1.一种微机电系统装置，适用于感测机械位移，包括：
至少一第一电容器，具有第一和第二电容器极板，上述第一和第二电容器极板设置于彼此相距为一间距的位置，上述第一和第二电容器极板具有不同功函数并且互相电性连接，其中上述第一和第二电极板之一可相对于另一者移动，使得上述第一和第二电容器极板间的上述间距随着一外力改变，流经上述第一电容器的电流代表在特定的时间内上述间距改变的速度；以及
一第二电容器，具有彼此间隔的第三和第四电容器极板，上述第三和第四电容器极板设置于相隔一间距且具有不同功函数，其中上述第三和第四电容器极板固定地设置，使得上述第三和第四电容器极板间的间距不随着上述外力改变，用以产生流经上述第二电容器的一参考电流。
2.如权利要求1所述的微机电系统装置，其中上述第一和第二电容器极板包括具有不同功函数的第一和第二金属材料。
3.如权利要求1所述的微机电系统装置，其中上述第一和第二电容器极板包括具有不同功函数的第一和第二半导体材料以及一传导接触层，上述传导接触层耦接至上述第一和第二半导体材料。
4.如权利要求1所述的微机电系统装置，其中上述微机电系统装置包括三个上述第一电容器分别沿着一垂直轴、一横轴和一纵轴排列，用以感测上述垂直轴、上述横轴和上述纵轴上的运动。
5.如权利要求1所述的微机电系统装置，其中上述微机电系统装置包括多个上述第一电容器排列成一交叉指形组件，上述交叉指形组件包括：
一第一梳状电极部，具有多个第一电容器极板臂，上述第一电容器极板臂具有一第一功函数；以及
一第二梳状电极部，具有多个第二电容器极板臂，上述第二梳状电极部和上述第一梳状电极部互相交叉，上述第二电容器极板臂包括一第一材料，具有上述第一功函数且位在面向上述第一电容器极板臂的一第一侧上；以及一第二材料，具有一第二功函数且位在面向上述第一电容器极板臂的一第二侧上，其中上述第一功函数不同于上述第二功函数。
6.如权利要求1所述的微机电系统装置，更包括：
一第一电阻，串联耦接上述第一电容器；
一第二电阻，串联耦接上述第二电容器，并且上述第一和第二电容器互相平行连接在两电源节点间；
一比较器，具有一第一输入端，耦接至一第一节点，上述第一电容器和上述第一电阻于上述第一节点上串联耦接；
一第二输入端，耦接至一第二节点，上述第二电容器和上述第二电阻于上述第二节点上串联耦接；以及
一输出端，用以提供一差动输出信号。
7.一种微机电系统装置，包括：
一固定支撑部件；
一偏移部件，依附在上述固定支撑部件上，以便相对于上述固定支撑部件进行偏离；
至少一第一电容器极板，连接上述固定支撑部件；
至少一第二电容器极板，连接上述偏移部件，上述第二电容器极板平行于上述第一电极板且相隔一间距，上述第一和第二电容器极板形成至少一第一电容器，上述第一和第二电容器极板具有不同功函数和互相电性连接，用以提供流经上述第一电容器的一电流，流经上述第一电容器的上述电流是以上述偏移部件的偏离量为基础；以及
一第二电容器，具有彼此间隔的第三和第四电容器极板，上述第三和第四电容器极板设置于相隔一间距且具有不同功函数，其中上述第三和第四电容器极板固定地设置，使得上述第三和第四电容器极板间的间距不随着上述外力改变，用以产生流经上述第二电容器的一参考电流。
8.如权利要求7所述的微机电系统装置，其中上述固定支撑部件和上述偏移部件借由一弹性元件互相依附。
9.如权利要求7所述的微机电系统装置，其中上述固定支撑部件包括多个上述第一电容器极板和上述偏移部件具有多个上述第二电容器极板，其中上述第一和第二电容器极板排列成交叉指形组件用以形成多个上述第一电容器，上述第一电容器极板的一第一侧和一第二侧上具有一第一功函数的材料，上述第二电容器极板的一第一侧上具有上述第一功函数的材料以及上述第二电容器极板的一第二侧上具有一第二功函数的材料，上述第一功函数不同于上述第二功函数。
10.一种感测运动方法，适用于一微机电系统装置的一运动感测器，包括下列步骤：
提供具有至少一第一电容器极板和至少一第二电容器极板的至少一第一电容器，上述第一和第二电容器极板相隔一间距，互相电性连接且具有不同功函数，其中上述第一和第二电极板之一可相对于另外一者移动，使得上述间距随一外力改变；
监控流经上述第一电容器的一电流，上述电流代表在特定时间内上述间距的改变；以及
提供具有第三和第四电容器极板的一第二电容器，上述第三和第四电容器极板相隔一间距，且具有不同功函数，其中上述第三和第四电容器极板固定地设置，使得上述第三和第四电容器极板间的间距不随上述外力改变，用以提供流经上述第二电容器的一参考电流，其中上述监控流经上述第一电容器的上述电流的步骤包括根据流经上述第一电容器的电流产生一第一电压，根据上述参考电流产生一第二电压，以及比较上述第一和第二电压。