层构成平面状的复合材料，其中第一层在与第二层重叠的面的区域中具有一个孔洞或者多个孔洞。在本发明的部件中，第一层优选地形成为衬底，并且第二层优选地形成为膜。第一和第二层的复合材料对于气体或者液体是不可透的，优选地对于气体和液体是不可透的。 [0027] 对于作为膜的功能，第二层至少在与第一层中的一个或者多个孔洞重叠的区域中不具有孔洞。但是，存在该部件的其它区域，在此处，该层中的孔洞与第二层中的孔洞重叠。这样的其它区域不构成薄膜。这样的其它区域可以例如用于在部件中装配第一层和第二层的复合材料。 [0028] 在一个优选的实施方案中，部件的第一层具有50至500 µm，优选70至350 µm或者90至200 µm的厚度。该层的厚度可以根据常见的测量方法，特别地借助微米测量螺杆确定。 [0030] 第一层的材料包含至少一种金属。原则上，可以考虑所有的对于本领域技术人员而言已知和看起来对于设定的目标合适的金属。 [0031] 根据本发明，第一层的组成不同于第二层的组成。这样选自第一层和第二层的组合物，以致可以通过用液体CA处理以化学去除第一层的组合物，同样地，第二层的组合物至少在用液体CA处理第一层的时间内对于该液体CA是耐受的。 [0032] 为了达到上述效果，可以这样选择液体CA，从而使该液体CA的电化学势大于第一层组合物在与液体CA的接触面处的电化学势。此外，这样选择液体CA，从而使液体CA的电化学势小于第二层组合物在与液体CA的接触面处的电化学势。第一层、第二层和任选的其它层的组合物和液体CA在处理时的电化学势可以借助能斯特-方程计算（Roempp-Lexikon Chemie，第10版（1998），第4册，第2869页，条目“Nernstsche Gleichung”）。能斯特-方程基于的标准电势E°（在T=25℃、p=1013 bar下）可以在表格资料或者所谓的电位序中查阅（CRC Handbook of Chemistry and Physics，第93版，2012-2013，部分5，子部分“Electrochemical Series”）。 [0033] 如果在层的组合物中含有非贵金属，那么该金属和具有该金属的组合物的电化学势可以不同于上述理论。该非贵金属这时表现得如同具有比根据其电化学势所预期更大的正E°-值的金属。这种现象称为钝化。钝化的金属的电势称为钝化电势。当非贵金属与水、空气、所述的液体CA或者它们的两种或者更多种的组合接触时，可以在非贵金属中出现钝化电势。这时在接触面上形成连续的坚固粘附的由该非贵金属的氧化物或者氢氧化物构成的钝化层。在与液体CA的接触面处的钝化层造成钝化电势。为了化学去除位于该钝化层下的金属层，必须达到钝化电势，得以首先去除该钝化层，然后去除金属层的金属。在化学去除金属时，优选地将该金属的部分通过氧化从金属体，例如金属层中溶解出和剥蚀。按照以上的描述，接触面为层的表面，其在用液体CA处理该层的情况中与该液体CA接触。 按照以上的描述，所述的钝化电势为层在接触面处的电化学势。因此，优选为至少两个彼此接合的层的复合材料，其中第一层在其与液体CA的接触面处的电化学势小于第二层在其与液体CA的接触面处的电化学势。 [0034] 选择对于由第一和第二层构成的特定复合材料而言合适的液体CA的另一可能性在于实施溶解试验。为此，将考虑为液体CA的液体施涂到第一层和第二层的预先称重的样品上，并且在处理条件（温度、施加的电压）下等待一段时间。随后，去除该液体并且重新称重这些样品。当在第一层的样品中由于用该液体处理发现重量减少，在第二层的样品中却未发现重量变化时，该液体适合用作液体CA。 [0035] 在一个优选的实施方案中，只要适合于例如316L和304的医学植入物，所述部件的第一层的至少一种金属选自银、金、铂、钛、铱、铌、钽、钨、钯、铜、铁、钢和不锈钢或者它们的至少两种的组合。如果多种金属在第一层中以组合的形式存在，那么该组合优选为合金。对于第一层而言优选的合金为包含铌和钽、镍和钛或者铂和铱的合金。优选地，可以在上述合金中含有一种或者多种其它的金属。