1 |
具有引脚的冷却板 |
CN200980162050.7 |
2009-12-17 |
CN102577653B |
2017-06-30 |
S-J·龙; D·L·史密斯 |
一种冷却板包括外壳,所述外壳具有入口、出口、基底和盖。所述入口和出口流体连通,所以流体可经过所述外壳从所述入口流动到所述出口。所述基底由底板形成,且所述底板包括面向所述外壳内的岛状物。多个引脚从所述岛状物朝所述盖延伸。所述引脚可具有螺旋形状,其中所述引脚的横截面轮廓沿着所述引脚的长度变化。 |
2 |
一种冷阱装置 |
CN201610822109.2 |
2016-09-14 |
CN106178580A |
2016-12-07 |
李文举; 贾元雪; 唐鹏飞 |
一种冷阱装置,包括:由N个冷阱通过连接管相互首尾串联形成的冷阱串联组、制冷机、干燥容器、真空泵,以及排料管。干燥箱中的原料产生的有机气体通过进气管进入冷阱串联组的最头端的一个冷阱内,有机气体在最头端的冷阱内冷凝,尚未冷凝的有机气体通过连接管进入下一个冷阱内再次进行冷凝,通过相互串联的N个冷阱同时利用制冷机来调节温度,不但避免了干冰或液氮的使用,同时提高了有机气体的冷凝效率,防止其进入真空泵内造成真空度下降以及需要经常更换泵油的问题,提高了真空泵的寿命。当冷凝完成后,关闭截止阀Ⅱ和截止阀Ⅲ,各个冷凝容器中的冷凝液通过排料管进入储液罐中储存,可以提高效率、降低成本。 |
3 |
低温泵及其再生方法 |
CN201410075005.0 |
2014-03-03 |
CN104047831B |
2016-08-17 |
木村敏之 |
本发明提供一种低温泵及其再生方法,本发明的课题在于,在低温泵的再生中促进水的排出。本发明的低温泵的再生方法具备:第1排出工序(S12),包括在第1压力范围内交替进行低温泵容器的排气和吹扫气体的供给;第2排出工序(S18),包括使低温泵容器排气直至低于第1压力范围的低压区域。第2排出工序包括如下步骤:在低压区域至少判定一次是否结束第2排出工序;及在首次判定是否结束第2排出工序之前,向低温泵容器供给吹扫气体。 |
4 |
冷阱及冷阱的安装结构 |
CN201310664608.X |
2013-12-09 |
CN103893989B |
2016-02-03 |
及川健 |
本发明提供一种具有较快的排气速度的冷阱及冷阱的安装结构。本发明的冷阱(110)具备用于将排气对象容积连接到真空泵的导管(124)及被导管(124)包围的冷板(120),导管(124)在被排气侧具备入口凸缘(126),在真空泵侧具备出口凸缘(128),出口凸缘(128)在导管(124)的延伸方向上与入口凸缘(126)隔开间隔而配设,入口凸缘(126)的外径大于出口凸缘(128)的外径。 |
5 |
低温泵、低温泵的再生方法及低温泵的控制装置 |
CN201310059563.3 |
2013-02-25 |
CN103291584B |
2016-02-03 |
福田奖 |
本发明提供一种低温泵、低温泵的再生方法及低温泵的控制装置,其具备以有助于升温时间的缩短化的方式配置的少量温度传感器。低温泵(10)具备:1级板(20),其通过制冷机(16)的1级冷却台(22)冷却;2级板(18),其通过制冷机的2级冷却台(24)冷却;板温度传感器(94、96),其设置于1级板及2级板中的至少一方;冷却台温度传感器(90、92),其设置于1级冷却台及2级冷却台中的至少一方;及控制部(100),其控制基于冷却台温度传感器的测定温度的真空排气。控制部控制包含低温板的升温工序的再生,且专门在再生中使用板温度传感器的测定温度。控制部基于板温度传感器的测定温度来完成升温工序。 |
6 |
冷却捕集器 |
CN201280064197.4 |
