紧急停止装置及方法

申请号 CN201810151199.6 申请日 2018-02-13 公开(公告)号 CN108459495A 公开(公告)日 2018-08-28
申请人 AP系统股份有限公司; 发明人 金光寿; 崔钟权; 尹贤植; 白珠赫;
摘要 本 发明 提供一种紧急停止装置及一种以拉动或推按金属丝的方式使设备在 工作空间 内的期望 位置 处快速停止的紧急停止方法,所述紧急停止装置包括: 开关 单元,装设在工作空间中,电连接到设备,且能够通过拉动进行操作;以及所述金属丝,设置在所述工作空间中以施加拉 力 ,且所述金属丝的至少一个侧以能够拆卸方式安装在所述开关单元上。
权利要求

1.一种紧急停止装置,其特征在于,包括:
开关单元,装设在工作空间中,电连接到设备,且能够通过拉动进行操作;以及金属丝,设置在所述工作空间中以施加拉,且所述金属丝的至少一个侧以能够拆卸方式安装在所述开关单元上。
2.根据权利要求1所述的紧急停止装置,其特征在于,所述开关单元设有多个且彼此间隔开,且
所述金属丝连接在所述开关单元之间。
3.根据权利要求1所述的紧急停止装置,其特征在于,还包括虚拟单元,所述虚拟单元装设在所述工作空间中且与所述开关单元间隔开,且所述金属丝的另一侧以能够拆卸方式安装在所述虚拟单元上。
4.根据权利要求3所述的紧急停止装置,其特征在于,还包括安全弹簧,所述安全弹簧被安装成连接在所述虚拟单元与所述金属丝之间。
5.根据权利要求1所述的紧急停止装置,其特征在于,还包括装设在所述工作空间中的引导单元,
其中所述金属丝被设置成穿过所述引导单元,且所述金属丝的至少一个端部以能够拆卸方式安装在所述开关单元上。
6.根据权利要求5所述的紧急停止装置,其特征在于,所述引导单元设有多个,使得多个所述引导单元沿工人的移动路线装设或者围绕所述工人能够在其中移动的整个空间装设,且
所述金属丝与所述引导单元中的至少一个引导单元接触支撑所述至少一个引导单元。
7.根据权利要求1所述的紧急停止装置,其特征在于,还包括连接单元,所述连接单元被安装成连接在所述金属丝与所述开关单元之间且能够在安装方向上调节所述连接单元的长度,
其中所述金属丝通过所述连接单元以能够拆卸方式安装在所述开关单元上。
8.根据权利要求1所述的紧急停止装置,其特征在于,所述开关单元包括:
开关本体,电连接到所述设备;
停止开关,以能够伸展方式安装在所述开关本体上以通过所述拉动来接通所述开关本体;以及
金属丝钩,设置在所述停止开关的端部上。
9.根据权利要求8所述的紧急停止装置,其特征在于,所述开关单元包括:
恢复开关,以能够伸展方式安装在所述开关本体上以通过按压来断开所述开关本体;
以及
操作显示部件,安装在所述开关本体上以显示所述停止开关的被拉动状态,其中当通过所述金属丝以高于参考力的力拉动所述停止开关时,所述开关本体被接通,且当按压所述恢复开关时,所述开关本体被断开。
10.根据权利要求8所述的紧急停止装置,其特征在于,所述设备设有多个,且所述开关本体对其中集合有多个所述设备的一个群组进行一体控制。
11.根据权利要求8所述的紧急停止装置,其特征在于,所述设备设有多个,所述开关本体设有多个以对应于所述设备的数目,且
所述开关本体中的每一者各别地控制一个设备或者控制多个所述设备的群组。
12.根据权利要求5所述的紧急停止装置,其特征在于,所述引导单元包括环,所述环设置在所述开关单元的装设高度处且提供供所述金属丝穿过的通道,且
所述金属丝被设置成穿过所述环的所述通道。
13.一种紧急停止方法,用于停止装设在工作空间中的设备,其特征在于,所述紧急停止方法包括:
提供开关本体及金属丝,所述开关本体电连接到所述设备,所述金属丝设置在所述工作空间中以施加拉力,且所述金属丝的一个端部连接到所述开关本体;
操作所述设备;以及
通过使用所述金属丝操作所述开关本体来停止所述设备。
14.根据权利要求13所述的紧急停止方法,其特征在于,在所述开关本体的一个侧上安装有停止开关,且
所述金属丝连接到所述停止开关,
其中停止所述设备包括:
拉动或推按所述金属丝来拉动所述停止开关;
当以高于参考力的力来拉动所述停止开关时,接通所述开关本体;以及从所述开关本体向所述设备输出停止信号
15.根据权利要求13所述的紧急停止方法,其特征在于,所述设备设有多个,且停止所述设备包括通过使用一条金属丝操作一个开关本体来停止所有多个所述设备。
16.根据权利要求13所述的紧急停止方法,其特征在于,所述设备设有多个,所述开关本体设有多个以对应于所述设备的数目,且
所述金属丝设有多个以分别连接到所述开关本体,