这些其它的金属可以为上述列表中的金属，也可以是之前未提及的金属。 [0036] 在一个优选的实施方案中，所述的第二层的至少一种金属选自与第一层的至少一种金属相同组的相同金属，其中不包括铜和铁。如果多种金属以组合的形式存在，那么该组合优选为合金，其中已对于第一层所提到的合金同样是优选的。此外，可以优选地在该合金中含有一种或者多种其它的金属。这些其它的金属可以为上述列表中的金属，也可以是之前未提及的金属。 [0037] 在另一个实施方案中，所述的第一层的一种或者多种金属不同于第二层的一种或者多种金属。 [0038] 可以使用所有的对于本领域技术人员而言已知和看起来适用于化学去除第一层的液体，作为液体CA，但是其不同样地导致去除第二层。特别地，可以考虑液体的纯物质、多种纯物质的混合物或者一种或者多种纯物质与一种或者多种无机或者有机的溶剂的混合物，作为液体CA。对于本领域技术人员，就由其所选的第一层和第二层的组合而言，合适的液体CA是已知的。 [0039] 第一层的组合物、第二层的组合物和液体CA的优选组合的实例为：第一层的组合物 第二层的组合物 液体CA的成分 (a) 铌 铂 以1:1:3体积比的HF/HNO3/H2O；或者NaOH浓 (b) 金 铂 KCN/H2O（10重量% KCN）；或者以3:1摩尔比的HCl/HNO3；或者以4:1:40摩尔比的KI/I2/H2O(c) 金 铌 KCN/H2O（10重量% KCN）；或者以3:1摩尔比的HCl/HNO3；或者以4:1:40摩尔比的KI/I2/H2O(d) 钛 铂 以1:1:20摩尔比的HF/H2O2/H2O [0040] 液体CA的上述标示的成分例如如下存在：HF：48重量%，余量为水；HNO3：69重量%，余量为水；HCl：36重量%，余量为水；H2O2：30重量%，余量为水。在表中所提到的化学品可以例如从Merck KGaA，D-64293 Darmstadt购得。 [0041] 在一个优选的实施方案中，第一层和第二层的组合物是生物相容的。 [0042] 在另一个优选的实施方案中，第二层的至少背对第一层的那面配备有生物相容的材料。在该情况中，第一层可以至少部分地由一种或者多种非生物相容的材料构成。这同样适用于设置在第一层上在背对第二层的面上的涂层或者装置。第二层的背对第一层的面，通常也称为膜或者部件的外侧。 [0043] 在另一个优选的实施方案中，在所述复合材料中在部件的第一层和第二层之间，设置扩散层。扩散层理解为第一层和第二层之间的区域，其既具有第一层的组合物的金属，特别是金属原子，也具有第二层的组合物的金属，特别是金属原子。通常，该扩散层对于存在于该扩散层中的成分的每种呈现梯度。在该复合材料中在第一层和第二层之间，具有小于98重量%的浓度的区域被看作是扩散层，基于第一层的组合物的金属，尤其金属原子或者第二层的组合物的金属，尤其金属原子或者两者的样品计。例如可以通过制造穿过复合材料的横断面磨片和通过组合的扫描电子显微镜分析该横断面磨片的面和能量色散X射线-分析（也称为：SEM/EDX），检验扩散层的存在。 [0044] 可以根据所有已知的和对于本领域技术人员而言看起来合适的技术，彼此整面地接合所述的第一和第二层。特别优选地，部件的第一层和第二层通过以下的接合技术之一拼合：冷焊、镀覆，特别是轧制镀覆，例如冷轧镀覆、热轧镀覆或者爆炸镀覆。特别在热轧镀覆时，能够实现形成扩散层。在冷轧镀覆和爆炸镀覆时，可以通过镀覆步骤之后的热处理来实现形成扩散层。上述的接合技术的两种或者更多种的组合也是优选的。 [0045] 在另一个优选的实施方案中，所述部件包含具有三个接合的层的复合材料，其中在第一层的背对第二层的面上设置第三层，其具有至少一个孔洞，其中第一层的每个孔洞与第三层的孔洞重叠。 [0046] 根据一个优选的实施方案，第三层具有大于1 µm，大于2 µm或者大于5 µm的厚度。通常，第三层的厚度为1至50 µm，优选为1至40 µm，或者为1至30 µm，或者为1至15 µm，或者为2至15 µm，或者为5至20 µm。