子分类：
| 序号 | 专利名 | 申请号 | 申请日 | 公开（公告）号 | 公开（公告）日 | 发明人 |
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| 81 | 振動式圧力センサ及びその製造方法 | JP2013169638 | 2013-08-19 | JP2015038433A | 2015-02-26 | YOSHIDA TAKASHI; YOSHIDA YUSAKU; YUMOTO ATSUSHI; SUZUKI YOSHITAKA |
| 【課題】ダイアフラムを薄型化させて振動子の歪み感度を向上させた振動式圧力センサを提供する。【解決手段】本発明の振動式圧カセンサは、ダイアフラム部112を有する第一基板110に振動子111を備えてなる振動式圧力センサ100であって、前記ダイアフラム部は、前記第一基板の一方の主面から凸状を成す部位120を有しており、前記振動子は、前記ダイアフラム部の厚み方向において中心に位置する中立面118から外れた領域に内在され、かつ、該領域の少なくとも一部は前記凸状を成す部位に含まれている、ことを特徴とする。【選択図】図1 | ||||||
| 82 | Pressure detector | JP2012025755 | 2012-02-09 | JP5594541B2 | 2014-09-24 | 喜弘 深野; 正 内野 |
| 83 | System and method for pressure sensor having two-layer die structure | JP2014030620 | 2014-02-20 | JP2014163935A | 2014-09-08 | BROWN GREGORY C |
| PROBLEM TO BE SOLVED: To protect a silicon die and a sensing circuit formed on the silicon die, from damaging effects of pressure media such as corrosion and humidity leading to current leakage.SOLUTION: A pressure sensor 100 comprises: a housing having a high side input port 102 and a low side input port 104 which allow high pressure media and low pressure media to enter respectively when the housing is placed in an environment containing high and low pressure media; a substrate 126 mounted within the housing; a stress isolation member 114 mounted to the substrate; a two-layer die stack 113 having a first sensor die 110 and a second sensor die 112 which are bonded to the stress isolation member; a low side atomic layer deposition (ALD) applied to surfaces of the substrate, the stress isolation member, and the die stack, which are exposed to the low side input port; and a high side atomic layer deposition (ALD) applied to surfaces of the stress isolation member and the die stack, which are exposed to the high side input port. | ||||||
| 84 | Pressure detector | JP2012025755 | 2012-02-09 | JP2013160747A | 2013-08-19 | FUKANO YOSHIHIRO; UCHINO TADASHI |
| PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent a dead space blocking the smooth flowing of fluids and to highly accurately measure pressure by preventing the influence of the temperature change of the fluids.SOLUTION: In a body 16 constituting a pressure detector 10, a through-hole 30 is formed upward roughly from the center of a flow path 28 through which pressure fluids flow. The through-hole 30 communicates with a sensor chamber 34 in which a pressure sensor 18 is disposed, and a rod-shaped member 32 is disposed to be displaced therein. The end of the rod-shaped member 32 exposed to the flow path 28 is pressure by the pressure fluids to be displaced upward, and pressure is detected by pressing the pressure sensor 18 by the head 38 of the rod-shaped member 32. | ||||||
| 85 | Physical quantity detector | JP2011248026 | 2011-11-11 | JP2013104753A | 2013-05-30 | SATO KENTA; KITAHARA NAOKI |
| PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a physical quantity detector having excellent detection accuracy.SOLUTION: A pressure sensor 1 (a physical quantity detector) includes: a diaphragm 3 having a displacement part 31 which is displaced by pressure from the outside; a holding member 2 having a ring-shaped ring part 21 which holds an outer peripheral part 32 of the diaphragm 3 and a protruding part 22 which protrudes from the ring part 21 to the inside on one face side of the diaphragm 3; a support body 6 fixed to the protruding part 22; and a piezoelectric vibrator 5 having a base part 51 fixed to the displacement part 31, the base part 52 fixed to a support body 6, and a vibration part 53 which is provided between the base parts 51, 52 and whose vibration is excited. | ||||||
| 86 | Measuring device for volume of sample | JP21232683 | 1983-11-11 | JPS59142425A | 1984-08-15 | HAWAADO ERU NOOSU JIYUNIAA |
| 87 | 양면형 용량성 감지 엘리먼트를 사용하는 듀얼 출력을 갖는 차동 압력 센서 | KR1020167022028 | 2015-01-15 | KR101884005B1 | 2018-07-31 | 콘웰,윌리엄,디.; 어반,마크,엘.; 나사르,마르코스,에이. |
| 본발명의실시예의차동용량성압력센서는, 단일기판의대향면들상에포지셔닝되는제 1 및제 2 다이어프램들을갖는다. 압력트랜스듀서의각각의다이어프램은과도적유체에노출되도록구성되며, 제 1 및제 2 압력트랜스듀서들은, 그들의개별적인편향표면들이서로에대해외향으로지향되게배열된다. 차동용량성압력센서는, 과도적유체들의차동및 공통모드압력의표시들을출력하도록구성될수 있으며, 여기서, 공통모드의표시는차동압력의표시를생성할시에소거된다. 과도적유체들은, 유동경로내의상이한위치들에서의동일한유체일수 있다. 다이어프램들은, 부식성또는가성유체들에대한노출을견디는것이가능한세라믹물질로구성될수 있다. | ||||||
| 88 | 질량 유량 제어 장치 | KR1020177003210 | 2015-08-20 | KR1020170052562A | 2017-05-12 | 히로타도모카즈; 이토히로유키 |
| 질량유량제어장치(1)를, 유량계(2)와, 유량계의상류측에인접하여배치되는기계식압력조절밸브(3)와, 유량계의하류측에배치되는유량제어밸브(4)에의해구성한다. 이에의해, 유량계의상류측의압력 P1이변동된경우라도, 이것을원래의압력으로순시에회복시킬수 있고, 이에의해유량계가측정하는유량의측정정밀도를높일수 있는질량유량제어장치를제공한다. 기계식압력조절밸브(3)는질량유량제어장치(1)의기부(7) 내에매설하는것이바람직하다. 질량유량제어장치(1)는기계식압력조절밸브(3)를강제적으로개방시키는강제밸브개방기구(10)를더 구비하는것이보다바람직하다. | ||||||
| 89 | 스트레인 게이지 모듈 및 그 제조방법 | KR1020150009444 | 2015-01-20 | KR101568101B1 | 2015-11-12 | 민남기; 함승우; 김종현; 김진웅 |
| 본발명은스트레인게이지모듈및 그제종방법에관한것이다. 본발명에따른스트레인게이지모듈은일측에압력도입부가형성된다이어프램과, 상기다이어프램의타측에절연성접착제를통해접합되는적어도하나의스트레인게이지칩을포함하며; 상기스트레인게이지칩은제1 웨이퍼층과, 일측이상기절연성접착제를통해상기다이어프램의타측에접합되고, 타측이상기제1 웨이퍼층과접합되며, 상기절연성접착제보다절연파괴전압이높은재질로마련되는제2 웨이퍼층과, 상기제1 웨이퍼층의상기제2 웨이퍼층의반대측표면에형성되는스트레인게이지를포함하는것을특징으로한다. 이에따라, 스트레인게이지의감도저하를최소화하면서도높은절연파괴전압에서도견딜수 있고, 접합후에도스트레스로인한파손을방지하고, 글라스프릿의두께를증가시켜면서발생했던종래기술들의문제점이원천적으로제거될수 있다. | ||||||
| 90 | 압력센서 | KR1020150034589 | 2015-03-12 | KR1020150107665A | 2015-09-23 | 하스누마마사히로 |
| 수압면에 연통하는 내부공간으로의 액체의 누설을 검출할 수 있는 압력센서를 제공한다.
메인유로(200)를 유통하는 액체의 압력을 검출하는 압력센서(100)로서, 메인유로(200)로부터 액체가 도입되는 도입유로(10)와, 수압면(20a)을 갖는 동시에 수압면(20a)이 받는 도입유로(10) 내의 액체의 압력을 검출하는 압력검출소자(20)와, 도입유로(10)의 하류측 단부에 형성되는 동시에 도입유로(10) 내의 액체와 수압면(20a)의 접촉을 차단하면서 액체의 압력을 수압면(20a)에 전달하는 다이어프램(30)과, 수압면(20a)에 연통하는 내부공간(S)으로의 액체의 누설을 검출하는 리크센서(40)를 구비하는 압력센서(100)를 제공한다. |
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| 91 | MEMS 센서 | KR1020150000652 | 2015-01-05 | KR1020150082119A | 2015-07-15 | 다나카겐이치; 오카와히사노부; 야자와히사유키; 아사히나히로유키; 우스이마나부; 이시조네마사히코; 우메츠에이지 |
| 알루미늄에의한배선층을형성해도열 히스테리시스에의한출력변동을억제할수 있는 MEMS 센서를제공한다. 정방형의 MEMS 센서(1)의 4개의모서리부에금인전극패드(16a, 16b, 16c, 16d)가형성되어있다. 전극패드(16a, 16b, 16c, 16d)와검지소자부(15a, 15b, 15c)가연결배선층(20, 25)에서도통하고있다. 연결배선층(20, 25)은알루미늄인하부배선층(21, 26)과금인상부배선층(22, 27)으로구성되어있다. 알루미늄인하부배선층(21, 26)을적당한길이로밸런스좋게배치함으로써, 열히스테리시스에의한잔류응력에따른출력변동을억제할수 있게된다. | ||||||
| 92 | 압력 검출기 | KR1020130013215 | 2013-02-06 | KR1020130092464A | 2013-08-20 | 후카노요시히로; 우치노타다시 |