其中停止所述设备包括通过使用相应的所述金属丝选择性地操作所述开关本体,以各别地停止多个所述设备或停止多个所述设备的群组,或者通过使用相应的所述金属丝操作所有所述开关本体,以停止所有多个所述设备。
17.根据权利要求14所述的紧急停止方法,其特征在于,在所述开关本体的另一侧上安装有恢复开关,
其中在停止所述设备之后,所述紧急停止方法还包括:
按压所述恢复开关以断开所述开关本体;以及
从所述开关本体向所述设备输出恢复信号。

说明书全文

紧急停止装置及方法

技术领域

[0001] 本发明涉及一种紧急停止装置及方法、一种能够使设备在工作空间中的期望位置处快速停止的紧急停止装置及方法。

背景技术

[0002] 用于制造半导体或显示元件的工艺中的每一者是在被设置成为对应工艺的进展提供最优条件的工艺设备中的每一者中执行。工艺设备的机制复杂且装设及操作昂贵。此外,工艺设备为停止操作而进行的调控工艺相当复杂。因此,此种工艺设备本质上包括用于紧急停止所述工艺设备的操作的紧急停止开关
[0003] 紧急停止开关可以简单且直观的结构装设在设备的主体中以使所述紧急停止开关尽可能快速地进行操作。
[0004] 举例来说,以下专利文献1涉及一种紧急停止单元,所述紧急停止单元包括用于停止整个路线的开关及用于停止各别元件的开关以使工人可根据情况来操作所述开关。此外,专利文献2涉及一种紧急断开(emergency off,EMO)开关,所述EMO开关被配置成在其中多个推按按钮中的所有推按按钮被按压的状态中停止半导体制造装置的操作,由此防止工人出现错误操作。此外,专利文献3涉及一种紧急断开单元,所述紧急断开单元包括按钮盖以防止按钮被工人意外地按压。
[0005] 然而,当工人的位置远离工艺设备的主体时,存在其中必须紧急停止所述工艺设备的操作的情况。根据专利文献1、2及3,当工人的位置远离工艺设备的主体时,紧急停止所述工艺设备的操作是不可能的。
[0006] 以下专利文献4涉及一种紧急断开系统,所述紧急断开系统包括能够产生无线信号以停止工艺设备的操作的便携式EMO开关。根据专利文献4,在紧急情况中,工人可通过在任意位置处按压便携式EMO开关来停止工艺设备的操作。
[0007] 然而,专利文献4中所公开的紧急断开系统具有以下不便:工人必须直接携带便携式EMO开关,且此外,工人应谨慎小心以免在所述工人调控工艺设备或携带所述便携式EMO开关的同时按压到所述便携式EMO开关。
[0008] (现有技术文献)
[0009] (专利文献)
[0010] (专利文献1)KR20-0464758 Y1
[0011] (专利文献2)KR10-2006-0012465 A
[0012] (专利文献3)KR10-2006-0108978 A
[0013] (专利文献4)KR10-2011-0038787 A

发明内容

[0014] 本发明公开的实施例提供一种能够在不另外装设开关单元的条件下使设备在工作空间中的所有位置处快速停止的紧急停止装置及方法。
[0015] 本发明公开的实施例还提供一种能够通过工人来快速地且轻易地调控的紧急停止装置及方法。
[0016] 本发明公开的实施例还提供一种能够在紧急情况中通过工人来直观地调控的紧急停止装置及方法。
[0017] 根据示例性实施例,一种紧急停止装置包括:开关单元,装设在工作空间中,电连接到设备,且能够通过拉动进行操作;以及金属丝,设置在所述工作空间中以施加拉,且所述金属丝的至少一个侧以能够拆卸方式安装在所述开关单元上。
[0018] 所述开关单元可设有多个且彼此间隔开,且所述金属丝可连接在所述开关单元之间。
[0019] 所述紧急停止装置还可包括虚拟单元,所述虚拟单元装设在所述工作空间中且与所述开关单元间隔开,且所述金属丝的另一侧以能够拆卸方式安装在所述虚拟单元上。
[0020] 所述紧急停止装置还可包括安全弹簧,所述安全弹簧被安装成连接在所述虚拟单元与所述金属丝之间。
[0021] 所述紧急停止装置还可包括装设在所述工作空间中的引导单元,其中所述金属丝可被设置成穿过所述引导单元,且所述金属丝的至少一个端部可以能够拆卸方式安装在所述开关单元上。
[0022] 所述引导单元可设有多个,使得所述多个引导单元沿工人的移动路线装设、或者围绕所述工人能够在其中移动的整个空间装设,且所述金属丝可与所述引导单元中的至少一个引导单元接触支撑所述至少一个引导单元。
[0023] 所述紧急停止装置还可包括连接单元,所述连接单元被安装成连接在所述金属丝与所述开关单元之间且能够在安装方向上调节所述连接单元的长度,其中所述金属丝可通过所述连接单元以能够拆卸方式安装在所述开关单元上。