从功能性角度来看，第三层应至少是如此之厚，以致该层不具有由于缺陷位置或者其它的材料缺陷所致的穿过该层的缺口。 [0047] 原则上，可以使用所有的对于本领域技术人员而言已知和对于本使用看起来合适的层作为第三层，其包含至少一种金属，并且不同于第一层的组成。优选地，第三层的至少一种金属选自与第二层的至少一种金属相同的组。在另一个优选的实施方案中，第三层的至少一种金属和第二层的至少一种金属是相同的。在另一个优选的实施方案中，第三层的组成和第二层的组成是相同的。 [0048] 本发明的另一主题是制造由至少两个彼此接合的层构成的复合材料的部件的方法，其中第二层具有1至50 µm的厚度； 其中第一层和第二层各自包含至少一种金属； 其中第三层具有至少1 µm的厚度； 其中第一层的组成不同于第二层的组成；并且 该方法至少包括以下的方法步骤： i. 提供、重叠和接合第一层和第二层，由此形成复合材料； ii. 将涂层SL施加到第一层的一部分上； iii. 使第一层的不配备有涂层的部分与液体接触，其中通过该接触，去除第一层的至少一部分，并且在第一层中形成至少一个孔洞； iv. 任选地将涂层SL从第一层上去除； v. 任选地分割该复合材料； 由此获得所述部件。 [0049] 根据本发明和任选地优选地，可以使用就本发明的部件而论已被描述的对象作为第一层和第二层。此外，可以根据本发明方法获得的部件可以具有扩散层或者其它的就本发明的部件而论已被描述的优选特征。此外，可以根据本发明方法获得的部件优选地具有上述优选的特征的多个。 [0050] 根据方法步骤i，各自提供、重叠和彼此接合第一层和第二层，由此形成复合材料。本发明的方法可以以连续或者不连续的过程的形式来实施。如果是指连续的过程，那么优选地从储存物，例如各自从卷材中提供第一层和第二层，并且输送到重叠和随后的接合中。 在此优选地同时进行所述的重叠和接合。如果是指不连续的过程，那么例如首先各自从储存物中取出一片第一层和一片第二层。随后，将所述的两片在其面上至少部分地重叠，并且此后输送到接合中。 [0051] 所述的第一层和第二层可以根据所有已知和对于本领域技术人员而言看起来合适的技术彼此接合。优选地，在两个层重叠的区域中整面地接合。特别优选地，第一层和第二层接合为复合材料通过以下的接合技术之一来进行：冷焊、镀覆，特别是爆炸镀覆或者轧制镀覆，例如冷轧镀覆、热轧镀覆。特别在热轧镀覆时，能够实现形成扩散层。在冷轧镀覆和爆炸镀覆时，可以通过镀覆步骤之后的热处理来实现形成扩散层。上述的接合技术的两种或者更多种的组合也是优选的。 [0052] 在本发明方法的步骤ii.中，至少在第一层的一部分上施加涂层SL。 [0053] 根据一个优选的实施方案，涂层SL对于所述液体CA是耐受的。也可以使用这样的形成层的介质作为涂层SL，其在形成涂层之后对于所选的液体CA是耐受的，并且附着在第一层上。作为涂层SL，可以考虑所有的对于本领域技术人员而言已知和看起来合适的涂层。这样的涂层SL通常也称为保护漆、覆盖漆或者遮蔽剂。另一种优选的涂层SL 是收缩软管。 [0054] 在一个优选的实施方案中，第一层的部分在施加所述液体之前用涂层SL，例如漆，尤其覆盖漆或者所谓的光阻漆覆盖。 [0055] 光阻漆是这样的涂层SL，其对于在本发明方法中所用的化学品至少一段时间长，优选持久地是耐受的。首先，将光阻漆前体整面地或者至少涂敷到第一层的面的一部分上，并且形成漆层。随后辐射（belichten）该漆层的部分。施加的漆层在被辐射的位置处由于辐射被毁坏，并且去除被毁坏的漆层的残留物。根据上述变型方案处理的衬底然后进一步经受本发明的方法。 [0056] 在第二个变型方案中，施涂光阻漆前体。然而，仅在被辐射的位置处形成漆层。随后去除未固定和/或未固化的光阻漆前体。根据上述变型方案处理的衬底然后进一步经受本发明的方法。 [0057] 就所选的液体CA而言的优选的涂层SL实例示于下表中。这些列举项不是所有的。