2012-11-06 |
CN104011484B |
2015-12-23 |
桑岛淳宏; 工藤宪司; 鹰野大策 |
本发明提供一种使用了斯特林冷冻机的冷却捕集器。冷冻机(14)具备驱动自由活塞(35),以便使工作气体在散热部(25)和吸热部(24)之间往复的驱动活塞(31)、测定框体(22)的振动的振动传感器(41)、降低驱动活塞(31)被驱动时的框体(22)的振动的动态吸振器(45)、为在框体(22)与真空装置连接的状态下,降低驱动活塞(31)被驱动时的框体(22)的振动而调整驱动频率的频率调整装置。 |
7 |
低温泵及低温泵的修理方法 |
CN201310030074.5 |
2013-01-25 |
CN103225594B |
2015-10-28 |
田中秀和 |
本发明提供一种低温泵及低温泵的修理方法,其能够更轻松地进行修理。本发明的低温泵(100)具备:壳体(102);电气安装控制部(112),控制低温泵(100);抽气阀(104),设于外部的净化用气源与壳体(102)内部之间的流路上;粗抽阀(106),设于外部的泵与壳体(102)内部之间的流路上;通气阀(108),设于壳体(102)的内部与外部之间的流路上;及皮拉尼压力计(110),用于测定壳体(102)内部的压力。电气安装控制部(112)通过配线分别与抽气阀(104)、粗抽阀(106)、通气阀(108)及皮拉尼压力计(110)连接。各配线上设有部件侧的连接器和电气安装控制部侧的连接器。部件侧的连接器构成为能够与电气安装控制部侧的连接器进行装卸。 |
8 |
用于减少噪音及振动的超低温冷冻机及具有其的低温泵 |
CN201410717716.3 |
2014-12-01 |
CN104713262A |
2015-06-17 |
李东柱; 韩明熙 |
本发明涉及一种超低温冷冻机,通过使冷媒气体膨胀来形成超低温,其包括:冷冻机本体,具有收容空间;气缸本体,与冷冻机本体相连接,并具有收容空间;马达,收容于冷冻机本体内;往复机,收容于气缸本体内,与马达动力连接,借助马达的旋转运动来进行直线运动;流入阀,收容于冷冻机本体内,与压缩机相连接,用于使冷媒气体流入气缸本体内;流出阀,收容于冷冻机本体内,与压缩机相连接,用于使气缸本体内的冷媒气体流出;流入扩散器,配置于流入阀的前端或后端,并具有多个开口,且随着流入阀的开放,冷媒气体通过流入扩散器,流入气缸本体内,流入扩散器的开口的大小为直径1mm以下。 |
9 |
用于粘附单体的冷捕集器和使用冷捕集器的单体沉积设备 |
CN201080069180.9 |
2010-09-29 |
CN103118753B |
2015-02-18 |
尹亨硕; 南宫晟泰; 金壮美; 朴一濬 |
本发明涉及一种单体冷捕集器,该冷捕集器安装于将在沉积过程中产生的气体和单体经由其排放到外部的路径上,并且其特征在于包括:壳体;入口孔,该入口孔用于抽吸所述气体和单体;冷却板,该冷却板被收纳在所述壳体中,并具有形成在内部以供制冷剂从其流过的路径、用于粘附单体的表面、和形成为贯穿上表面和下表面的通孔;以及出口孔,该出口孔用于从所述壳体的内部排出气体。 |
10 |
低温泵及低温泵安装结构 |
CN201410046848.8 |
2014-02-10 |
CN103994049A |
2014-08-20 |
及川健 |
本发明提供一种低温泵及低温泵安装结构,其适于要求比较大的气体吸储量和/或比较小的排气速度的用途。本发明的低温泵(10),用于对真空腔室(200)进行排气,该低温泵具备:放射屏蔽件,具备包围用于接收气体的屏蔽件开口的屏蔽件开口端;及盖部件(300),具有比用于将屏蔽件开口连接于真空腔室(200)的屏蔽件开口窄的连接开口。盖部件(300)具备用于在真空腔室侧包围连接开口且将低温泵(10)安装于真空腔室侧的对象凸缘的第1安装凸缘(302)。 |
