部件粘合装置以及方法 |
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| 申请号 | CN201580001863.3 | 申请日 | 2015-08-04 | 公开(公告)号 | CN105612229A | 公开(公告)日 | 2016-05-25 |
| 申请人 | 欧利生电气株式会社; | 发明人 | 山下卓人; 斋藤智之; 須藤昌弘; | ||||
| 摘要 | 确认粘接剂是否延伸到了部件的端部，并且能够以短时间使粘接剂延伸。在粘合对象的2个部件的一方的部件的接合面涂敷粘接剂，由部件接合装置13将2个部件接合从而获得接合部件时，在倾斜调整装置14中，由摄像机获取接合部件的2个部件的接合面中的粘接剂的延伸状态的图像，从接合部件的端部至粘接剂的端部为止的粘接剂的未延伸部的大小存在不均匀时，以粘接剂向未延伸部的较大一方移动的方式调整接合部件的倾斜，延伸调整装置15，根据由摄像机获取到的未延伸部的大小来控制按压侧的部件的压入量以及压入时间间隔从而调整粘接剂的延伸，直至未延伸部成为规定的大小以下，若未延伸部消失则使接合部件的边缘部的粘接剂硬化。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种部件粘合装置，具备： |
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| 说明书全文 | 部件粘合装置以及方法技术领域[0001] 本发明涉及利用粘接剂使2个部件粘合而作成接合部件的部件粘合装置以及方法乃至接合部件的制造方法。 背景技术[0002] 作为利用粘接剂将2个部件、例如液晶面板与防护用玻璃粘合而制造接合部件的方法，存在在2个部件之间涂敷粘接剂并加压，使粘接剂延伸而接合的加压式。例如，有如下方式，在一方的部件的粘合面的局部涂敷粘接剂，以2个部件的粘合面对置的方式使粘接剂与另一方的部件接触，对2个部件加压而使粘接剂延伸(例如，参照专利文献1)。 [0003] 此外，有如下所述方式，具有判定2个部件的一方的部件的倾斜、且沿X轴旋转方向(在YZ平面上的旋转方向)驱动的α轴驱动部、沿Y轴旋转方向(在ZX平面上的旋转方向)驱动的β轴驱动部、以及沿Z轴旋转方向(在XY平面上的旋转方向)驱动的θ轴驱动部，以沿αβθ轴方向调整部件从而修正部件的倾斜、弯曲，从而使部件平坦的方式对2个部件的倾斜进行调整(参照专利文献2)。 [0004] 进而，有如下所述的方式，尽管在被接合的2个部件间的粘接剂作为整体不硬化的状态下，也仅使接合部件的边缘部的粘接剂先行硬化，从而防止接合部件的粘接剂从接合部件的边缘部溢出(参照专利文献3)。 [0005] 先行技术文献 [0006] 专利文献 [0007] 专利文献1：日本特开2010-024321号公报 [0008] 专利文献2：日本专利第5486704号公报 [0009] 专利文献3：日本专利第5486705号公报 发明内容[0010] 发明所要解决的课题 [0011] 然而，加压式的方式，粘接剂的延伸时间受被粘合的部件的大小、粘接剂的物理参数影响，接合部件的制造花费较长时间。特别是，部件与粘接剂的界面的摩擦越大、粘接剂的粘性越大、且粘接剂的可湿性越差，则粘接剂的延伸越慢。此外，有时在部件不平行的情况、粘接剂的涂敷量不固定的情况下，粘接剂延伸至部件的端部所花费的时间较长。 [0012] 因此，如专利文献2那样，以对部件的倾斜、弯曲进行修正，从而使部件成为平坦的方式对2个部件的倾斜进行调整，或如专利文献3那样，仅使接合部件的缘部的粘接剂先行硬化，从而防止接合部件的粘接剂从接合部件的边缘部溢出，但由于都没有确认粘接剂是否延伸到了部件的端部，因此存在粘接剂适量却没有在部件的整个面延伸的情况。此外，存在使粘接剂适量地在部件的整个面延伸所花费时间较长的情况。 [0013] 本发明的目的在于提供一种能够对粘接剂是否延伸到了部件的端部进行确认，且能够在短时间使粘接剂延伸的部件粘合装置以及方法。 [0014] 用于解决课题的手段 [0015] 本发明的方式1的发明所涉及的部件粘合装置的特征在于具备：粘接剂涂敷装置，在粘合对象的2个部件的一方的部件的接合面涂敷粘接剂；部件接合装置，夹着利用所述粘接剂涂敷装置涂敷的粘接剂，对所述2个部件的任一部件进行按压并将按压侧的部件向相反侧的部件侧压入，从而将所述2个部件的接合面接合来获得接合部件；倾斜调整装置，由摄像机获取由所述部件接合装置接合而成的接合部件的2个部件的接合面中的所述粘接剂的延伸状态的图像，从所述接合部件的端部至所述粘接剂的端部为止的所述粘接剂的未延伸部的大小存在不均匀时，以所述粘接剂向所述未延伸部的较大一方移动的方式调整接合部件中的所述2个部件各自的倾斜；延伸调整装置，根据由所述摄像机获取到的所述未延伸部的大小，来控制按压侧的部件的压入量以及压入时间间隔从而调整所述粘接剂的延伸，直至所述未延伸部成为规定的大小以下；以及粘接剂硬化处理装置，若通过所述延伸调整装置的调整，所述未延伸部消失则使所述接合部件的边缘部的粘接剂硬化。 [0016] 方式2的发明所涉及的部件粘合装置的特征在于，在方式1的发明中，所述延伸调整装置为，在所述未延伸部的大小较大时增大压入量，在所述未延伸部的大小较小时减小所述压入量，且伴随所述未延伸部的大小变小而增长所述压入时间间隔。 [0017] 方式3的发明所涉及的部件粘合装置的特征在于，在方式1或方式2的发明中，所述未延伸部的大小是指所述未延伸部的距离或面积。 [0018] 方式4的发明所涉及的部件粘合方法乃至接合部件的制造方法的特征在于，在粘合对象的2个部件的一方的部件的接合面涂敷粘接剂；经由被涂敷的粘接剂对2个部件的任一部件进行按压并将按压侧的部件向相反侧的部件侧压入从而将2个部件的接合面接合；获取由所述粘接剂接合而成的接合部件的2个部件的接合面中的所述粘接剂的延伸状态的图像，从所述接合部件的端部至所述粘接剂的端部为止的所述粘接剂的未延伸部的大小存在不均匀时，以所述粘接剂向所述未延伸部的较大一方移动的方式调整接合部件的倾斜； 根据所述未延伸部的大小来控制按压侧的部件的压入量以及压入时间间隔从而调整所述粘接剂的延伸，直至所述未延伸部成为规定的大小以下；若所述未延伸部消失则使所述接合部件的边缘部的粘接剂硬化。 [0019] 方式5的发明所涉及的部件粘合方法乃至接合部件的制造方法的特征在于，在方式4的发明中，在所述未延伸部的大小较大时增大压入量，在所述未延伸部的大小较小时减小所述压入量，且伴随所述未延伸部的大小变小而增长所述压入时间间隔。 [0020] 方式6的发明所涉及的部件粘合方法乃至接合部件的制造方法的特征在于，在方式4或方式5的发明中，所述未延伸部的大小是指所述未延伸部的距离或面积。 [0021] 方式7所涉及的接合部件的制造方法具备：向方式1乃至方式3的任一部件粘合装置提供粘合对象的2个部件的工序；以及由所述部件粘合装置将所述2个部件粘合的工序。 [0022] 发明的效果 [0023] 根据方式1、4的发明，由摄像机获取接合而成的接合部件的2个部件的接合面中的粘接剂的延伸状态的图像，因此能够容易地确认粘接剂是否延伸到了接合部件的端部。并且，从该图像获得的从接合部件的端部至粘接剂的端部为止的未延伸部的大小存在不均匀时，以粘接剂向未延伸部的较大一方移动的方式调整接合部件的倾斜，并根据未延伸部的大小来控制按压侧的部件的压入量以及压入时间间隔从而调整所述粘接剂的延伸，直至未延伸部成为规定的大小以下，因此能够以短时间使粘接剂延伸。进而，若未延伸部消失，则使接合部件的边缘部的粘接剂硬化，因此能够获得消除了粘接剂的溢出以及粘接剂的不足的接合部件。 [0024] 根据方式2、5的发明，除了方式1、4的发明效果以外，在未延伸部的大小较大时增大压入量，在未延伸部的大小较小时减小压入量，且伴随未延伸部的大小变小而增长压入时间间隔，因此能够高精度地进行粘接剂的延伸调整。 [0026] 图1为表示本发明的实施方式所涉及的部件粘合装置的一例的框图。 [0027] 图2为由本发明的实施方式所涉及的部件接合装置进行的2个部件的粘合的一例的说明图。 [0028] 图3为表示本发明的实施方式的倾斜调整装置以及延伸调整装置的一例的立体图。 [0029] 图4为由本发明的实施方式所涉及的倾斜调整装置进行的部件的倾斜调整的一例的说明图。 [0030] 图5为粘接剂延伸状态图像的一例的俯视图，该图表示利用本发明的实施方式所涉及的部件接合装置而接合的接合部件的2个部件的接合面中的粘接剂的延伸状态。 [0031] 图6为表示本发明的实施方式所涉及的部件粘合方法的一例的流程图。 [0032] 图7为表示图6的步骤S3中倾斜调整的处理内容的一例的流程图。 [0033] 图8为表示图6的步骤S4中延伸调整的处理内容的一例的流程图。 具体实施方式[0034] 该申请基于2014年9月16日在日本提出申请的特愿2014‐187598号，其内容作为本申请的内容而形成本申请的一部分。本发明能够通过以下详细的说明而进一步完全理解。本发明的进一步应用范围能够通过以下详细的说明而明确。然而，详细的说明以及特定的示例为本发明的优选实施方式，仅为了说明的目的而记载。对该详细的说明进行的各种变更、改变在本发明的精神与范围内对本领域技术人员来说是清楚的。申请人无意将所记载的实施方式全部公之于众，改变、替代方案中也许在专利请求的范围内未被语言上所包含，但也成为在等同论下的发明的一部分。 [0035] 以下，说明本发明的实施方式。图1为表示本发明的实施方式所涉及的部件粘合装置的一例的框图。部件接收装置11具有用于接收粘合对象的2个部件的夹具，使部件对齐于该夹具的位置而被搭载。粘接剂涂敷装置12对由部件接收装置11接收到的2个部件中的一方的部件的接合面涂敷粘接剂，且被涂敷下述那样的粘接剂：粘接剂的厚度成为固定的量的粘接剂。并且，部件接合装置13经由利用粘接剂涂敷装置12涂敷的粘接剂，对2个部件的任一部件进行按压，将按压侧的部件向相反侧的部件侧压入，从而将2个部件的接合面接合来作成接合部件。 [0036] 倾斜调整装置14从摄像机获取利用部件接合装置13而被接合的接合部件的2个部件的接合面中的粘接剂的延伸状态的图像，并对从接合部件的端部至粘接剂的端部为止的粘接剂的未延伸部的大小是否存在不均匀(偏差、偏倚、偏斜)进行判定，在粘接剂的未延伸部的大小存在不均匀时，以粘接剂向未延伸部的较大一方移动的方式调整接合部件的倾斜。 [0037] 延伸调整装置15根据由摄像机获取到的粘接剂的延伸状态的图像中未延伸部的大小，来控制按压侧的部件的压入量以及压入时间间隔从而调整粘接剂的延伸，直至未延伸部成为规定的大小以下。并且，若通过延伸调整装置15的调整未延伸部消失，则粘接剂硬化处理装置16使接合部件的边缘部的粘接剂硬化。 [0038] 图2为由部件接合装置13进行的2个部件的粘合的一例的说明图。在图2中，部件接合装置13利用把持具17吸附一方的部件18a来进行把持，并持之至搭载于部件搭载台19的另一方的部件18b之上，通过驱动装置20将部件搭载台19向上方推来按压另一方的部件18b并将另一方的部件18b向一方的部件18a侧压入，经由粘接剂使2个部件18a、18b的接合面接合。除此之外也可采用下述方式，通过把持一方的部件18a的把持具17的按压力将一方的部件18a向另一方的部件18b侧压入。 [0039] 图3为表示倾斜调整装置14以及延伸调整装置15的一例的立体图。在图3中省略了部件接合装置13(把持具17)以及摄像机的图示。 [0040] 一方的部件18a由省略图示的部件接合装置的把持具把持，通过把持具的半旋转，被移动至位于在部件搭载台19上搭载的另一方的部件18b之上。并且，部件搭载台19由驱动装置20驱动。 [0041] 驱动装置20具有：沿X轴方向驱动部件搭载台19的X轴驱动部21；沿Y轴方向驱动部件搭载台19的Y轴驱动部22；沿Z轴方向驱动部件搭载台19的Z轴驱动部23；沿X轴旋转方向(在YZ平面上的旋转方向)驱动部件搭载台19的α轴驱动部24；沿Y轴旋转方向(在ZX平面上的旋转方向)驱动部件搭载台19的β轴驱动部25；以及沿Z轴旋转方向(在XY平面上的旋转方向)驱动部件搭载台19的θ轴驱动部26。 [0042] 图4为由倾斜调整装置14进行的部件的倾斜调整的一例的说明图。倾斜调整装置14对部件搭载台19的位置进行调整，部件搭载台19搭载有将一方的部件18a与另一方的部件18b接合而成的接合部件27。对搭载于部件搭载台19的接合部件27的倾斜进行下述调整，利用部件接合装置13的驱动装置20中的α轴驱动部24、β轴驱动部25，以粘接剂向未延伸部的较大一方移动的方式调整接合部件27的倾斜。 [0043] 图5为粘接剂延伸状态图像29的一例的俯视图，该图表示由部件接合装置13接合而成的接合部件27的2个部件18a、18b的接合面中的粘接剂28的延伸状态。该粘接剂延伸状态图像29由摄像机获取，并输入至延伸调整装置15。如图5所示，若输入粘接剂延伸状态图像29，则延伸调整装置15总是对从接合部件27的端部至粘接剂28的端部为止的粘接剂28的未延伸部30的大小进行监视。 [0044] 未延伸部30的大小设为未延伸部30的距离La或未延伸部30的面积。在图5中，示出了将距离La设为未延伸部30的大小的情况。在以下的说明中，对将未延伸部30的大小设为未延伸部30的距离La的情况进行说明。将未延伸部30分割为几个区域(例如i)，对分割后的分割线处的未延伸部30的距离Lai进行测量，未延伸部30的距离La使用距离Lai的平均值或距离Lai的最大值。 [0045] 示出了下述情况，在图5的上侧的未延伸部30A中，未延伸部30的距离La为LAa，在图5的下侧的未延伸部30B中，未延伸部30的距离La为LBa，在图5的左侧的未延伸部30C中未延伸部30的距离La为LCa，在图5的右侧的未延伸部30D中，未延伸部30的距离La为LDa。 [0046] 延伸调整装置15总是计算接合部件27的未延伸部30的大小(距离La)。并且，延伸调整装置15根据该未延伸部30的大小(距离La)，计算直至未延伸部30成为规定的大小以下的按压侧的部件的压入量W以及压入时间间隔T，并经由部件接合装置13，利用计算出的压入量W以及压入时间间隔T对按压侧的部件进行按压来调整接合部件27的接合面中的粘接剂28的延伸状态。在表1中示出由延伸调整装置15进行调整的压入量W以及压入时间间隔T的一例。 [0047] 【表1】 [0048] [0049] 如表1所示，延伸调整装置15在未延伸部30的大小(距离La)较大时增大压入量W，在未延伸部30的大小较小时减小压入量W，伴随未延伸部30的大小变小而增长压入时间间隔T。 [0050] 在接合部件27的未延伸部30的距离La为第1设定值L1以上时(第1区域时)，将另一方的部件18b的压入量W设为第1规定值W1，将压入时间间隔T设为第1规定时间间隔T1。在未延伸部30的距离La比第1设定值L1小且在第2设定值L2以上时(第2区域时)，将另一方的部件18b的压入量W设为第2规定值W2(W2≦W1)，将压入时间间隔T设为第2规定时间间隔T2(T2≧T1)。以下同样地，在未延伸部30的距离La比第2设定值L2小且在第3设定值L3以上时(第3区域时)，将另一方的部件18b的压入量W设为第3规定值W3(W3≦W2)，将压入时间间隔T设为第3规定时间间隔T3(T3≧T2)。此外，在未延伸部30的距离La比第3设定值L3小且在第4设定值L4以上时(第4区域时)，将另一方的部件18b的压入量W设为第4规定值W4(W4≦W3)，将压入时间间隔T设为第4规定时间间隔T4(T4≧T3)。