序号 专利名 申请号 申请日 公开(公告)号 公开(公告)日 发明人
21 인쇄장치 KR1020060100527 2006-10-16 KR1020080034375A 2008-04-21 최유찬; 김상경; 최성원; 김종경; 채호철; 손준영; 강병식; 임태현
A printer is provided to move and support a work stage to a surface direction of the work stage by a stage motion supporting part with four motion supporting units so as to move the work stage to X, Y, and - shafts and to prevent the work stage from being moved temporarily, thereby the printing quality is excellent. A printer comprises a work stage(50), a sensing part, a stage motion supporting part, and a controlling part. The work stage supports a substrate for printing on at least one pattern of red, green, and blue patterns. The sensing part detects a relative align position of the substrate. The stage motion supporting part moves and supports the work stage to the surface direction of the work stage. The controlling part adjusts the motion of the stage motion supporting part based on the signals of the sensing part. A supporting plate(58) is horizontal to the work stage. The stage motion supporting part includes four motion supporting units(70a-70d). Each motion supporting unit has rotary ball screws(72a-72d), moving blocks(74a-74d), crossing blocks(76a-76d), and fixed parts(77a-77d). Thereby, the work stage is easily moved to X, Y, and - shafts.
22 기판이송장치 KR1020030079531 2003-11-11 KR1020050045455A 2005-05-17 강성윤; 이인호; 박영길; 이강혁; 김혜성
본 발명은 기판 부상용 공기를 공급하는 배관구조가 단순하고, 부상용 공기공급이 중단될 때 기판과 이송장치 간의 충돌로 인한 기판의 손상을 방지할 수 있는 기판이송장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 공기로 부상시키는 부상부와, 상기 부상부에 의해 부상된 기판에 이송력을 전달하는 이송부를 포함하고, 상기 부상부에는 하나 이상의 공기 분출구를 갖는 공기챔버가 하나 이상 마련되고, 상기 분출구에는 상기 공기챔버에서 분출되는 공기의 흐름을 조절하기 위한 조절부재가 구비되고, 상기 조절부재는 다공질 패드인 것을 특징으로 한다.
23 공압 컨베이어 KR1020030044162 2003-07-01 KR1020050005043A 2005-01-13 이대길; 이학구
PURPOSE: A pneumatic conveyor is provided to increase the productivity, and to cut down manufacturing cost by stably lifting and transferring the fragile member such as the semiconductor wafer with even pressure. CONSTITUTION: A pneumatic conveyor is composed of plural manifolds(10), blocks(20) and rollers(30) installed in the upper parts and the sides of the manifolds. Plural restrictors are formed in the upper part of the manifold, and plural air pockets are mounted in the upper part of the manifold to evenly supply air from the restrictors of the manifold. A large and thin plate is lifted by using the air pockets, and transferred by using the rollers. The large and thin plates are arranged in multiple rows, and compressed air is supplied evenly to the plates by using the air pump. An air passage(11) is formed in the lower part of the manifold to flow compressed air from the air pump.
24 기판 이송 장치 KR20160148318 2016-11-08 KR20180051248A 2018-05-16 JO DAE KI
본발명은기판을이송시키는장치에관한것이다. 본발명의일 실시예에따른기판이송장치는상기기판의하부로공기를분사하는분사홀을가지며, 상기기판을일방향으로이송시키는이송플레이트를포함하는이송유닛과외부에서공급되는상기공기가흐르는상류공급라인과상기상류공급라인에서분기되며, 상기공기를이동시키는중류공급라인과상기중류공급라인에서분기되며, 상기분사홀로상기공기를공급하는하류공급라인을포함하는에어공급유닛과상기상류공급라인, 상기중류공급라인그리고상기하류공급라인을흐르는상기공기의압력을검사하는검사유닛과그리고상기검사유닛에서검출된상기공기의압력정보를전달받아상기공기의압력이상유무를검사하여상기기판이상기이송플레이트에부딪혀손상되는것을방지하는판단유닛을포함하되상기판단유닛은상기공기의압력정보가기설정된압력범위를벗어나는경우상기공기의압력이상이있는공급라인및 상기공기의압력이상이있는공급라인과연결된상기이송플레이트의위치를알려주고이를경고해줄수 있다. 본발명의일 실시예에따른기판이송장치에따르면, 공기가공급에이상이있는공급라인또는이송플레이트를실시간으로모니터링하여경고해주어기판이이송중 이송플레이트에부딪혀손상되는것을방지할수 있다.