11 |
超低温制冷机及低温泵以及置换器 |
CN201210375983.8 |
2012-09-29 |
CN103032986A |
2013-04-10 |
许名尧 |
本发明提供一种能够与温度变化无关地维持较高的可靠性的超低温制冷机及低温泵以及置换器。本发明的超低温制冷机是使驱动置换器(13、14)的马达(M)向冷却时的旋转方向的相反方向旋转的能够逆转升温的二级式GM型超低温制冷机,其由置换器筒(14A)和形成于其外周面的树脂膜(14B)构成第2级置换器(14),并将树脂模(14B)的高温侧(H)的厚度设定为相对低温侧(L)较薄。 |
12 |
低温泵系统及其控制方法 |
CN201110275525.2 |
2011-09-16 |
CN102410173A |
2012-04-11 |
安东正道 |
本发明提供一种低温泵系统及其控制方法,其在低温泵系统的多个压缩机之间更加均等地分担负载。本发明的低温泵系统(1000)具备:多个低温泵(10);多个压缩机单元(102、104),为了向多个低温泵(10)供给工作气体,分别按照控制输出而并列运行;及低温泵控制器(100),决定相对于多个压缩机单元(102、104)各自的控制输出,其中,低温泵控制器(100)调整为了对至少1个压缩机单元(102、104)决定控制输出而使用的设定值,以使各压缩机单元(102、104)的运行状态均衡化。 |
13 |
用于含有可冷凝蒸汽的气流的净化装置 |
CN200580045105.8 |
2005-12-20 |
CN101090763B |
2010-06-09 |
梅里尔·布罗捷; 让-皮埃尔·蒂尔谢; 皮埃尔·埃斯图比尔 |
一种气流的净化装置,该气流中含有可冷凝蒸汽。该装置包括:限定密封空间的套筒(7)、用来冷却气流的冷却装置、包括转子(44)和由带锯齿的圆环(56)构成的安装于转子上并与其一起转动的分离过滤套筒(54)的旋转组件(42)、安装在转子上并承载湍流器-刮擦装置(50)的支撑管(48)、围绕分离过滤套筒(54)和中央的对电极(78)以在壳体内产生静电场的圆柱形电极(94)、净化后气体的排气管、冷凝物排出管(40)。冲击分离板(64)固定于套筒的环上。 |
14 |
冷却阱单元 |
CN200810173821.X |
2008-10-29 |
CN101422659A |
2009-05-06 |
堀内久 |
一种冷却阱单元,包括真空容器、致冷器和冷却板,上述真空容器具有排水口,上述致冷器这样连接到真空容器上,以使吸热单元位于真空侧上,而上述冷却板固定到吸热单元上,以便与吸热单元紧密接触并使气体冷凝或固化,冷却阱单元包括蓄水单元和检测单元,当通过冷却板将冷凝或固化的气体液化并将液体排放到真空容器外部时,上述蓄水单元能将液化的液体储存在真空容器中,以便液化的液体处于与冷却板接触,而上述检测单元用于根据检测信号通过排水口排放储存在蓄水单元中的液体,上述检测信号通过检测液体温度变化获得并指示温度到达预定值。 |
15 |
用于含有可冷凝蒸汽的气流的净化装置 |
CN200580045105.8 |
2005-12-20 |
CN101090763A |
2007-12-19 |
梅里尔·布罗捷; 让-皮埃尔·蒂尔谢; 皮埃尔·埃斯图比尔 |
一种气流的净化装置,该气流中含有可冷凝蒸汽。该装置包括:限定密封空间的套筒(7)、用来冷却气流的冷却装置、包括转子(44)和由带锯齿的圆环(56)构成的安装于转子上并与其一起转动的分离过滤套筒(54)的旋转组件(42)、安装在转子上并承载湍流器-刮擦装置(50)的支撑管(48)、围绕分离过滤套筒(54)和中央的对电极(78)以在壳体内产生静电场的圆柱形电极(94)、净化后气体的排气管、冷凝物排出管(40)。冲击分离板(64)固定于套筒的环上。 |