并且，若未延伸部30的距离La变得比第4设定值L4小(成为第5区域)，则中止另一方的部件18b的压入，并等待未延伸部30的距离La变为0。 [0051] 像这样，控制压入量W与时间间隔T。在未延伸部30的距离La较大时(延伸不充分的状态时)增大压入量W来缩小2个部件18a、18b之间的距离，并缩短压入时间间隔T，从而促进粘接剂的延伸。并且，若粘接剂延伸至某种程度则逐渐减小压入量W，并增长压入时间间隔T，从而使粘接剂28不向接合部件27的外方溢出。 [0052] 即，在未延伸部30的距离La较大时，应以短时间使粘接剂延伸，增大压入量W并缩短压入时间间隔T，若未延伸部30的距离La变小则减小压入量W并增长压入时间间隔T，从而防止粘接剂溢出。 [0053] 图6为表示本发明的实施方式所涉及的部件粘合方法的一例的流程图。首先，在粘合对象的2个部件的一方的部件的接合面涂敷粘接剂(S1)。向一方的部件的粘接剂的涂敷由粘接剂涂敷装置进行。经由利用粘接剂涂敷装置涂敷的粘接剂，对2个部件的任一部件进行按压并将按压侧的部件向相反侧的部件侧压入从而将2个部件的接合面接合(S2)。2个部件的接合由部件接合装置进行。 [0054] 接下来，进行由粘接剂接合而成的接合部件的倾斜调整(S3)，且进行粘接剂的延伸调整(S4)。接合部件的倾斜调整由倾斜调整装置进行。接合部件的倾斜调整在之后叙述，获取由粘接剂接合而成的接合部件的2个部件的接合面中的粘接剂的延伸状态的图像，从接合部件的端部至粘接剂的端部为止的粘接剂的未延伸部的大小存在不均匀时，以粘接剂向未延伸部的较大一方移动的方式调整接合部件的倾斜来进行。 [0055] 另一方面，粘接剂的延伸调整由延伸调整装置15进行。粘接剂的延伸调整，在之后叙述，根据未延伸部的大小来控制按压侧的部件的压入量以及压入时间间隔来进行，直至未延伸部成为规定的大小以下。并且，通过粘接剂的延伸调整，若未延伸部消失则使接合部件的边缘部的粘接剂硬化(S5)。粘接剂的硬化由粘接剂硬化处理装置进行。粘接剂的硬化例如照射紫外线来进行或加热进行。 [0056] 图7为表示图6的步骤S3中倾斜调整的处理内容的一例的流程图。首先，如图5所示，取得由摄像机获取到的粘接剂延伸状态图像29(V1)，并基于粘接剂延伸状态图像29，计算从接合部件27的端部至粘接剂28的端部为止的未延伸部30的距离La(V2)。并且，判定未延伸部的距离La是否为目标距离(V3)，在未延伸部的距离La满足目标距离时，结束倾斜调整处理。目标距离通常为0。另外，根据粘接剂的粘度，有时也存在设为未延伸部30稍有残留的状态，不设为0的情况。因此，为了与这些情况对应，设为满足例如表1的第5区域的距离(L4>La≧0)。 [0057] 一方面，粘接剂未延伸至未延伸部的距离La到达目标距离时，判定未延伸部的距离是否存在不均匀(V4)，在未延伸部的距离La不存在不均匀时返回步骤T1。另一方面，在未延伸部的距离La存在不均匀时，以粘接剂向未延伸部30的较大一方移动的方式进行倾斜调整后返回步骤T1(V5)。 [0058] 图8为表示图6的步骤S4中延伸调整的处理内容的一例的流程图。首先作为第i区域控制将变数i设置为1(U1)。并且，取得由摄像机获取到的粘接剂延伸状态图像29(U2)，基于粘接剂延伸状态图像29，计算从接合部件27的端部至粘接剂28的端部为止的未延伸部30的距离La(U3)。 [0059] 然后，判定未延伸部30的距离La是否为设定值Li以下(U4)。在初始时，由于在步骤U1中将变数i设置为1，因此成为判定未延伸部30的距离La是否为第1设定值L1以下。步骤U4判定为未延伸部30的距离La比第1设定值L1大时，成为表1所示的第1区域，进行第1区域的压入量W0量的压入操作(U5)，并确保第1区域的时间间隔T0量的停止时间且返回步骤U2(U6)。 [0060] 通过步骤U5的压入操作以及步骤U6的停止时间的确保，成为粘接剂的延伸被促进的状态。