[0024] 所述开关单元可包括:开关本体,电连接到所述设备;停止开关,以能够伸展方式安装在所述开关本体上以通过所述拉动来接通所述开关本体;以及金属丝钩,设置在所述停止开关的端部上。
[0025] 所述开关单元可包括:恢复开关,以能够伸展方式安装在所述开关本体上以通过按压来断开(tum off)所述开关本体;以及操作显示部件,安装在所述开关本体上以显示所述停止开关的被拉动状态,其中当通过所述金属丝以高于参考力的力拉动所述停止开关时,所述开关本体可被接通(tum on),且当按压所述恢复开关时,所述开关本体可被断开。
[0026] 所述设备可设有多个,且所述开关本体可对其中集合有所述多个设备的一个群组进行一体控制。
[0027] 所述设备可设有多个,所述开关本体可设有多个以对应于所述设备的数目,且所述开关本体中的每一者可各别地控制一个设备或者控制所述多个设备的群组。
[0028] 所述引导单元可包括环,所述环设置在所述开关单元的装设高度处且提供供所述金属丝穿过的通道,且所述金属丝可被设置成穿过所述环的所述通道。
[0029] 根据另一示例性实施例,一种用于停止装设在工作空间中的设备的紧急停止方法包括:提供开关本体及金属丝,所述开关本体电连接到所述设备,所述金属丝设置在所述工作空间中以施加拉力,且所述金属丝的一个端部连接到所述开关本体;操作所述设备;以及通过使用所述金属丝操作所述开关本体来停止所述设备。
[0030] 在所述开关本体的一个侧上可安装有停止开关,且所述金属丝可连接到所述停止开关,其中所述停止所述设备可包括:拉动或推按所述金属丝来拉动所述停止开关;当以高于参考力的力来拉动所述停止开关时,接通所述开关本体;以及从所述开关本体向所述设备输出停止信号。
[0031] 所述设备可设有多个,且所述停止所述设备可包括通过使用一条金属丝操作一个开关本体来停止所有所述多个设备。
[0032] 所述设备可设有多个,所述开关本体可设有多个以对应于所述设备的数目,且所述金属丝可设有多个以分别连接到所述开关本体,其中所述停止所述设备可包括通过使用相应的所述金属丝选择性地操作所述开关本体来各别地停止所述多个设备或停止所述多个设备的群组,或者通过使用相应的所述金属丝操作所有所述开关本体来停止所有所述多个设备。
[0033] 在所述开关本体的另一侧上可安装有恢复开关,其中在所述停止所述设备之后,所述紧急停止方法还可包括:按压所述恢复开关以断开所述开关本体;以及从所述开关本体向所述设备输出恢复信号。附图说明
[0034] 通过结合附图阅读以下说明,可更详细地理解示例性实施例,在附图中:
[0035] 图1是示出根据示例性实施例的其中紧急停止装置装设在工作空间中的状态的示意图。
[0036] 图2是根据示例性实施例的开关单元的示意图。
[0037] 图3(a)和图3(b)是根据示例性实施例的连接单元的示意图。
[0038] 图4是根据示例性实施例的引导单元的示意图。
[0039] 图5是示出根据示例性实施例的其中紧急停止装置进行操作的状态的实例的示意图。
[0040] 图6是示出根据经修改实施例的其中紧急停止装置装设在工作空间中的状态的示意图。
[0041] 符号的说明
[0042] 1:点
[0043] 2:动作
[0044] 10:工作空间
[0045] 100:开关单元
[0046] 110:开关本体
[0047] 120:停止开关
[0048] 121:金属丝钩
[0049] 130:操作显示部件
[0050] 131:显示屏幕
[0051] 132:参考线
[0052] 133:操作销
[0053] 140:恢复开关
[0054] 150:支撑面板
[0055] 200:连接单元
[0056] 210:钩本体
[0057] 220:固定螺母
[0058] 230:金属丝耦合工具
[0059] 231:螺母部件
[0060] 232:固持部件
[0061] 233:金属丝支撑件
[0062] 234:固定螺栓
[0063] 300:金属丝
[0064] 400:引导单元
[0065] 410:支架
[0066] 420、510:环
[0067] 421:头部件
[0068] 430:螺母
[0069] 500:虚拟单元
[0070] 600:安全弹簧
[0071] A:设备

具体实施方式

[0072] 在下文中,将参照附图详细阐述具体实施例。然而,本发明的实施例可实施为不同形式且不应被视作仅限于本文所述的实施例。确切来说,提供这些实施例是为使此公开内容将透彻及完整,并将向所属领域中的技术人员充分传达本发明的实施例的范围。在附图中,为说明清晰起见,夸大了层及区的尺寸。通篇中相同的参考编号指代相同的组件。
