1.一种谐振器微电子惯性感测器，优选微机电系统(MEMS)陀螺仪，用于检测多于一个轴的线性加速度和旋转速率，其包括：
a)密封质量块系统(21.1、...、21.4)，柔性地悬挂在衬底(32)上方，用于绕中心轴线(24)进行面内旋转振动，
b)其中，所述密封质量块系统(21.1,...,21.4)具有彼此柔性地耦合(25.1a、25.1b)的多于两个密封质量块元件，
c)驱动电极系统(D1、...、D4)，用于驱动所述密封质量块系统(21.1、...、21.4)进行所述面内旋转振动，
d)感测电极系统(S1、...、S4)，连接到所述密封质量块系统(21.1、...、21.4)，用于检测多于一个轴的线性加速度和旋转速率，
其特征在于，
e)每个密封质量块元件(21.1、21.2)直接并柔性地连接(23.1,25.1a,25.1b)到所述衬底(32)上的锚定结构(22)。
2.根据权利要求1所述的谐振器微电子惯性感测器，其特征在于，所述密封质量块元件(21.1、...、21.4)布置在相对于所述中心轴线(24)的内、外径(R1、R2)之间的环形构造中。
3.根据权利要求2所述的谐振器微电子惯性感测器，其特征在于，所述密封质量块元件(21.1、...、21.4)的所述环形构造是闭环。
4.根据权利要求2或3所述的谐振器微电子惯性感测器，其特征在于，所述环形构造的所有密封质量块元件(21.1、...、21.4)相对于所述惯性感测器的对称中心点具有相同的运动自由度。
5.根据权利要求2-4中任一项所述的谐振器微电子惯性感测器，其特征在于，所有密封质量块元件(21.1、...、21.4)具有相同的形状并且布置在距离所述系统的中心相同的径向距离处。
6.根据权利要求1-5中任一项所述的谐振器微电子惯性感测器，其特征在于，所述密封质量块元件连接到的所述锚定结构(22)形成一件式锚定元件。
7.根据权利要求2-6中任一项所述的谐振器微电子惯性感测器，其特征在于，驱动电极系统(D1、...、D4)布置在所述环形构造的所述内径(R1)内的径向区域中。
8.根据权利要求1-7中任一项所述的谐振器微电子惯性感测器，其特征在于，所述密封质量块系统(21.1、...、21.4)具有相对于所述中心轴线(24)旋转对称布置的四个密封质量块元件。
9.根据权利要求1-8中任一项所述的谐振器微电子惯性感测器，其特征在于，所述密封质量块元件(21.1、...、21.4)通过弹性元件(25.1a、25.1b)成对耦合，所述弹性元件(25.1a、25.1b)允许所述密封质量块元件(21.1、...、21.4)单独的面内运动，但是其为所述密封质量块元件(21.1、...、21.4)提供面外运动的坚硬耦合。
10.根据权利要求9所述的谐振器微电子惯性感测器，其特征在于，两个相邻的密封质量块通过两个柔性元件成对耦合，一个柔性元件位于所述密封质量块的内端部处，另一个柔性元件位于所述密封质量块的外端部处。
11.根据权利要求1-10中任一项所述的谐振器微电子惯性感测器，其特征在于，相邻的密封质量块元件(21.1、...、21.4)之间按具有间隙(28.1、...、28.4)，并且用于支撑所述密封质量块元件(21.1、...、21.4)的径向取向悬挂元件(23.1、...、23.4)布置在所述间隙中。
12.根据权利要求9-11中任一项所述的谐振器微电子惯性感测器，其特征在于，所述弹性元件(25.1a、25.1b)耦合到所述悬挂元件(23.1)。
13.根据权利要求9-12中任一项所述的谐振器微电子惯性感测器，其特征在于，所述弹性元件(25.1a、25.1b)具有括号形状，并且布置在所述密封质量块元件(21.1、...、
21.4)的所述环形构造的所述内径(R1)内侧或所述外径(R2)外侧。