25 반송 장치, 및 전자 디바이스 형성 방법 KR1020177022137 2012-11-01 KR1020170095395A 2017-08-22 스즈키도모나리
기판을반송하는반송장치로서, 기판의일방면을지지하는지지면을가지며, 지지면과상기지지면의이면을관통하는복수의관통공이형성된지지부재와, 지지부재의이면중, 복수의구멍을포함하는제1 영역에대향하여배치되는기체흡인부와, 지지부재의이면중, 제1 영역과는다른제2 영역에대향하여배치되는기체공급부를구비하며, 지지부재의이면에대해서기체의공급및 흡인을행하는것에의해서, 지지부재의이면을비접촉상태로유지함과아울러, 복수의관통공을매개로하여기판을지지면에흡착시키는유지기구를구비한다.
26 기판 반송 장치 KR1020160051359 2016-04-27 KR1020160138343A 2016-12-05 오카모토칸지; 하마카와켄지; 미야지마유야
[과제] 건조온도의설정이변경된경우여도, 진동판과환승유닛과의높이위치의조절이불필요한기판반송장치를제공한다. [해결수단] 기판반송면(搬送面) 상(上)에서기판을초음파부상(浮上)시키는복수매(枚)의진동판과, 상기진동판의기판반송면의이측(裏側)에설치되는히터부를구비하는기판반송장치이고, 이웃하는진동판끼리의사이에는, 기판이다음의진동판으로갈아타는환승유닛이설치되고, 이환승유닛은, 기판반송면측으로에어를분출(噴出)하고, 기판반송면의일부를형성하는반송에어분출부와, 인접하는각각의진동판에연설(延設)되는지지연장부를가지고있고, 지지연장부에는, 진동판을향하여분출하는지지에어분출부가설치되어있고, 이지지에어분출부로부터분출되는에어에의하여, 환승유닛이진동판사이에있어서비접촉으로지지되는것과함께, 진동판의기판반송면과반송에어분출부가평활하게조정되는구성으로한다.
27 솔라 셀 그리퍼들에 대한 정전하 제거 KR1020157004049 2013-07-17 KR1020150038099A 2015-04-08 샬러,제이슨; 보팻,로버트브렌트
제조시스템은, 스왑모듈(swap module)과같은, 컨베이어시스템으로부터작업영역으로작업물들을이동시키기위한엔드이펙터(end effector)를갖는갠트리모듈(gantry module)을포함한다. 스왑모듈은로드락(load lock)으로부터프로세싱된작업물들의매트릭스를제거하고, 프로세싱되지않은작업물들의매트릭스를제 위치에위치시킨다. 그후 프로세싱된작업물들이갠트리모듈에의해다시컨베이어로이동된다. 동작속도에기인하여, 엔드이펙터가과도한정전하를축적할수 있다. 이러한축적된전하를제거하기위하여, 접지된전기-전도성브러시들이전략적으로위치되어, 정상동작동안엔드이펙터가이동함에따라전하가이러한브러시들과접촉하게된다. 이는스루풋에영향을주지않고엔드이펙터상의축적된전하를제거한다. 다른실시예에있어, 엔드이펙터가브러시들위로이동하며, 그동안스왑모듈이로드락으로및 로드락으로부터매트릭스를이동시킨다.
28 에너지 효율적이고 고 신뢰성 작동의 진공 쓰레기 수거 시스템 KR1020127034203 2010-06-23 KR1020130111250A 2013-10-10 아라발데이비드곤잘레즈; 포레스티어니클라스
진공 쓰레기 수거 시스템은, 쓰레기의 비움 및 이송을 위한 순서로 다수의 브랜치들을 연속적으로 선택하는 단계로서, 상기 순서에 있어서 각각의 다음 브랜치의 교차점(1,2,3,4)는 상기 순서에 있어서의 이전 브랜치의 교차점(1,2,3,4)에 비해 중앙 쓰레기 수거 지점(6)에 대해 동일 또는 짧은 이송 거리에 있는, 단계; 및 대응 브랜치들의 공기 유입 밸브(av1,av2,av3,av4,av5)를 연속적으로 동작시킴으로써 중앙 쓰레기 수거 지점(6)을 향해 상기 선택된 브랜치들로부터 축적된 쓰레기를 집합적으로 이송하는 단계를 포함하여 제공된다(1a). 마지막 브랜치를 제외한 각각의 선택된 브랜치에 대해, 쓰레기가 교차점(1,2,3,4)을 지나서 다음 브랜치로 이송된 것이 이송 배관 시스템의 검출 수단(WO)에 의해 검출될 때까지 대응하는 공기 유입 밸브(av1,av2,av3,av4,av5)가 개방되도록 한 다음, 다음 브랜치로 변경되도록 함으로써 축적된 쓰레기를 중앙 쓰레기 수거 지점(6)을 향해 이송한다. 마지막 브랜치에 대해, 축적된 쓰레기가 중앙 쓰레기 수거 지점(6)으로 이송된다.
