양면형 용량성 감지 엘리먼트를 사용하는 듀얼 출력을 갖는 차동 압력 센서 |
|||||||
| 申请号 | KR1020167022028 | 申请日 | 2015-01-15 | 公开(公告)号 | KR101884005B1 | 公开(公告)日 | 2018-07-31 |
| 申请人 | 센사타 테크놀로지스, 인크; | 发明人 | 콘웰,윌리엄,디.; 어반,마크,엘.; 나사르,마르코스,에이.; | ||||
| 摘要 | 본발명의실시예의차동용량성압력센서는, 단일기판의대향면들상에포지셔닝되는제 1 및제 2 다이어프램들을갖는다. 압력트랜스듀서의각각의다이어프램은과도적유체에노출되도록구성되며, 제 1 및제 2 압력트랜스듀서들은, 그들의개별적인편향표면들이서로에대해외향으로지향되게배열된다. 차동용량성압력센서는, 과도적유체들의차동및 공통모드압력의표시들을출력하도록구성될수 있으며, 여기서, 공통모드의표시는차동압력의표시를생성할시에소거된다. 과도적유체들은, 유동경로내의상이한위치들에서의동일한유체일수 있다. 다이어프램들은, 부식성또는가성유체들에대한노출을견디는것이가능한세라믹물질로구성될수 있다. | ||||||
| 权利要求 | |||||||
| 说明书全文 | |||||||
QQ群二维码
意见反馈
意见反馈