| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 21 | HANDHABUNGSVORRICHTUNG FÜR GEGENSTÄNDE MIT PLANEN, INSBESONDERE GLATTEN OBERFLÄCHEN | EP09759651.4 | 2009-10-27 | EP2349885B1 | 2012-08-01 | PRUST, David Josef Ludwig; DIX, Daniel; LÖHR, Christian |
| The invention relates to a handling device for articles having planar, especially smooth surfaces, said handling device comprising a handling element (6) to some sections of which an adhesive film (1) is fastened and with respect to some sections it is loosely arranged, especially in such a manner that the adhesive film (1) can be removed from the surface of an article, especially removed in a peeling manner, by moving the handling element (6) perpendicular to the surface of the article while gradually decreasing the contact surface. | ||||||
| 22 | HANDHABUNGSVORRICHTUNG FÜR GEGENSTÄNDE MIT PLANEN, INSBESONDERE GLATTEN OBERFLÄCHEN | EP09759651.4 | 2009-10-27 | EP2349885A1 | 2011-08-03 | PRUST, David Josef Ludwig; DIX, Daniel; LÖHR, Christian |
| The invention relates to a handling device for articles having planar, especially smooth surfaces, said handling device comprising a handling element (6) to some sections of which an adhesive film (1) is fastened and with respect to some sections it is loosely arranged, especially in such a manner that the adhesive film (1) can be removed from the surface of an article, especially removed in a peeling manner, by moving the handling element (6) perpendicular to the surface of the article while gradually decreasing the contact surface. | ||||||
| 23 | Vorrichtung zum Abnehmen eines flächigen Werkstückes von einer anklebenden Unterfolie | EP90890052.5 | 1990-03-01 | EP0388398B1 | 1993-07-28 | Blaimschein, Gottfried, Dipl.-Ing. |
| 24 | 시트 박리 장치 및 박리 방법 | KR1020107023334 | 2009-03-16 | KR101464488B1 | 2014-11-24 | 카토히데아키 |
| 시트 박리 장치(10)는 박리용 테이프(PT)를 접착 시트(S)에 눌러서 첩부하는 첩부 수단(14)과, 접착 시트(S)에 첩부된 박리용 테이프(PT)와 웨이퍼(W)를 유지하는 유지 수단(11)을 상대이동시켜 접착 시트(S)를 박리하는 이동 수단(15)과, 접착 시트(S)의 외측 가장자리 위치를 검지하고, 그 신호를 출력하는 검지 수단(17)과, 보정값을 입력하는 입력 수단(18)과, 검지 수단(17)의 출력신호와 보정값에 기초하여 접착 시트(S)로의 박리용 테이프(PT)의 누름 위치를 결정하고, 당해 누름 위치에서 접착 시트(S)를 첩부하도록 이동 수단(15)을 제어하는 제어 수단(19)을 구비하고 있다. | ||||||
| 25 | 시트 박리 장치 및 박리 방법 | KR1020107023334 | 2009-03-16 | KR1020100130998A | 2010-12-14 | 카토히데아키 |
| 시트 박리 장치(10)는 박리용 테이프(PT)를 접착 시트(S)에 눌러서 첩부하는 첩부 수단(14)과, 접착 시트(S)에 첩부된 박리용 테이프(PT)와 웨이퍼(W)를 유지하는 유지 수단(11)을 상대이동시켜 접착 시트(S)를 박리하는 이동 수단(15)과, 접착 시트(S)의 외측 가장자리 위치를 검지하고, 그 신호를 출력하는 검지 수단(17)과, 보정값을 입력하는 입력 수단(18)과, 검지 수단(17)의 출력신호와 보정값에 기초하여 접착 시트(S)로의 박리용 테이프(PT)의 누름 위치를 결정하고, 당해 누름 위치에서 접착 시트(S)를 첩부하도록 이동 수단(15)을 제어하는 제어 수단(19)을 구비하고 있다. | ||||||
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