[0073] 图1是示出根据示例性实施例的其中紧急停止装置装设在工作空间中的状态的示意图。图2是根据示例性实施例的开关单元的示意图。图3(a)和图3(b)是根据示例性实施例的连接单元的示意图。
[0074] 图4是根据示例性实施例的引导单元的示意图。图6是示出根据经修改实施例的其中紧急停止装置装设在工作空间中的状态的示意图。
[0075] 参照图1,根据示例性实施例的紧急停止装置包括:开关单元100,装设在工作空间10中,电连接到设备A,且可通过高于参考力的拉动力来进行操作;以及金属丝300,以被拉紧的状态设置在工作空间10中以施加小于参考力的拉力,且金属丝300具有至少一个侧以可拆卸方式安装在开关单元100上。
[0076] 此外,紧急停止装置还可包括:连接单元200,被安装成连接在金属丝300与开关单元100之间且可在安装方向上调节连接单元200的长度,使得可调节施加到金属丝300的拉力的强度;以及至少一个引导单元400,装设在工作空间10中以引导金属丝300的路径。
[0077] 工作空间10可为其中装设有设备A(例如用于制造半导体或显示元件的工艺设备)的空间且可包括工人围绕所述设备移动以调控所述设备时所沿的移动路线以及围绕所述设备的所有空间,其中工人相对于所述设备或工艺来说是可移动的。所述设备在工作空间10中进行操作以执行用于制造半导体或显示元件的各种工艺。
[0078] 此外,工作空间10可包括各种设备在其中执行各种工业领域中的各种工艺的空间及周围空间。设备A可装设在工作空间10的一个侧处,且可提供一个或多个设备。根据示例性实施例的紧急停止装置可围绕所述设备的外部装设。
[0079] 开关单元100可装设在工作空间中且电连接到所述设备以通过拉动来进行操作。举例来说,当以下将阐述的停止开关120被金属丝300拉动时,开关单元100可产生用于紧急停止所述设备的操作的信号以将所述信号输出到所述设备。
[0080] 开关单元100可设有多个,且所述多个开关单元100可被装设成彼此间隔开。举例来说,可设有两个或更少个开关单元100。更详细来说,两个开关单元100可被设置成彼此间隔开以形成一对。作为另外一种选择,可设置一个开关单元100。
[0081] 参照图2,根据示例性实施例的开关单元100可包括开关本体110、停止开关120、金属丝钩121、操作显示部件130、恢复开关140及支撑面板150。
[0082] 开关本体110可装设在预定高度处以使工人的上肢及下肢中的至少一者接触开关本体110。开关本体110可电连接到设备A。开关本体110可在接通状态中输出用于紧急停止设备A的停止信号。开关本体110可在断开状态中输出用于解除设备A的紧急停止状态的恢复信号。
[0083] 开关本体110及设备A可以有线通信方式或无线通信方式彼此连接。设备A可从开关本体110接收停止信号并接着立即停止操作。设备A可从开关本体110接收恢复信号并接着重新进行操作或转换成操作待机状态。
[0084] 当设有一个设备A时,可装设一个开关本体110。当设有多个设备A时,可装设一个开关本体110,且因此,设备可集合成一个群组且通过开关本体110来一体控制。
[0085] 作为另外一种选择,当设有多个设备A时,可设置多个开关本体110以对应于设备A的数目。此处,当开关本体110的数目对应于设备A的数目时,开关本体110可分别各别地控制设备A。此外,开关本体110的数目小于设备A的数目,所述多个设备A可集合成多个群组,且所述群组中的每一者可通过开关本体110中的每一者来控制。
[0086] 停止开关120可以可伸展方式安装在开关本体110的一个侧上。停止开关120可通过拉动金属丝300以接通开关本体110来进行操作。停止开关120可具有例如可通过弹簧或油压来伸展的结构。停止开关120可在被拉动状态中突出到开关本体110的外部且在长度上延伸。当解除所述拉动时,停止开关120可复原到被弹性复原力拉动之前的长度(初始长度)。当开关本体110通过拉动停止开关120而接通时,开关本体110可即便在解除所述拉动停止开关120时仍维持在接通状态。
[0087] 当以例如12.75千克力(kgf)或小于12.75kgf的力或125(N)或小于125N的力来调控停止开关120时,停止开关120可顺利地拉伸及复原。此处,停止开关120可在通过金属丝300以高于参考力的力被拉动时接通开关本体110。即,当停止开关120被高于参考力的力、或12.75kgf或小于12.75kgf的力或者125N或小于125N的力拉动时,停止开关120可突出到开关本体110的外部以接通开关本体110。此后,当移除拉动停止开关120的力时,停止开关120可复原到被拉动之前的长度。此时,开关本体110可维持在接通状态。参考力可为以施加到金属丝300的最小拉力作为参考值而使得金属丝300耦合到顶部开关且在工人不拉动或推按金属丝300的条件下拉紧的相对值。