| PURPOSE: A pressure detector is provided to prevent the generation of a dead space on a through-hole, thereby detecting pressure with high precision. CONSTITUTION: A pressure detector includes a body (16), a sensor chamber (34), and a through-hole (30). The body has a flow path (28) in which a fluid flows. A pressure sensor (18) at the body is installed in the sensor chamber. The through-hole is extended from the flow path to the sensor chamber. A pressure transmitting body (32) is installed in the through-hole. The position of the pressure transmitting body is freely varied along an axial direction. The pressure transmitting body transmits the pressure of the fluid to the pressure sensor. One end of the pressure transmitting body is extended from the through-hole to the end of the flow path, and is always exposed to the fluid. | ||||||
| 93 | 유량 측정 기구, 매스 플로우 콘트롤러 및 압력 센서 | KR1020127008331 | 2010-09-17 | KR1020120081595A | 2012-07-19 | 하야시시게유키; 구와하라아키라 |
| 본 발명은, 측정해야 할 대상 유체가 흐르는 내부 유로를 가진 몸체 유닛과, 상기 몸체 유닛에 장착되어 내부 유로의 압력을 검지하는 압력 센서를 구비하고, 상기 압력 센서가 검지한 유체 압력에 근거하여 상기 유체의 유량을 산출 가능하게 구성한 유량 측정 기구에 있어서, 상기 몸체 유닛이 길이 방향을 가짐과 아울러 그 길이 방향에 평행한 면에 부품 장착면을 설정하고, 상기 부품 장착면에 상기 압력 센서를, 그 감압면이 상기 부품 장착면에 대략 수직으로 또한 상기 길이 방향에 대략 평행이 되도록 장착함으로 인해서, 압력 측정의 감도 저하를 초래하지 않고, 폭방향 치수를 종래에 비해 비약적으로 저감한 것이다.
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| 94 | 검출 수단으로서 정전기적 간섭을 이용한 모놀리식 진공 압력계 | KR1020100063530 | 2010-07-01 | KR1020110002444A | 2011-01-07 | 포트너마이클; 시프카조셉; 리드크리스토퍼 |
| PURPOSE: A monolithic vacuum pressure meter using electrostatic interference as a detection unit is provided to enhance sensitivity using a glass coated part, on which a conductive element is formed using a photolithographic process. CONSTITUTION: A monolithic vacuum pressure meter(100) comprises a base(102), conductors(112a-112c), a glass coated part(110), a conductive element and a diaphragm(108). The base comprises a sidewall, which is extended more highly than a central part, which comprises a top surface and a bottom surface. The conductor is extended through an opening, which is formed by the central part of the base. The glass coated part is attached to at least a part of the top surface of the base. The conductive element is arranged on the glass coated part and electrically communicates with the conductor. The diaphragm is connected to the sidewall and is extended to over the conductive element. | ||||||
| 95 | 수압감지장치 및 비데 | KR1020090034944 | 2009-04-22 | KR1020100116307A | 2010-11-01 | 이종원 |
| PURPOSE: A water pressure detecting device and a bidet, which prevents misjudging to the equipment failure when the water pressure is low, is provided to increase the convenience of a user to check failure. CONSTITUTION: A water pressure detecting device comprises a body, a diaphragm(240), a pushing member(250) and a switch(260). A flow path is formed on the body. A through hole communicated in the flow path is formed on the body. The diaphragm is installed at the body in order to block up the through hole. The pushing member is contacted with the diaphragm. The switch is pressed by the pushing member. | ||||||