液体CA2) 涂层SL a) HF/HNO3/H2O 蚀刻阻剂SD 2052AL1) b) HCl/HNO3/H2O 蚀刻阻剂SD 2052AL1) c) KCN/H2O 金属，例如铂 d) NaOH浓 金属，例如铂 e) KI/I2/H2O 蚀刻阻剂SD 2052AL1) 1) 可以从Lackwerke Peters GmbH & Co KG，D-47906 Kempen购得； 2) 成分和混合比如上。 [0058] 在本发明方法的一个优选的实施方案中，在步骤i.之后和在步骤ii.之前，通过机械或者电处理至少去除第一层的一部分或者涂层SL的一部分或者两者的一部分。第一层的一部分、涂层SL的一部分或者第一层和施加在其上的涂层SL的一部分的去除，可以根据所有已知的和对于本领域技术人员而言看起来合适的方法进行。作为优选选择的方法，可以提到机械剥蚀的方法，例如铣削或者火花侵蚀。另一个优选的特别地剥蚀涂层SL的方法是用高能量的辐射源，例如激光或者X射线辐射涂层SL。 [0059] 随后，在本发明方法的步骤iii.中使第一层的不配备有该涂层的部分与液体CA接触，其中通过该接触去除第一层的至少一部分，并且在第一层中形成至少一个孔洞。在与液体CA接触的位置处去除第一层，通常如上所述通过化学过程，特别是通过溶解或者氧化过程来进行、根据一个优选的实施方案，除了去除第一层的至少一部分以外，在部件或者液体CA或者两者上施加电势。通过该电势诱导的电流流动（Stromfluss）能够加速去除第一层。通过去除液体CA，例如通过擦去液体CA和任选地通过去除电势，结束步骤 iii.。任选地可以用水或者有机溶剂随后冲洗。 [0060] 根据一个优选的实施方案，在步骤iv.中将涂层SL从第一层的剩余部分上去除。这可以通过以下方式进行： (i) 机械地，例如通过抛光过程、磨削过程或者铣削过程，或者 (ii) 用液体，例如用碱性溶液，或者 (iii) 通过辐射，例如如上已所述， (iv) 或者通过在条目(i)至(iii)中提到的方法的至少两种的组合。 [0061] 如果选择收缩软管作为涂层SL，优选地通过溶解或者通过切割该收缩软管和随后拉出进行去除。 [0062] 根据另一个优选的实施方案，将根据步骤iii或者iv之一所获得的复合材料在步骤v.中分割为多块，从而由此获得多个部件。如果不将该复合材料分割为多块，那么获得一个部件。 [0063] 本发明的另一主题是制造包含由至少三个彼此接合的层构成的复合材料的部件的方法，其中第二层具有1至50 µm的厚度； 其中第一层、第二层和第三层各自包含至少一种金属； 其中第三层具有至少 1 µm的厚度； 其中第一层的组成不同于第二层的组成；并且 其中第三层的组成不同于第一层的组成； 该方法至少包含以下的方法步骤： i) 提供、重叠和接合第三层、第一层和第二层，由此形成复合材料； ii) 去除第三层的一部分； iii) 使第一层的不配备有第三层的部分与液体CA接触，其中通过该接触，去除第一层的至少一部分，并且在第一层中形成至少一个孔洞； iv) 任选地去除第三层； v) 任选地分割该复合材料； 由此获得部件。 [0064] 根据本发明和任选地优选地，可以使用就本发明的部件和上述本发明方法而论已给出的对象作为第一层和第二层。此外，可以根据本发明方法获得的部件可以具有一个或者多个扩散层，或者其它的就本发明部件而论或者就上述本发明方法而论已被描述的优选特征。此外，可以根据本发明方法获得的部件优选地具有上述优选的特征的多个。 [0065] 原则上，可以使用所有的对于本领域技术人员而言已知和对于本使用看起来合适的层，作为第三层，其包含至少一种金属，并且不同于第一层的组成。优选地，第三层的至少一种金属选自与第二层的至少一种金属相同的组。在另一个优选的实施方案中，第三层的至少一种金属和第二层的至少一种金属是相同的。在另一个优选的实施方案中，第三层的组成和第二层的组成是相同的。 [0066] 根据方法步骤i)，各自提供、重叠和彼此接合第三层、第一层和第二层，由此获得复合材料。本发明的方法可以以连续或者不连续的过程的形式来实施。如果是指连续的过程，那么优选地从储存物，例如各自从卷材中提供第三层、第一层和第二层，并且输送到重叠和随后的接合中。