[0088] 参考力可为例如3kgf或高于3kgf的力或29.4N或高于29.4N的力。上述值对应于在紧急情况中工人通过使用上肢及下肢直接拉动或推按金属丝300的预定拉力值。停止开关120在被小于参考力的力拉动时可能无法进行操作来接通开关本体110。因此,可防止开关本体110发生故障。
[0089] 金属丝钩121可设置在停止开关120的端部上。因此,金属丝可通过金属丝钩121以可拆卸方式安装在停止开关120上。金属丝钩121的结构并无具体限制。举例来说,可对金属丝钩121应用例如活节螺栓(eye bolt)或环螺栓(ring bolt)等结构。
[0090] 操作显示部件130可为一种安装在开关本体110上的计量表且用于显示施加到停止开关120的力的变化来作为时间信息。即,操作显示部件130可为用于显示停止开关120的被拉动状态的计量表。操作显示部件130可由显示屏幕131、参考线132及操作销133构成。
[0091] 显示屏幕131从开关本体110的一个侧到恢复开关140间隔开且安装在开关本体110的一个表面上以在停止开关120的拉伸方向上延伸。参考线132可在停止开关120的拉伸方向上彼此间隔开且分别设置在显示屏幕131的两个边缘上。操作销133可安装在显示屏幕
131上以使操作销133设置在参考线132之间的中心处。此外,操作销133可根据拉动停止开关120或解除拉动停止开关120来在显示屏幕131上在停止开关120的拉伸及复原方向上移动。操作销133可在停止开关120被小于参考力的力拉动时设置在参考线132的内侧且接着在停止开关120被大于参考力的力拉动时移动到参考线132的外部。
[0092] 操作显示部件130可通过以其中单独的转盘(图中未示出)或停止开关120旋转的方式调整操作销133的位置来调整零点。用于调整操作显示部件130的零点的结构及方式并无具体限制。举例来说,可应用用于调整在各种工业领域中使用的各种计量表的零点的结构及方式。
[0093] 举例来说,当金属丝300安装在停止开关120上且接着通过使用随后将阐述的连接单元200来调节金属丝300的长度以使金属丝300拉紧时,与施加到金属丝300的拉力对应的预定力可施加到停止开关120以使金属丝300的拉力状态在工人不拉动或推按金属丝300的条件下得到维持。即,可一直对金属丝300施加最小拉力以使金属丝300拉紧。即,停止开关120可在工人不拉动或推按金属丝300的条件下通过小于参考力的力来拉动,且此外,操作销133可被设置成靠近参考线132。因此,在金属丝300与停止开关120完全耦合到彼此且金属丝300的拉力被完全调节之后,操作销133的零点可被调整成使操作销133位于参考线132之间的中心处。此后,操作显示部件130可精确地显示停止开关120的被拉动状态。
[0094] 恢复开关140以可伸展方式安装在开关本体110上且用于通过推按恢复开关140来断开开关本体110。当解除所述推按恢复开关140时,恢复开关140通过弹力而复原到其原始状态。当开关本体110通过按压恢复开关140而断开时,可移除按压恢复开关140的力以使得恢复开关140能够突出到其原始状态。因此,恢复开关140可即便在恢复开关140复原时仍维持在断开状态。
[0095] 支撑面板150可被装设成附接到所述设备或与所述设备间隔开且可向上延伸到开关本体110所旨在安装于的高度处。开关本体110可被装设成由支撑面板150来支撑。
[0096] 在下文中,将在阐述连接单元200之前阐述金属丝300。参照图1,金属丝300可设置在工作空间10中以施加拉力,且金属丝300的至少一个侧可以可拆卸方式安装在开关单元100的金属丝钩121上。更详细来说,金属丝300可被安装成连接在开关单元100之间。此处,金属丝300的两个端部中的至少一个端部可以可拆卸方式安装在一个开关单元100上。
[0097] 当设有两个开关单元100时,金属丝300的另一端部可以可拆卸方式安装在另一开关单元100上,或者可以可拆卸方式安装在设置于工作空间10中且与开关单元100间隔开的虚拟单元500上。当金属丝300的另一端部安装在虚拟单元500上时,另一开关单元100可安装在金属丝300的一个端部与另一端部之间的预定点处。