14.根据权利要求1-13中任一项所述的谐振器微电子惯性感测器，其特征在于，所述密封质量块元件(21.1、...、21.4)由具有旋转对称性的悬挂系统所柔性地支撑。
15.根据权利要求1-14中任一项所述的谐振器微电子惯性感测器，其特征在于，所述感测电极系统包括交叉电极结构(S9、...、S12)，其附接到所述密封质量块系统(21.1、...、21.4)，用于检测z轴旋转速率和面内加速度。
16.根据权利要求1-15中任一项所述的谐振器微电子惯性感测器，其特征在于，在每个密封质量块元件(21.1、...、21.4)上，具有至少两个感测电极(S8/S1、S2/S3、S4/S5、S6/S7)，用于检测面内旋转速率和z轴加速度。
17.一种基于谐振器微电子惯性感测器、优选微机电系统(MEMS)感测器检测多于一个轴的线性加速度和旋转速率的方法，所述谐振器微电子惯性感测器包括：
a)密封质量块系统，柔性地悬挂在衬底上方，用于绕中心轴线进行面内旋转振动，b)其中，所述密封质量块系统具有彼此柔性耦合的多于两个密封质量块元件，c)驱动电极系统，用于驱动所述密封质量块系统进行所述面内旋转振动，d)感测电极系统，连接到所述密封质量块系统，用于检测多于一个轴的线性加速度或旋转速率，
e)其中，每个密封质量块元件直接并柔性地连接到所述衬底上的锚定结构，其中，所述方法包括将频率为Fd的驱动信号施加到所述驱动电极以及进行至少一个、优选至少三个和优选为所有以下检测步骤：
f)通过确定来自彼此相对的所述密封质量块元件的感测电极信号之间的差来检测面内轴线方向的旋转速率GX：
GX＝({S2}+{S3})-({S6}+{S7})
其中：
{S2}和{S3}是来自第一密封质量块元件上的两个电极的电信号，
{S6}和{S7}是来自与所述第一密封质量块元件相对布置的第二密封质量块元件上的两个电极的电信号；
g)通过确定来自彼此相对的所述密封质量块元件的所述感测电极信号之间的差来检测面内轴线方向的旋转速率GY：
GY＝({S1}+{S8})-({S4}+{S5})
其中:
{S1}和{S8}是来自第一密封质量块元件上的两个电极的电信号，
{S4}和{S5}是来自与所述第一密封质量块元件相对布置的第二密封质量块元件上的两个电极的电信号；
h)通过确定来自彼此相对的所述密封质量块元件的调制感测电极信号之间的差来检测与面内轴线正交的面外轴线的旋转速率GZ：
GZ＝({S*12}-{S*10})+({S*9}-{S*11})
其中：
{S*12}和{S*10}是来自彼此相对布置的第一和第二密封质量块元件上的两个面内检测电极的电信号，
{S*9}和{S*11}是来自彼此相对布置的第三和第四密封质量块元件上的两个面内检测电极的电信号，
i)通过确定来自彼此相对的所述密封质量块元件的所述调制感测电极信号的和来检测面内轴线方向的加速度AX：
AX＝({S*9}+{S*11})
其中：
{S*9}和{S*11}是来自彼此相对布置的第一和第二密封质量块元件上的两个面内检测电极的(从振动频率Fd调制的)电信号；
j)通过确定来自彼此相对的所述密封质量块元件的所述调制感测电极信号的和来检测面内轴线方向的加速度AY(与AX正交)：
AY＝({S*10}+{S*12})
其中：
{S*10}和{S*12}是来自彼此相对布置的第一和第二密封质量块元件上的两个面内检测电极的(从振动频率Fd调制的)电信号；
k)通过确定来自所有密封质量块元件的所述感测电极信号的和来检测与面内轴线正交的面外轴线的加速度AZ：
AZ＝{S1}+{S2}+{S3}+{S4}+{S5}+{S6}+{S7}+{S8}
其中：
{S1}-{S8}是来自所述密封质量块元件上的所述电极的电信号。