在此优选地同时进行所述的重叠和接合。如果是指不连续的过程，那么例如首先各自从储存物中取出一片第三层、一片第一层和一片第二层。随后，将所述的三片在其面上至少部分地重叠，并且此后输送到接合中。 [0067] 所述的第三层、第一层和第二层可以根据所有已知和对于本领域技术人员而言看起来合适的技术彼此接合。优选地，在三个层的至少两个的重叠区域中整面地接合。特别优选地，三个层接合为复合材料通过以下的接合技术之一来进行：冷焊、镀覆，特别是爆炸镀覆或者轧制镀覆，例如冷轧镀覆或者热轧镀覆。特别在热轧镀覆时，能够实现形成扩散层。在冷轧镀覆和爆炸镀覆时，可以通过镀覆步骤之后的热处理来实现形成扩散层。 [0068] 在本发明方法的一个优选的实施方案中，在步骤i)之后和在步骤ii)之前，通过机械或者电处理去除第三层的至少一部分。第三层的一部分的去除，可以根据所有已知的和对于本领域技术人员而言看起来合适的方法进行。作为优选选择的方法，可以提到机械剥蚀的方法，例如铣削或者火花侵蚀。 [0069] 随后，在本发明方法的步骤iii)中使第一层的不配备有第三层的部分与液体CA接触，其中通过该接触去除第一层的至少一部分，并且在第一层中形成至少一个孔洞。在与液体CA接触的位置处去除第一层，通常通过化学过程，特别是通过溶解或者氧化过程来进行。根据一个优选的实施方案，额外地在部件或者液体CA或者两者上施加电势。通过该电势诱导的电流流动能够辅助去除第一层。通过去除液体CA，例如通过擦去液体CA和任选地通过去除电势，结束步骤 iii)。任选地可以用水或者有机溶剂随后冲洗。 [0070] 如果从一个复合材料中制造多个部件，那么这样实施上述方法，以致形成多个孔洞。 [0071] 根据另一个实施方案，在步骤iv)中将第三层至少部分地，但是优选完全地从第一层上去除。这优选地机械地，例如通过抛光过程、磨削过程或者铣削过程进行。 [0072] 根据一个优选的实施方案，不实施步骤iv)。在该情况中，第三层留在第一层上。 [0073] 根据另一个优选的实施方案，将根据步骤iii)或者iv)所获得的复合材料在步骤v)中分割为多块，从而由此获得多个部件。如果不将该复合材料分割为多块，那么获得一个部件。 [0074] 根据另一个优选的实施方案，第一层、第二层和任选的第三层制造为管。在该情况中，通过以所希望的顺序插入管来重叠，其中该管可以具有之前对于三个层所述的特征的一个或者多个。对于管，至少两个，或者至少三个彼此接合的层的复合材料优选地通过拉伸该管得以实现。在拉伸时，管的横截面减小，由此获得紧密的复合材料。对此的详细说明对于本领域技术人员而言是熟悉的。 [0075] 本发明的另一主题是包含可以根据上述两种本发明方法的任一种获得的复合材料的部件。 [0076] 本发明的另一主题是包含上述的可以根据同样上述的本发明方法的任一种获得的复合材料的部件。 [0077] 本发明的另一主题是上述的包含复合材料的本发明部件在装置中的用途。该装置优选地选自植入物，特别是心脏起搏器、探测器、尤其用于测量出现在人体和动物体中的压力的压力测量仪器，例如血压测量仪。 [0078] 本发明的另一主题是上述的包含复合材料的本发明部件用于制造用在活体中的装置的用途。该装置优选地选自植入物，特别是心脏起搏器、探测器、用于测量出现在人体和动物体中的压力的压力测量仪器，例如血压测量仪。附图说明 [0079] 图1 展示了由两个层2和3制造复合材料6的过程。可以连续或者不连续地实施该过程。在步骤a中，提供第一层2和第二层3，并且使之重叠。在步骤b中将两个层2和3通过引导到轧辊11之间紧密地接合。在轧制时，层2和3的厚度减小（在此未示出）。所获得的复合材料6示于c中。 [0080] 图2展示了由三个层2、3和8制造复合材料的过程。可以连续或者不连续地实施该过程。在步骤a中，提供第三层8、第一层2、第二层3，并且使之重叠。在步骤b中将三个层8、2和3通过引导到轧辊11之间紧密地接合。在轧制时，层8、2和3的厚度减小（在此未示出）。