29 분할된 컨베이어 및 공기 막 슈트 KR1020127025238 2011-03-08 KR1020120138780A 2012-12-26 에섹,데이비드,패트릭; 윈크러,레로이,에이.,Ⅲ; 소테로,곤자로; 카위레,리챠드,디.
패키징 분류 시스템이 제공된다. 패키징 분류 컨베이어 시스템은 이송 트랙, 하나 이상의 적하 스테이션 및 패키지를 수용하기 위해 적하 스테이선의 업스트림에 위치된 공기-막 윤활 유입 슈트를 포함한다. 일 실시예에서, 유입 슈트는 공기 공급부와 연통되는 개구 및 복수의 이격된 구멍을 포함하는 플리넘 및 상기 구멍과 연통되는 분할된 이송 표면을 포함하고, 상기 분할된 이송 표면은 하나 이상의 공기-막 윤활 하측 표면을 포함한다. 일 실시예에서, 장치는 유입 슈트의 출구를 선택적으로 배치하기 위한 포지셔너 조립체를 추가로 포함한다.
30 인쇄장치 KR1020060100663 2006-10-17 KR1020080034564A 2008-04-22 최유찬; 김상경; 최성원; 김종경; 채호철; 손준영; 강병식; 임태현
A printer is provided to perform a preliminary align work for a substrate through a simple and efficient structure while the substrate is transferred, thereby reducing time required for a final align work performed in a work stage, and preventing particles caused by generation of a vortex flow. A work stage supports a substrate(G) for a printing work for at least one pattern of RGB(Red, Green and Blue) patterns on the substrate. A work table(70) raises the substrate in order to transfer the substrate to the work stage. The work table comprises a table main body(80), plates and align unit(96a,96b). The plate is detachably coupled with the table main body. On an upper surface of the plate, plural air injection holes(73) for injecting air for raising the substrate are formed. The align unit is coupled with the table main body, and aligns the substrate raised on the upper surface of the plate.
31 정렬 보정 기능을 갖는 칼라필터 패턴 검사기 KR1020060065438 2006-07-12 KR1020080006341A 2008-01-16 김민석
A color filter pattern tester having an alignment correction function is provided to install alignment correction units between rollers to convey a color filter substrate in order to prevent a scratch or a glass attack from being generated when the color filter substrate is conveyed or clamped. A color filter pattern tester having an alignment correction function comprises an air slider(200), alignment correction units(300) and cylinders(400). The air slider(200) horizontally shifts a color filter substrate(100) at regular speed when the color filter substrate(100) is located on the upper surface of the air slider(200). The alignment correction units(300), arranged at both right and left sides of the air slider(200) at regular intervals, guide the color filter substrate(100) so that the color filter substrate(100), positioned on the upper surface of the air slider(200), can be horizontally moved. Each of the cylinders(400) comprises a shaft and a spring. The shaft moves back and forth, and the spring is coupled on the outer circumferential surface of the shaft.
32 샘플 이송캐리어 KR1020020047465 2002-08-12 KR1020040015388A 2004-02-19 여경탁; 김영선; 박삼균
PURPOSE: A sample transferring carrier is provided to transfer pneumatically molten pig iron and slag samples at the same time by using the spherical-shaped transferring carrier having a partition wall device and to quickly analyze samples by making the transferring of the carrier smooth at a bent tube unit of a pneumatic tube system. CONSTITUTION: A sample transferring carrier(1) transferred pneumatically through a pneumatic tube of a pneumatic tube system by air and inserted with samples(2a,2b) as molten pig iron to transfer samples is composed of first and second hemisphere bodies(20,30) of which outsides are covered with a shock absorbing member(10), sealed and assembled to each other, and a partition wall device(40) interposed between the first and second hemisphere bodies to insert at least one sample into the hemisphere bodies. The shock absorbing member is made from hemisphere rubber materials. The first and second bodies made of steel shells include screw units(22,32) combined to each other in a screw form and a first fixing rod(24) and a second fixing rod fixed to each other in the center and integrally fixed to the bodies.