[0098] 参照图6,当开关单元100的数目为一时,开关单元100的停止开关120可连接到金属丝300的一个端部。金属丝300的另一端部可安装在装设于工作空间10中且与开关单元100间隔开的虚拟单元500上。此处,安全弹簧600可被安装成连接在虚拟单元500与金属丝
300之间。金属丝300及安全弹簧600可直接安装在彼此上或者可通过连接单元200来安装。
[0099] 举例来说,在其中由于工作空间10的空间约束或设备的控制而不使用所述两个开关单元的环境中,可使用所述一个开关单元100及虚拟单元500来构造所述紧急停止装置。
[0100] 虚拟单元500可被设置成具有预定形状的板且延伸到开关单元100的安装高度。可在虚拟单元500中设置环510以使安全弹簧600是可拆卸的。安全弹簧600可将金属丝300连接到环510而非连接单元200。作为另外一种选择安全弹簧600可与连接单元200串联连接且连接在金属丝300与环510之间。所述紧急停止装置可根据经修改实例以除上述结构以外的各种方式来进行构造。
[0101] 在根据示例性实施例及比较实例的连接结构中,在金属丝300被工人拉动或推按的同时,开关单元100的停止开关120可被拉动。即,其中开关单元100通过金属丝300来进行实体调控的区可扩展到整个工作空间10。此外,通过金属丝300以所述一对开关单元100来直接处置的区可扩展到整个工作空间10。
[0102] 具体来说,尽管金属丝300的任一点是通过金属丝300的上述结构来拉动或推按,然而靠近于一对开关单元100的对应点的开关单元100的停止开关120可被顺利拉动。
[0103] 当设有多个开关本体110时,金属丝300可被设置成对应于开关本体110的数目,且所述多个金属丝300可分别连接到开关本体110。
[0104] 金属丝300必须处于紧拉状态,使得工人能够在金属丝300被拉动或推按时立即拉动停止开关120。因此,长度可调节的连接单元200可被安装成连接在金属丝与停止开关120之间,且可调节所述连接单元的长度以调节施加到金属丝300的拉力的强度。
[0105] 图3(a)是示出连接单元的耦合状态的图,且图3(b)示出连接单元的拆解状态的图。
[0106] 参照图3(a)和图3(b),连接单元200可包括钩本体210、固定螺母220及金属丝耦合工具230。钩本体210可具有在一个方向上延伸预定长度的条形状,且在钩本体210的一个端部上可设置有钩。此外,在钩本体210的其余外圆周表面上可设置有螺纹。固定螺母220可耦合到钩本体210的螺纹。
[0107] 金属丝耦合工具230可以螺纹方式耦合到钩本体210而使得金属丝耦合工具230的至少一部分与钩本体210交叠。可根据金属丝耦合工具230的交叠程度来在连接单元200的延伸方向上调节金属丝耦合工具230的长度。金属丝耦合工具230可包括:螺母部件231,在一个方向上延伸预定长度;固持部件232,设置在螺母部件231的端部上以提供供金属丝300穿过的通道;金属丝支撑件233,使用固持部件232作为中心在与螺母部件231相对的侧处安装在固持部件232上且具有金属丝支撑孔;以及固定螺栓234,对穿过固持部件232以穿过所述通道的金属丝300进行固定。
[0108] 金属丝300可在穿过金属丝支撑孔之后插入到固持部件232的通道中且接着通过固定螺栓234进行固定。因此,金属丝300可耦合到固持部件232。此后,尽管钩本体210插入到螺母部件231中且接着以螺纹方式进行耦合,然而可调整螺母部件231与钩本体210之间的交叠程度以调整连接单元200的长度。当完成连接单元200的长度时,固定螺母220可紧紧地附接到螺母部件231以将螺母部件231固定到钩本体210。此后,钩本体210的钩可钩在停止开关120的金属丝钩121上以将连接单元200以可拆卸方式耦合到停止开关120。因此,金属丝300可通过连接单元200以可拆卸方式安装在停止开关120上。此外,可在连接单元200的安装方向上调节连接单元200的长度以调节金属丝300的拉力。
[0109] 可设多个引导单元400。因此,所述多个引导单元400可沿工人移动时所沿的移动路线装设或者围绕工人可在其中移动的整个空间装设。金属丝300可被设置成穿过引导单元400且接着接触至少一个引导单元400且被支撑并转换路径。
[0110] 参照图4,引导单元400可包括:环420,设置在开关单元100的装设高度处且具有能够供金属丝300穿过的通道;以及支架410,装设在工作空间10中且环420安装且支撑在支架410中。
