1.一种微机电系统(MEMS)器件，包括：
第一板；
第二板，布置在所述第一板之上；
第一可移动板，布置在所述第一板和所述第二板之间；以及
第二可移动板，布置在所述第一可移动板和所述第二板之间。
2.根据权利要求1所述的器件，其中所述第一可移动板刚性地耦合到所述第二可移动板。
3.根据权利要求1所述的器件，其中所述第一可移动板配置成被屏蔽而免于与所述第二可移动板电容性耦合。
4.根据权利要求1所述的器件，进一步包括：
底部空腔，布置在所述第一板下方；
第一空腔，布置在所述第一板与所述第一可移动板之间；以及
第二空腔，布置在所述第二板与所述第二可移动板之间。
5.根据权利要求1所述的器件，其中所述第一可移动板配置成耦合到与所述第二可移动板不同的电位节点。
6.根据权利要求1所述的器件，其中所述第一可移动板配置成通过第一滤波器耦合到电压源，并且其中所述第二可移动板配置成通过第二滤波器耦合到所述电压源。
7.根据权利要求6所述的器件，其中所述第一滤波器和所述第二滤波器包括不同的RC滤波器。
8.根据权利要求1所述的器件，其中所述第一板是第一固定板，并且其中所述第二板是第二固定板。
9.根据权利要求8所述的器件，其中所述第一固定板配置成通过第一滤波器耦合到电压源，并且其中所述第二固定板配置成通过第二滤波器耦合到所述电压源。
10.根据权利要求8所述的器件，进一步包括：
第三可移动板和第四可移动板；以及
第三固定板和第四固定板，其中所述第三可移动板电容性耦合到所述第三固定板，其中所述第四可移动板电容性耦合到所述第四固定板。
11.根据权利要求10所述的器件，所述第一可移动板配置成通过第一滤波器耦合到第一电压源，其中所述第二可移动板配置成通过第二滤波器耦合到所述第一电压源，其中所述第三可移动板配置成通过第三滤波器耦合到第二电压源，并且其中所述第四可移动板配置成通过第四滤波器耦合到所述第二电压源。
12.根据权利要求11所述的器件，其中所述第一滤波器和所述第二滤波器包括不同的RC滤波器，并且其中所述第三滤波器和所述第四滤波器包括不同的RC滤波器。
13.一种传感器电路，包括：
第一滤波器电路，耦合在电压源与第一输入偏置节点之间，所述第一输入偏置节点配置成耦合到电容式传感器的第一类型的第一板；以及
第二滤波器电路，耦合在所述电压源与第二输入偏置节点之间，所述第二输入偏置节点配置成耦合到所述电容式传感器的所述第一类型的第二板，其中所述电容式传感器包括电容性耦合到第二类型的第一板的所述第一类型的第一板和电容性耦合到所述第二类型的第二板的所述第一类型的第二板。
14.根据权利要求13所述的电路，其中所述第一滤波器电路包括耦合在所述电压源与所述第一输入偏置节点之间的第一电阻器和耦合在固定电位和所述第一输入偏置节点之间的第一电容器，并且其中所述第二滤波器电路包括耦合在所述电压源与所述第二输入偏置节点之间的第二电阻器和耦合在所述固定电位和所述第二输入偏置节点之间的第二电容器。
15.根据权利要求14所述的电路，其中所述第一电阻器包括二极管或金属绝缘体半导体晶体管，其中所述第一电容器包括金属绝缘体半导体电容器。
16.根据权利要求13所述的电路，其中所述第一类型的所述第一板刚性地耦合到所述第一类型的所述第二板。
17.根据权利要求13所述的电路，其中所述电容式传感器包括微机电系统(MEMS)麦克风。
18.根据权利要求13所述的电路，其中所述第一类型的所述第一板是第一可移动板，其中所述第一类型的所述第二板是第二可移动板，其中所述第二类型的所述第一板是第一固定板，并且其中所述第二类型的所述第二板是第二固定板。
19.根据权利要求18所述的电路，进一步包括：
第一放大器，包括耦合到第一输出偏置节点的输入节点，所述第一输出偏置节点配置成耦合到所述电容式传感器的所述第一固定板；以及
第二放大器，包括耦合到第二输出偏置节点的输入节点，所述第二输出偏置节点配置成耦合到所述电容式传感器的所述第二固定板。
20.根据权利要求19所述的电路，进一步包括：
第一反馈电容器，耦合在所述第一输入偏置节点与所述第一放大器的输出节点之间；
以及
第二反馈电容器，耦合在所述第二输入偏置节点与所述第二放大器的输出节点之间。
21.根据权利要求19所述的电路，进一步包括：
第一反馈电容器，耦合在所述第二输入偏置节点与所述第一放大器的输出节点之间；
以及
第二反馈电容器，耦合在所述第一输入偏置节点与所述第二放大器的输出节点之间。
22.根据权利要求13所述的电路，其中所述第一类型的所述第一板是第一固定板，其中所述第一类型的所述第二板是第二固定板，其中所述第二类型的所述第一板是第一可移动板，并且其中所述第二类型的所述第二板是第二可移动板。
23.根据权利要求22所述的电路，进一步包括：
第一放大器，包括耦合到第一输出偏置节点的输入节点，所述第一输出偏置节点配置成耦合到所述电容式传感器的所述第一可移动板；以及
第二放大器，包括耦合到第二输出偏置节点的输入节点，所述第二输出偏置节点配置成耦合到所述电容式传感器的所述第二可移动板。
24.根据权利要求23所述的电路，进一步包括：
第一反馈电容器，耦合在所述第一放大器的所述输入节点与所述第一放大器的输出节点之间；以及
第二反馈电容器，耦合在所述第二放大器的所述输入节点与所述第二放大器的输出节点之间。
25.根据权利要求23所述的电路，进一步包括：
第一反馈电容器，耦合在所述第二放大器的所述输入节点与所述第一放大器的输出节点之间；以及
第二反馈电容器，耦合在所述第一放大器的所述输入节点与所述第二放大器的输出节点之间。
26.一种形成微机电系统(MEMS)器件的方法，所述方法包括：
在衬底中或在衬底之上形成第一板；
在所述第一板之上形成第二板；
在所述第一板与所述第二板之间形成第一可移动板；以及
在所述第一可移动板与所述第二板之间形成第二可移动板。
27.根据权利要求26所述的方法，其中所述第一可移动板和所述第二可移动板形成为同一可移动块的一部分，并且其中所述第一可移动板配置成被屏蔽以免于与所述第二可移动板电容性耦合。
28.根据权利要求26所述的方法，进一步包括：
在所述第一板下方的衬底中形成底部空腔；
在所述第一板和所述第一可移动板之间形成第一空腔；以及
在所述第二板与所述第二可移动板之间形成第二空腔。