33 튜브메일시스템 KR2019990029082 1999-12-21 KR200183982Y1 2000-06-01 안상범
본 고안의 튜브메일시스템은 파이프와 캐리어 그리고 흡입모터를 사용한 공기의 힘을 이용하여, 서류, 현금, 부품 등 소형의 물품을 원하는 장소까지 고속으로 그리고 자동으로 정확하게 운반해 주는 설비 시스템이다. 본 고안은 수신 및 발신시 대기하지 않고 언제라도 수신 및 발신을 가능하게하고 캐리어를 자동으로 배출시키며, 그리고 수신시 공기는 배출하지 않고 캐리어만을 배출하게 하는 시스템을 고안하는데 그 목적이 있다. 상기한 목적을 달성하기 위하여 본 고안은 발신키트, 흡입모터, 에어교환기그리고 밸브키트로 구성하였다. 상기한 구성 부품들이 결국, 본 고안에 따른 튜브메일시스템을 저렴한 가격,콤팩트한 디자인, 신속하고 편리하며 쾌적한 사용 환경을 가능케 해준다.
34 에어 추진형 물품이송구 KR1020170078168 2017-06-20 KR101882010B1 2018-08-24 하상택; 윤광진
본발명은유로를갖는파이프라인내에서공급되는에어에의해추진되어이송될수 있도록형성된에어추진형물품이송구에관한것으로서, 이송물품을투입구를통해수납할수 있게내부수용공간을갖게형성된용기본체와, 용기본체의투입구를통해착탈가능하게결합되며용기본체의내부수용공간을폐쇄시킬수 있게형성된덮개를구비하고, 용기본체는길이방향을따라중앙부근에형성된허리부분의외경이허리부분으로부터양방향으로멀어지는상부및 하부의외경보다작게절구통형구조로형성되어있고, 투입구맞은편의하부저면에는허리부분을향하는방향으로인입된추진인입홈이형성되어있다. 이러한에어추진형물품이송구에의하면, 추진과정에서파이프라인내벽으로부터분리된이물질을포집하여추진저항발생을억제시킬수 있으며, 에어주진력을중심방향으로집속시킬수 있으면서곡률궤도상에서도에어집중방향의조정이가능하여추진효율성을높일수 있는장점을제공한다.
35 공압 재료 처리시스템에서의 재료처리방법 및 재료처리장치 KR1020127023772 2011-02-08 KR1020120117934A 2012-10-24 순트홀름괴란
본 발명은, 쓰레기 재료와 같은 재료를, 쓰레기 슈트(3)의 투입 구멍과 같은 투입 지점 혹은 다른 투입 지점의 투입구멍으로부터 투입하고, 상기 투입 지점에 결합 배치 또는 투입 지점 부근에 배치된 성형장치(1)에서 압축 처리하여 반송하는 공압재료 처리시스템의 재료처리방법에 관한 것이다. 상기 성형장치(1)는 로터리 성형기(rotary shaper)이고, 상기 로터리 성형기는, 구멍(11A,11C)을 가지며 회전축에 대하여 편심적으로(eccentrically) 배치된 회전 가능한 처리수단 (10A,10C)과, 적어도 하나의 고정 처리수단(10B)를 포함하여 구성되고, 처리대상 재료는 적어도 부분적으로 중력 및/또는 흡인력 및/또는 압력차이에 의하여 상기 로터리 성형기 내로 및/또는 상기 로터리 성형기를 지나도록 안내되고, 대체 공기 (replacement air)가 적어도 하나의 대체 공기 연결부(80,80)에 의하여 상기 로터리 성형기 전에서 및/또는 로터리 성형기에서 및/또는 로터리 성형기 후에서 상기 로터리 성형기로 보내진다.