[0111] 支架410的结构及形状并无具体限制。如图中所示,多个板可彼此耦合以提供三维结构。环420可包括环形头部件421且除头部件421以外还包括具有螺栓形状的本体部件。本体部件可穿过支架410的一个侧且接着以螺纹方式耦合到支架410。此处,在本体部件的外圆周表面上可设有多个螺母430。此外,所述多个螺母430中的每一者可紧紧地附接到支架410中的每一者以固定本体部件。金属丝300可被设置成穿过头部件421的通道。此处,可虑及金属丝300的折射率及高度来确定头部件421在平面上或在空间中的位置。因此,金属丝
300可顺利地移动而不折断。
[0112] 引导单元400可沿工人的移动路线或者所述工作空间内的工人可在其中移动的空间装设在彼此间隔开的多个位置处。金属丝300可由引导单元400支撑,且金属丝300的路径可由引导单元400来引导。作为另外一种选择,引导单元400可装设在彼此间隔开的多个位置处以环绕工人的移动路线或者所述工作空间内的工人可在其中移动的空间。金属丝300可由引导单元400支撑,且金属丝300的路径可由引导单元400来引导。金属丝300的路径称为安全路线。根据安全路线的布局,工作空间10内的所有位置可相邻于所述安全路线。
[0113] 以下将阐述根据示例性实施例的装设紧急停止装置的工艺。
[0114] 首先,在工作空间中装设所述一对开关单元100,且接着金属丝300接连穿过引导单元400的环420且设置在工作空间10内以通过环420而将开关单元100彼此连接。此处,金属丝300可不处于拉紧状态。此后,连接单元200分别耦合到金属丝300的两个端部。接着,在一个开关单元100上安装一个连接单元200。此后,在另一开关单元100上安装另一连接单元200。此处,可调节连接单元200的长度以拉紧金属丝300。即,在其中在工作空间中装设有紧急停止装置的状态中,金属丝300可维持在拉紧状态以使小于参考力的拉力施加到金属丝
300。此后,调节停止开关120的零点以完成紧急停止装置的装设。因此,在工人执行工艺的同时,所述工人可通过其中所述工人在所述工人可在其中移动的工作空间内的所有位置处拉动金属丝300的简单操作来轻易地调控所述一对开关单元100。
[0115] 完成装设的紧急停止装置用于在工艺期间紧急停止设备的操作。具体来说,尽管通过使用金属丝而在工作空间10中装设最小数目的开关单元100(即,开关单元100的装设数目被最小化成一个或两个单元),然而在工作空间10内的所有位置处够及开关单元100的能力可显著提高。
[0116] 图5是示出根据示例性实施例的其中紧急停止装置进行操作的状态的实例的示意图。参照图5,将阐述根据示例性实施例的操作紧急停止装置的方法。
[0117] 在设备在例如其中工人的身体卡在所述设备中或工艺执行异常的紧急情况中进行操作的同时,所述工人以高于参考力的力拉动穿过其周围的金属丝300。此处,参考力意指在其中金属丝300耦合到停止开关120以被拉紧的状态中足以接通开关本体110的力的程度。当拉动金属丝300的一个点1时,金属丝300的两个端部中的每一者可朝所述一个点1拉动。因此,如上所述,当拉动金属丝300(动作2)时,停止开关120可以高于参考力的力被拉动以使得操作销133能够移动到参考线132的外部且使得停止开关120能够接通开关本体110而使得所述设备紧急停止。接着,当紧急情况解除时,可按压恢复开关140以断开开关本体110。
[0118] 在下文中,将通过比较根据比较实例的传统紧急停止开关的装设及操作方法与根据示例性实施例的紧急停止装置的装设及操作来进行阐述。
[0119] 举例来说,根据现有技术,紧急停止开关装设在工人操作设备的移动路线上的位置及所述工人可在其中移动的工作空间内的位置中的每一者处。此不仅使设备的设计元素及操作方法复杂化,而且使紧急停止开关的操作机制更为复杂。
[0120] 另一方面,根据示例性实施例,紧急停止开关可通过使用所述两个开关单元100及所述一个金属丝300而被装设成覆盖整个工作空间。因此,设备的装设及操作可比根据现有技术的设备的装设及操作简单,且与紧急停止相关的操作机制也可简化。此外,由于可在工作空间内的任意位置处快速地操作开关单元100,因此可确保所述工作空间内的所有位置中的稳定性,且可在工作空间中自由地构建安全路线的布局而不存在成本增加的负担。
[0121] 此外,根据现有技术,工人携带EMO开关的原因之一是:设备是否可紧急停止是由所述工人是否携带便携式EMO开关来决定。另一方面,根据示例性实施例,设备可在工人不携带便携式EMO开关的条件下仅通过拉动或推按围绕工作空间10而装设的金属丝300来紧急停止。