所获得的复合材料6示于c中。 [0081] 图3展示了制造包含载体层和膜的部件的可能性。图a展示了具有两个层2和3的复合材料6。将其用涂层SL 5涂敷。在涂层SL 5中，通过去除涂层SL 5的一部分而形成孔洞7。在图b中，涂层 SL 5仅具有一个孔洞7，其随后引入到具有液体12的浴13中。图c展示了装置，其中在涂层SL 5中具有孔洞7的复合材料6用浴13中的液体CA 12处理。此后，例如通过冲洗而去除液体CA。在图d中展示了经处理的复合材料6。其具有孔洞7，该孔洞既存在于层5，也存在于层6中。图e展示了去除涂层SL 5之后的复合材料6。 [0082] 在图4中展示了过程，其基于图3的图解。 [0083] 在图5 中展示了制造包含载体层和膜的部件的另一个可能性。在此，复合材料由三个层构成，其中第三层8对于液体CA是耐受的。图a展示了具有三个层2、3（两者未示出）和8的复合材料6。在该复合材料6中形成孔洞7。在图b中，该复合材料6具有孔洞7，其随后引入到具有液体12的浴13中。图c展示了装置，其中在层8中具有孔洞7的复合材料6用浴13中的液体CA 12处理。此后，例如通过冲洗去除液体CA。在图d中展示了经处理的复合材料6。其具有孔洞7，该孔洞既存在于层8，也存在于层6中。任选地去除层 8。图e展示了去除层8之后的复合材料6。 [0084] 在图6中展示了过程，其基于图5的图解。 [0085] 图7展示了部件的实例，其各自包含由两个层构成的复合材料。 [0086] 第1行各自展示了横截面，第2行各自展示了该部件的俯视图。图7a展示了具有平面膜（第二层3）和第一层2的圆柱形环的圆形部件。图7b展示了具有平面膜（第二层3）和第一层2的矩形框的矩形部件。图7c展示了具有作为形成内圆柱的第二层3的部分的拱形膜和第一层2的形成外圆柱的环的圆柱形部件。 [0087] 图8展示了装置10的实例（虚线表示），其包含具有由第一层2和第二层3构成的复合材料的部件(1) 。实施例 [0088] 首先，将轧制镀覆的由厚度为194 µm的铌层和厚度为6 µm的铂层构成的Nb/Pt-金属板（厚度说明基于该轧制镀覆的Nb/Pt-金属板；Nb/Pt-金属板可以从Vincent Metal Products, Inc.，33 Plan Way，Unit 3C，Warwick，RI 02886，美国获得）切割成面积为8 mm x 8 mm的矩形片。将该片在铌面上在窄侧（其为沿着金属板厚度的面）上用覆盖漆蚀刻阻剂SD2052 AL（可以从Lackwerke Peters GmbH & Co. KG，D-47906 Kempen购得）这样涂敷，以致产生均匀染色（蓝色）的薄层。必须特别注意，也仔细地用漆料涂敷铌面的边缘。在该片的铌面的中心处，开2 mm x 4 mm区域的缺口，即不用漆料涂敷。随后在 80℃下在30分钟内在空气循环加热炉中处理该涂层。随后，加入氢氟酸（HF浓度 = 48重量%，至100重量%的余量：水）、硝酸（HNO3浓度 = 69重量%，至100重量%的余量：水）（这些化学品可以从Merck KGaA，D-64293 Darmstadt购得）和去离子水（也称为VE-水）以1:1:3比例的混合物，并且将该经涂敷的板在25℃的温度下放入该混合物的浴中30分钟。在此，该片的铌面朝上。在处理之后，从该浴中取出经涂敷和处理的片，并且用去离子水冲洗。随后，通过将片浸渍到具有稀释的氢氧化钠水溶液的浴中，去除该片的漆涂层。重新用去离子水冲洗。随后用乙醇再次冲洗。这样处理的片具有连续的铂层和铌层，其中铌层在之前不含漆涂层的区域的位置处，具有从该片的铌表面直至铂层的孔洞。 [0089] 附图标记列表(1) 部件 (2) 第一层 (3) 第二层 (4) 扩散层 (5) 涂层SL (6) 复合材料 (7) 孔洞 (8) 第三层 (9) 孔洞 (10) 植入物 (11) 轧辊 (12) 液体CA (13) 浴 |
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