36 인쇄 장치 KR1020060104062 2006-10-25 KR1020080037246A 2008-04-30 최유찬; 김상경; 최성원; 김종경; 채호철; 손준영; 강병식; 임태현
A printing device is provided to perform an alignment of a substrate by consuming power smaller than a conventional art and to prevent a work stage from optionally moving by a pressurizing force of a blanket roll in a printing operation of the substrate, to attain a dominant printing quality. A printing device includes a work stage supporting a substrate to perform a printing operation for at least any one of actual R(Red), G(Green), B(Blue) patterns for the substrate. The work stage has at least one main stage(510), at least one alignment stage(520) and a driving unit(530). The main stage supports the substrate. The alignment stage supports the substrate together with the main stage, and simultaneously aligns the substrate independently of the main stage. The drive unit drives the alignment stage so that the alignment stage aligns the substrate.
37 인쇄장치 KR1020060094078 2006-09-27 KR1020080028598A 2008-04-01 최유찬; 김상경; 최성원; 김종경; 채호철; 손준영; 강병식; 임태현
A printing apparatus is provided to float a substrate by the small amount of air compared to conventional printing apparatus and to reduce the causes of vortex, thereby preventing the particles by the generation of swirl. A work table(70) has plural air injection holes(73) formed on the surface thereof in order to make a substrate float. A porous air guide member is combined with the plural air injection holes and passes air toward the substrate. The work table includes upper and lower plates contacted with each other. Plural partitions are formed at the lower surface of the upper plate and partition the air injection holes by plural group units. Each air supply line is arranged at each partition. The partition is formed by a recessed portion recessed from the bottom surface to the upper surface of the upper plate. Each end of plural air injection lines is exposed at the outside of the lower plate and the other end thereof is arranged at the corresponding partition.
38 에어플로팅 장치 KR1020060081427 2006-08-28 KR1020080019314A 2008-03-04 이형배; 윤성훈
An air floating apparatus is provided to transfer air to an upper table by forming uniform micro holes in an air floating filter in order to maintain air pressure through all regions where air is supplied, thereby transferring glass substrates in a predetermined gap. An air floating apparatus comprises lower and upper tables(10,40), a gasket(20), and an air floating filter(30). An air supplying hole(11) is formed at the center of the lower table. The gasket is placed above the lower table to prevent air from leaking. The air floating filter is placed above the gasket to pass through air, and is formed with micro holes(31). The upper table formed with multiple through holes(41) is placed above the air floating filter to pass through the air supplied from the air floating filter. The through holes include supplying parts, first and second air passing parts, and a suction part. Thereby, the planarization of the apparatus is controlled.
39 인쇄장치 및 인쇄방법 KR1020060104059 2006-10-25 KR100788197B1 2007-12-26 최유찬; 김상경; 최성원; 김종경; 채호철; 손준영; 강병식; 임태현
A printing apparatus and a printing method are provided to align a substrate with respect to a blanket roll efficiently, and prevent a work stage from being moved due to pressure applied by the blanket roll when printing the substrate. A work stage supports the substrate by using a blanket roll wherein the work stage performs a printing work of at least one of red, green, and blue patterns on a substrate. A stage elevating unit(70) elevates the work stage to a predetermined height. Sensing units(60a,60b) are disposed adjacently to the work stage, wherein the sensing units sense the relative alignment position of the substrate with respect to the blanket roll. A stage transfer unit is disposed while at least a portion of the stage transfer unit is contacted with the work stage. The stage transfer unit transfers the work stage in a plane direction of the work stage while the work stage is maintained in an elevated state. A controller controls the operation of the stage transfer unit based on signals of the sensing units.
40 어레이 테스트 장비 KR1020060104640 2006-10-26 KR100756229B1 2007-09-07 김희근; 김준영
An array test apparatus is provided to prevent the static electricity from being generated relating to the panel before and after the test of the panel. A loading member(110) has a loading plate for transferring a panel to be tested to a test plate. A test member(120) is arranged at a side of the loading member and has a transparent test plate for testing an electrical defect of the panel loaded from the loading member. An unloading member(130) is arranged at a side of the test plate of the test member and has an unloading plate for transferring the test completed panel. A test module(140) includes a light source arranged at the front or rear direction of the panels located at the test member, a modulator and a defect detecting member sequentially arranged with the panel as the reference and detects the existence of the electric defect in an electrode of the panel according to the amount of light via the modulator. An anti-static member(150) inhibits the generation of static electricity between the test plate and the panel and supplies positive or negative ions between the test plate and the panel in order to remove the generated static electricity.
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