1.一种曝光装置，其透过投影光学系统以照明光使基板曝光，其具备有：
机体，具有在该基板的曝光被进行的曝光站中支承该投影光学系统的测量框架；
第1检测系统，在与该曝光站不同的测量站中被支承于该测量框架，且检测该基板的标记；
基座构件，配置于该投影光学系统及该第1检测系统的下方；
载台，具有保持该基板的保持具，且配置于该基座构件上；
驱动系统，使在该基座构件上被悬浮支承的该载台，从该曝光站与该测量站的一方往另一方移动，并且以该基板可移动于包含在与该投影光学系统的光轴垂直的既定面内相互正交的第1、第2方向及与该既定面正交的第3方向的6自由度方向的方式驱动该载台；
测量系统，测量该载台的该6自由度方向的位置信息，其具有设于该载台、且对具有分别形成有绕射光栅的4个部分与开口的标尺构件从其下方分别照射测量光束的4个读头；以及
控制系统，根据由该测量系统测量的位置信息，控制该驱动系统的该载台的驱动；
该标尺构件，以该投影光学系统位于该开口内的方式被支承于该测量框架；
该4个读头以其中相邻2个读头的间隔大于该开口的宽度的方式设置于该载台；
在该基板的曝光动作中、在该曝光站内的该载台移动的移动区域，包含：第1区域，该4个读头中除了第1读头外的3个读头，分别与该4个部分中除了第1部分外的3个部分对向；第
2区域，该4个读头中除了与该第1读头不同的第2读头外的3个读头，分别与该4个部分中除了与该第1部分不同的第2部分外的3个部分对向；第3区域，该4个读头中除了与该第1、第2读头不同的第3读头外的3个读头，分别与该4个部分中除了与该第1、第2部分不同的第3部分外的3个部分对向；第4区域，该4个读头中除了与该第1、第2、第3读头不同的第4读头外的
3个读头，分别与该4个部分中除了与该第1、第2、第3部分不同的第4部分外的3个部分对向；
以及第5区域，该4个读头分别与该4个部分对向；
该控制系统，以该载台从该第1、第2、第3、第4区域的1个，透过该第5区域，往该第1、第
2、第3、第4区域中与该1个区域不同的区域移动的方式控制该驱动系统，并且，取代该1个区域中所使用的3个读头的该载台的驱动控制，使用用于补偿因进行在该不同的区域中所使用的3个读头的该载台的驱动控制而产生的该测量系统的测量误差的修正信息，进行在该不同的区域中使用的3个读头的该载台的驱动控制；
该修正信息，从在该载台于该第5区域的期间由该4个读头所得的位置信息取得。
2.如权利要求1的曝光装置，其中，在该载台于该第5区域的期间，取代在该1个区域中使用的3个读头的该载台的驱动控制，进行该不同的区域中使用的3个读头的该载台的驱动控制。
3.如权利要求2的曝光装置，其中，在该不同的区域中，取代在该1个区域中所使用的3个读头的1个，使用该4个读头中与该1个区域中所使用的3个读头不同的其他读头，并且藉由该其他读头、与在该1个区域中所使用的3个读头中除了该1个读头外的2个读头的3个读头，测量该载台的位置信息。
4.如权利要求3的曝光装置，其中，该4个读头，以于该第1方向该4个读头中2个读头的间隔大于该开口的宽度、且于该第2方向该4个读头中2个读头的间隔大于该开口的宽度的方式设置在该载台。
5.如权利要求4的曝光装置，其中，该4个读头分别可测量该载台的关于该第1方向或该第2方向、与该第3方向的2方向的位置信息。
6.如权利要求5的曝光装置，其中，该修正信息，包含用于在该不同区域中使用该其他读头控制该载台的驱动的信息，该信息是从在该第5区域中藉由在该1个区域中使用的3个读头所测量的位置信息与藉由在该不同的区域中使用的3个读头所测量的位置信息获得。
7.如权利要求6的曝光装置，其中，用于该其他读头的该载台的驱动控制的信息，是在从该1个区域透过该第5区域而往该不同的区域移动的该载台等速驱动于该第5区域的一部分的期间取得。
8.如权利要求7的曝光装置，其中，用于该其他读头的该载台的驱动控制的信息，是在该第1方向或该第2方向、与该第3方向的2方向取得。
9.如权利要求5的曝光装置，其中，该测量误差，是因在该1个区域与该不同的区域中使用于该测量的该读头及该部分有一个不同而产生。
10.如权利要求5的曝光装置，其中，该修正信息，包含该第5区域内的该载台的坐标偏移，该坐标偏移是用于补偿由该1个区域中使用的3个读头所获得的位置信息、与由该不同的区域中使用的3个读头所获得的位置信息的差。