[0122] 具体来说,与现有技术不同,根据示例性实施例,由于工人通过使用所述工人的上肢或下肢拉动或推按金属丝来操作停止开关,因此与通过直接按压开关来操作所述开关的方法相比在应对紧急情况方面更容易且更快速。
[0123] 如上所述,根据示例性实施例的紧急停止装置可仅通过使用最小数目的开关单元及金属丝的简单装设结构来在预定范围内确保安全工作空间。此外,紧急停止装置可在工作空间内的所有位置中进行操作,且即便金属丝的拉动位置向任意一侧偏置,由于所述金属丝的两个端部中的每一者均连接有停止开关,因此所述紧急停止装置也可安全地进行操作。
[0124] 在下文中,将阐述根据示例性实施例的紧急停止方法。此处,将不再对前述说明予以赘述或者仅进行简要阐释。
[0125] 根据示例性实施例的紧急停止方法是使用上述紧急停止装置来停止装设在工作空间中的设备的方法且包括以下工艺:提供电连接到所述设备的开关本体及设置在工作空间中以施加拉力的金属丝,所述金属丝的一个端部连接到所述开关本体;操作所述设备;以及通过使用金属丝停止所述设备来操作所述开关本体。
[0126] 首先,提供电连接到设备A的开关本体110及设置在工作空间10中的金属丝300,金属丝300的一个端部连接到开关本体110以施加拉力。此处,停止开关120可安装在开关本体110的一个侧上,且金属丝300可连接到停止开关120。设备A及开关本体110可设有至少一个或多个,且开关本体110中的每一者可电连接到至少一个或多个设备A中的每一者。在开关本体110的另一个侧上可安装有恢复开关140。此后,设备A进行操作。
[0127] 在设备A进行操作的同时,如果旨在根据工人的需要来紧急停止设备A的操作,则开关本体110可通过金属丝300进行操作来停止设备A。举例来说,当拉动或推按金属丝300以拉动停止开关120时,停止开关120可被高于参考力的力拉动,且因此,开关本体110可接通。此处,可从开关本体110向设备A输出停止信号。因此,设备A可立即停止。
[0128] 此处,在其中一个开关本体110电连接到所述多个设备A的结构中,一个开关本体110可通过一个金属丝300进行操作以停止所有所述多个设备A。
[0129] 此外,在其中所述多个开关本体110一对一地彼此对应且彼此电连接的结构中,开关本体110可通过相应的金属丝300来选择性地进行操作以各别地停止所述多个设备A,或者所有开关本体110可通过相应的金属丝300来进行操作以停止所有所述多个设备A。
[0130] 此外,在其中所述多个设备A不一对一地对应于所述多个开关本体110且设备A的数目大于开关本体110的数目而使得由所述多个设备A构成的任意一个群组与至少一个开关本体110电连接的结构中,开关本体110可通过相应的金属丝300来选择性地进行操作以各别地停止所述多个设备A或停止所述群组,且所有开关本体110可通过相应的金属丝300来进行操作以停止所有所述多个设备A。
[0131] 在停止设备A的操作的工艺之后,当通过工艺安排或工人的裁决而解除紧急停止情况时,可执行按压恢复开关140以断开开关本体110的工艺及从开关本体110向设备A输出恢复信号的工艺。此后,设备A可接收恢复信号并接着重新进行操作或转换成操作待机状态。
[0132] 根据示例性实施例,所述设备可在不另外装设开关单元的条件下在工作空间中的任意位置处快速停止。详细来说,连接到金属丝的所述一对开关单元可通过在工人可移动的所有位置(包括工人的移动路线)处拉动或推按围绕工作空间而装设的金属丝的直观操作来快速地且轻易地调控,以在所述工作空间内的所有位置处快速地停止所述设备。
[0133] 在工艺设备进行操作以制造例如半导体或显示元件的同时,即便工人的位置远离开关单元,所述工艺设备仍可通过拉动或推按与开关单元连接的金属丝来紧急停止。因此,可能不存在如现有技术一样工人必须一直在所述工人的身体上配备便携式开关的不便情况,且工艺设备可通过拉动或推按金属丝来快速地停止而无需执行其中工人移动到开关的装设位置的操作或者取出或找寻开关的操作。
[0134] 具体来说,由于无论工人是使用上肢还是下肢所述工人都能轻易地推按或拉动金属丝,因此所述工人可更有效地应对紧急情况。
[0135] 尽管已参照具体实施例阐述了紧急停止装置及方法,然而所述紧急停止装置及方法并非仅限于此。应注意,本发明的以上实施例中所公开的配置及方法可彼此组合或交叉应用且被实施为各种形式,且这些润饰可被视为落于本发明的实施例的范围内。因此,所属领域中的技术人员将易于理解,可对其作出各种润饰及改变,而此并不背离由随附权利要求所界定的本发明实施例的精神及范围。
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