| 96 | 일체형 오일 프레셔 센더 | KR1020000081576 | 2000-12-26 | KR1020020052336A | 2002-07-04 | 김성호 |
| PURPOSE: An integrated type oil pressure sender is provided to allow assembling work to be easily carried out and reduce cost by forming the pressure sender integrally with the pressure switch. CONSTITUTION: An integrated type oil pressure sender comprises a port(2) connected to an engine; an oil pressure sensing unit including a diaphragm(4) installed in a sealed state, a supplementary plate(5) spaced apart from the diaphragm and an operating ball(6) installed in the center of the diaphragm, wherein the oil pressure sensing unit operates by the oil pressure being introduced into the port; and an operating unit including a pointer(9) arranged to rotate through a hinge(8), and a sender gauge(11) and a switch gauge(10) which are installed in the left and right sides of the pointer, respectively, wherein the operating unit turns on/off the contact in accordance with the result of detection of the oil pressure sensing unit. | ||||||
| 97 | 센서모듈 및 센서모듈의 조립방법 | KR1020160037034 | 2016-03-28 | KR1020170113879A | 2017-10-13 | 노상수; 오제호; 김정주 |
| 본발명에따른센서모듈및 센서모듈의조립방법은, 압력이인가되는부분에설치되어압력을받는압력포트와, 상기압력포트의안착면상에수직으로배치되며압력의변화를전기적신호로전달시키며상부에스프링접속홈이형성된 PCB와, 저면에는상기 PCB의상부의스프링접속홈이형성된상부가삽입되는 PCB삽입홈이형성되고측면으로는신호전달스프링의수만큼개방된스프링이동홈이형성된스프링가이드와, 상기스프링가이드상에배치되어하단부가상기 PCB삽입홈에삽입되는 PCB의스프링접속홈에접속되는스프링과, 상기스프링가이드의측면으로개방된스프링이동홈을폐쇄하게하방으로연장된스프링가압판이측면에형성되고상부면에는스프링관통홀이형성된컨넥터와, 상기컨넥터의상단부가노출되게상부노출공이형성되고측면에서상기컨넥터를감싸며스프링가압판을압박하는상태로삽입되고하부는상기압력포트에고정된하우징을포함하여, 센서모듈의직경이소형화가되도록소형의압력포트가사용이가능하게되고상기압력포트의안착면에전기적으로연결되는 PCB가수직으로배치되고상기 PCB에접속되는스프링의접속이상기 PCB와평행하게간단하면서강고하게조립되어더욱소형화가가능하게되며, 상기 PCB에접하는스프링이상기 PCB의삽입시이동이되어 PCB와스프링의고정이용이하면서도이동된스프링을외측에서하우징이눌러서원위치로이동되게하여상기 PCB에조립되는스프링의고정이용이하게되어조립자의작업의능률이향상되고신속하게조립하는것이가능하다. | ||||||
| 98 | 체외 혈액 투석 기계용 압력 출력 디바이스 | KR1020177002799 | 2015-07-28 | KR1020170063511A | 2017-06-08 | 린들리델로이; 바딜로호세안토니오; 스미스마이클패리; 래셔리차드알렌; 데이턴트로이캘빈; 옌센린이 |
| 유체처리시스템내의유체압력을감지하기위한압력출력디바이스(POD)가제공된다. 이 POD 조립체는쉘 내부를형성하는쉘, 및쉘 내부내에배치되며쉘 내부를관류챔버와압력감지측으로분리하는가동다이어프램을포함한다. 센서포트가압력감지측과유체연통한다. 입구포트및 출구포트가관류챔버와유체연통한다. 입구포트및 출구포트는관류챔버를통해통과하는관류채널의입구및 출구를각각형성한다. 보스는쉘의내부벽으로부터돌출하고관류채널내로연장하여관류챔버내의상이한압력조건하에서유동의폐색을방지한다. | ||||||
| 99 | 압력 센서 | KR1020157022616 | 2015-08-18 | KR1020170042455A | 2017-04-19 | 김영덕; 변을출; 오경환; 최원종 |
| 실시예에따르면압력센서는, 내부에형성되는통로부로유입되는기체의압력을측정하기위한스트레인게이지를포함하는센서모듈; 상기스트레인게이지와전기적으로연결되는기판; 상기센서모듈의적어도일부를감싸며, 상기기판을지지하기위한프레임; 상기기판과전기적으로연결되며외부기기의접점에접촉되는단자; 상기단자를지지하기위한단자홀더; 및일측이상기하우징또는프레임에연결되고, 타측은상기단자홀더의적어도일부를감싸는하우징을포함할수 있다. | ||||||
| 100 | 양면형 용량성 감지 엘리먼트를 사용하는 듀얼 출력을 갖는 차동 압력 센서 | KR1020167022028 | 2015-01-15 | KR1020160106745A | 2016-09-12 | 콘웰,윌리엄,디.; 어반,마크,엘.; 나사르,마르코스,에이. |
| 본발명의실시예의차동용량성압력센서는, 단일기판의대향면들상에포지셔닝되는제 1 및제 2 다이어프램들을갖는다. 압력트랜스듀서의각각의다이어프램은과도적유체에노출되도록구성되며, 제 1 및제 2 압력트랜스듀서들은, 그들의개별적인편향표면들이서로에대해외향으로지향되게배열된다. 차동용량성압력센서는, 과도적유체들의차동및 공통모드압력의표시들을출력하도록구성될수 있으며, 여기서, 공통모드의표시는차동압력의표시를생성할시에소거된다. 과도적유체들은, 유동경로내의상이한위치들에서의동일한유체일수 있다. 다이어프램들은, 부식성또는가성유체들에대한노출을견디는것이가능한세라믹물질로구성될수 있다. | ||||||
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