11.如权利要求1至10中任一项的曝光装置，其进一步具备与该标尺构件不同的标尺构件，其具有与该4个部分不同的分别形成绕射光栅的4个部分、及与该开口不同的开口，且以该第1检测系统位于该不同的开口内的方式被支承于该测量框架；
该第1检测系统的该标记的检测动作中，藉由该测量系统测量该载台的位置信息。
12.如权利要求11的曝光装置，其进一步具备第2检测系统，其配置在该测量站，检测该基板的关于该第3方向的位置信息；
该第2检测系统的该基板的检测动作中，藉由该测量系统测量该载台的位置信息。
13.如权利要求12的曝光装置，其中，该第2检测系统的检测动作，其至少一部分与该第
1检测系统的检测动作一起进行，并且该第1、第2检测系统的检测动作分别在该曝光动作前进行；
在该曝光动作中，使用该第1、第2检测系统的检测信息。
14.如权利要求13的曝光装置，其进一步具备：光罩载台，保持由该照明光照明的光罩；
以及
编码器系统，测量该光罩载台的位置信息；
在该基板的扫描曝光中，以该光罩与该基板同步移动的方式控制该光罩载台与该载台的驱动。
15.如权利要求14的曝光装置，其进一步具备与该载台不同的载台，其配置于该基座构件上；
该测量系统，具有设于该不同的载台的与该4个读头不同的4个读头，藉由该不同的4个读头中的至少3个，测量该不同的载台的关于该6自由度方向的位置信息。
16.如权利要求15的曝光装置，其中，该标尺构件与该不同的标尺构件，分别以该绕射光栅为二维绕射光栅、并且该绕射光栅成为与该既定面实质上平行的方式被支承于该测量框架。
17.如权利要求16的曝光装置，其中，该控制系统，补偿起因于该标尺构件的制造误差、该载台的加速度、该读头的位置或倾斜中的至少一个而产生的该测量系统的测量误差，并且控制该载台的驱动。
18.如权利要求16的曝光装置，其中，该测量系统，具有接近于该读头并设置于该载台的辅助读头，可将该读头切换成该辅助读头并继续实行该测量。
19.如权利要求16的曝光装置，其中，该基板被进行扫描曝光；
从该1个读头往该其他读头的切换，是在该照明光照射于该基板的扫描曝光期间以外进行。
20.如权利要求16的曝光装置，其中，从该1个读头往该其他读头的切换，是在该载台的等速移动期间以外进行。
21.一种曝光方法，其透过投影光学系统以照明光使基板曝光，其包含以下动作：
藉由驱动系统，以该基板可移动于包含在与该投影光学系统的光轴垂直的既定面内相互正交的第1、第2方向及与该既定面正交的第3方向的6自由度方向的方式驱动载台，其中，该载台，具有保持该基板的保持具，且被悬浮支承在基座构件上，该基座构件，配置于该投影光学系统及第1检测系统的下方，该投影光学系统，在进行该基板曝光的曝光站中被支承于机体的测量框架，该第1检测系统，在与该曝光站不同的测量站中被支承于该测量框架，且检测该基板的标记，该驱动系统，使该载台从该曝光站与该测量站的一方往另一方移动；
藉由测量系统，测量该载台的该6自由度方向的位置信息，其中，该测量系统具有设于该载台、且对具有分别形成有绕射光栅的4个部分与开口的标尺构件从其下方分别照射测量光束的4个读头；以及
根据由该测量系统测量的位置信息，控制该载台的驱动；
该标尺构件，以该投影光学系统位于该开口内的方式被支承于该测量框架；
该4个读头以其中相邻2个读头的间隔大于该开口的宽度的方式设置于该载台；
在该基板的曝光动作中、在该曝光站内的该载台的移动区域，包含：第1区域，该4个读头中除了第1读头外的3个读头，分别与该4个部分中除了第1部分外的3个部分对向；第2区域，该4个读头中除了与该第1读头不同的第2读头外的3个读头，分别与该4个部分中除了与该第1部分不同的第2部分外的3个部分对向；第3区域，该4个读头中除了与该第1、第2读头不同的第3读头外的3个读头，分别与该4个部分中除了与该第1、第2部分不同的第3部分外的3个部分对向；第4区域，该4个读头中除了与该第1、第2、第3读头不同的第4读头外的3个读头，分别与该4个部分中除了与该第1、第2、第3部分不同的第4部分外的3个部分对向；以及第5区域，该4个读头分别与该4个部分对向；
该载台，从该第1、第2、第3、第4区域的1个，透过该第5区域，往该第1、第2、第3、第4区域中与该1个区域不同的区域移动，并且，取代该1个区域中所使用的3个读头的该载台的驱动控制，使用用于补偿因进行在该不同的区域中所使用的3个读头的该载台的驱动控制而产生的该测量系统的测量误差的修正信息，进行在该不同的区域中使用的3个读头的该载台的驱动控制；
该修正信息，从在该载台于该第5区域的期间由该4个读头所得的位置信息取得。