16 |
真空设备 |
CN200480023891.7 |
2004-07-14 |
CN1839285A |
2006-09-27 |
D·施勒; E·施奈克; H·迪茨 |
本发明涉及一种真空设备,它具有多个冷冻泵(10),尤其是多个并联设置的冷冻泵。另外设有至少一个压缩机装置(16),它经由一些介质供应管道(12)与冷冻泵(10)连接。一个介质回流管道(14)同样与压缩机装置(16)和冷冻泵(10)连接。在介质供应管道(12)和介质回流管道(14)之间设置一个用于介质的储存容器(20)。另外在介质供应管道(12)中设置一个压力测量装置(30)。压力测量装置经由一个控制装置(32)与一个供应阀(26)连接。为了使在冷冻泵(10)上的压力差几乎保持恒定,在介质供应管道(12)中的压力超过一个极限值时,供应阀(26)开启,使得介质流入到储存容器(20)内。 |
17 |
自洁式低温致冷系统 |
CN97199738.1 |
1997-09-17 |
CN1104582C |
2003-04-02 |
W·A·利特尔; I·萨波日尼科夫 |
揭示了一种从流到低温致冷器的低温级的致冷剂流中去除残留润滑油和其它杂质的方法和装置。蒸气和液体致冷剂流通过入口管(34)注入一旋流腔(32)。在液体向下滴过一锥形部分(36)并通过一液体管道(38)排出的同时,蒸气部分向上移动进入一金属小片的填料(42),该填料在一具体实施例中是由通过缠绕在塔周围的一管子(48)的返回的冷蒸气流冷却,一部分蒸气冷凝于小片上并保持与蒸气平衡。由于高分子量杂质更易溶于液体部分中,因而它们与冷凝物滴一起被向下带过塔,并被液体部分通过液体管道(38)冲出。 |
18 |
气体的生产 |
CN96123816.X |
1996-11-16 |
CN1161442A |
1997-10-08 |
C·S·佩奇 |
一种生产可吸入的生命保障低温液体混合物的方法,包括以下步骤:产生基本上已除去所有CO2和H2O的经处理的自然空气流;混合大量的混合气体,其中氮含量高于自然空气中的氮含量,以生产具有所期望氧/氮比例的成品气体混合物。在一台换热器中与一种合适的冷却液换热而液化所述的混合物。 |
19 |
气体回收设备 |
CN96110281.0 |
1996-07-16 |
CN1150240A |
1997-05-21 |
野沢成祯; 富田伸二 |
本发明的气体回收设备有一CVD装置,它包括具有惰性气体供应通道以及清洗气体供应通道的气体输入部分,这些通道都与CVD装置相连;还设有废气排放部分,废气循环部分,冷却部分以及回收部分;稀释惰性气体包括沸点低于清洗气体的气体;供应成分与稀释惰性气体相同的液态冷惰性气体的供应部分、由冷惰性气体的汽化热冷却的惰性气体循环部分以及惰性气体排放部分构成冷却部分;惰性气体排放部分连接惰性气体供应通道。 |
20 |
低温蒸气回收方法和系统 |
CN96103082.8 |
1996-03-07 |
CN1139196A |
1997-01-01 |
罗恩C·李; 迈克尔D·海尔; 迈克尔T·唐尼; 迈克尔J·巴拉索 |
一种用来取出含在气流中的可冷凝蒸气的方法和系统,含在气流中的可冷凝蒸气在一个或多个冷凝器内通过制冷剂流与气流的间接热交换而冷凝。此冷凝过程产生一被致冷气流和一被加热的制冷剂流。且在节能热交换器内将至少部分被加热的制冷剂流的热量进一步热交换给被致冷的气流以将被加热的制冷剂流形成一被冷却的制冷剂流。该制冷剂流通过在一喷射器或类似设备的混合室内将一低温流与至少部分被冷却的制冷剂流相混合而产生。 |