在该状态下，再次取得粘接剂延伸状态图像29(U2)，并计算未延伸部30的距离La(U3)，且判定未延伸部30的距离La是否为第1设定值L1以下(U4)。该步骤U4判定为未延伸部30的距离La为第1设定值L1以下时，判定未延伸部30的距离La是否成为了目标距离(U7)，未延伸部30的距离La未成为目标距离时，对变数i加1(U8)。 [0061] 然后，判定变数i是否为最大值(表1的情况为i＝5)以上(S9)，变数i为最大值以上时返回步骤U7。变数i不是最大值以上时返回步骤U1，开始第2区域控制(i＝2)。以下同样地，进行步骤U2～步骤U9的处理，步骤U7判定为粘接剂延伸至目标距离时结束延伸调整处理。目标距离通常为0。另外，根据粘接剂的粘度，也存在设为未延伸部30稍有残留的状态，不设为0的情况。例如设为满足表1的第5区域的距离(L4>La≧0)。 [0062] 若从接合部件27的端部至粘接剂28的端部为止的粘接剂28的未延伸部30消失，则粘接剂硬化处理装置16使接合部件27的边缘部的粘接剂硬化。例如，对接合部件27的边缘部照射紫外线或加热来使粘接剂硬化。粘接剂28的未延伸部30消失是指，在使用平均距离作为未延伸部30的大小的情况下，并非是未延伸部30的大小变为0这一条件，而是从接合部件27的端部至粘接剂28的端部为止的最大距离变为0时。 [0063] 在以上的说明中，对将未延伸部30的大小设为未延伸部30的距离La的情况进行了说明，但也可以设为粘接剂未延伸的面积。对于设为面积的情况，粘接剂28的未延伸部30消失是指，以未延伸部30的面积变为0进行判断。此外，在以上的说明中，对2个部件18a、18b为平坦的面板状的情况进行了说明，但2个部件也可以是块状体，也能够适用于接合面倾斜、粘接剂斜向流动的情况。 [0065] 与本发明的说明相关(特别是与以下的权利要求相关)而使用的名词以及同样的指示语的使用，只要在本说明书中未特别指出或明显与文理矛盾，则解释为言及单数以及多数这两方。语句“具备”、“具有”、“含有”、以及“包含”，只要未特别否定，则解释为开放式术语(open-end term)(即“不限于包含～”的意思)。在本说明书中的数值范围的具体示例只要未在本说明书中特别指出，则仅意味着发挥作为用于分别言及与该范围内相当的各值的略记法的作用，各个值以在本说明书中个别地列举的方式编入说明书中。在本说明书中说明过的全部的方法只要未在本说明书中特别指出，或明显与文理矛盾，则能够以所有的适当的顺序进行。在本说明书中使用的所有例子或例示性的措辞(例如“等”)只要未特别主张，则仅意味着更好地说明本发明，不对本发明的范围进行限制。对于说明书中的任意的措辞，不解释为将未记载在权利要求中的要素作为本发明的实施所不可欠缺的要素而进行表示。 [0066] 在本说明书中，对于包含为实施本发明、本发明者所知的最佳的方式、本发明的优选的实施方式进行了说明。对于本领域人员来说只要读过上述说明则能够清楚这些优选的实施方式的变形。本发明者期待熟练者恰当地适用这样的变形，预定以在本说明书中具体地进行说明的以外的方法来实施本发明。因此本发明以适用法律许可的方式包含，在本说明书中添附的权利要求中所记载的内容的修正以及等同物。进而，只要在本说明书中未特别指出或明显与文理矛盾，则也在本发明包含全部的变形中的上述要素的任意的组合。 [0067] 符号的说明 [0068] 11…部件接收装置，12…粘接剂涂敷装置，13…部件接合装置，14…倾斜调整装置，15…延伸调整装置，16…粘接剂硬化处理装置，17…把持具，18…部件，19…部件搭载台，20…驱动装置，21…X轴驱动部，22…Y轴驱动部，23…Z轴驱动部，24…α轴驱动部，25…β轴驱动部，26…θ轴驱动部，27…接合部件，28…粘接剂，29…粘接剂延伸状态图像，30…未延伸部 |
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