22.如权利要求21的曝光方法，其中，在该载台于该第5区域的期间，取代在该1个区域中使用的3个读头的该载台的驱动控制，进行该不同的区域中使用的3个读头的该载台的驱动控制。
23.如权利要求22的曝光方法，其中，在该不同的区域中，取代在该1个区域中所使用的
3个读头的1个，使用该4个读头中与该1个区域中所使用的3个读头不同的其他读头，并且藉由该其他读头、与在该1个区域中所使用的3个读头中除了该1个读头外的2个读头的3个读头，测量该载台的位置信息。
24.如权利要求23的曝光方法，其中，该4个读头，以于该第1方向该4个读头中2个读头的间隔大于该开口的宽度、且于该第2方向该4个读头中2个读头的间隔大于该开口的宽度的方式设置在该载台。
25.如权利要求24的曝光方法，其中，该4个读头分别测量该载台的关于该第1方向或该第2方向、与该第3方向的2方向的位置信息。
26.如权利要求25的曝光方法，其中，该修正信息，包含用于在该不同区域中使用该其他读头控制该载台的驱动的信息，该信息是从在该第5区域中藉由在该1个区域中使用的3个读头所测量的位置信息与藉由在该不同的区域中使用的3个读头所测量的位置信息获得。
27.如权利要求26的曝光方法，其中，用于该其他读头的该载台的驱动控制的信息，是在从该1个区域透过该第5区域而往该不同的区域移动的该载台等速驱动于该第5区域的一部分的期间取得。
28.如权利要求27的曝光方法，其中，用于该其他读头的该载台的驱动控制的信息，是在该第1方向或该第2方向、与该第3方向的2方向取得。
29.如权利要求25的曝光方法，其中，该测量误差，是因在该1个区域与该不同的区域中使用于该测量的该读头及该部分有一个不同而产生。
30.如权利要求25的曝光方法，其中，该修正信息，包含该第5区域内的该载台的坐标偏移，该坐标偏移是用于补偿由该1个区域中使用的3个读头所获得的位置信息、与由该不同的区域中使用的3个读头所获得的位置信息的差。
31.如权利要求21至30中任一项的曝光方法，其中，与该标尺构件不同的标尺构件，具有与该4个部分不同的分别形成绕射光栅的4个部分、及与该开口不同的开口，且以该第1检测系统位于该不同的开口内的方式被支承于该测量框架；
该第1检测系统的该标记的检测动作中，藉由该测量系统测量该载台的位置信息。
32.如权利要求31的曝光方法，其中，藉由配置在该测量站的第2检测系统，检测该基板的关于该第3方向的位置信息，并且在该第2检测系统的该基板的检测动作中，藉由该测量系统测量该载台的位置信息。
33.如权利要求32的曝光方法，其中，该第2检测系统的检测动作，其至少一部分与该第
1检测系统的检测动作一起进行，并且该第1、第2检测系统的检测动作分别在该曝光动作前进行；
在该曝光动作中，使用该第1、第2检测系统的检测信息。
34.如权利要求33的曝光方法，其中，保持由该照明光照明的光罩的光罩载台的位置信息，是藉由与该测量系统不同的编码器系统测量；
在该基板的扫描曝光中，以该光罩与该基板同步移动的方式控制该光罩载台与该载台的驱动。
35.如权利要求34的曝光方法，其中，
以配置于该基座构件上、设有与该4个读头不同的4个读头的与该载台不同的载台保持基板，并且藉由该不同的4个读头中的至少3个，测量该不同的载台的关于该6自由度方向的位置信息。
36.如权利要求35的曝光方法，其中，该标尺构件与该不同的标尺构件，分别以该绕射光栅为二维绕射光栅、并且该绕射光栅成为与该既定面实质上平行的方式被支承于该测量框架。
37.如权利要求36的曝光方法，其中，以补偿起因于该标尺构件的制造误差、该载台的加速度、该读头的位置或倾斜中的至少一个而产生的该测量系统的测量误差的方式，控制该载台的驱动。
38.如权利要求36的曝光方法，其中，以继续实行该测量的方式，将该读头切换成辅助读头，该辅助读头接近于该读头并设置于该载台。
39.如权利要求36的曝光方法，其中，该基板被进行扫描曝光；
从该1个读头往该其他读头的切换，是在该照明光照射于该基板的扫描曝光期间以外进行。
40.如权利要求36的曝光方法，其中，从该1个读头往该其他读头的切换，是在该载台的等速移动期间以外进行。
41.一种组件制造方法，其包含：
使用权利要求1至20中任一项的曝光装置使基板曝光的动作；以及
使已曝光的该基板显影的动作。
42.一种组件制造方法，其包含：
使用权利要求21至40中任一项的曝光方法使基板曝光的动作；以及
使已曝光的该基板显影的动作。