一种传感器及其制造工艺 |
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| 申请号 | CN202311775481.9 | 申请日 | 2023-12-22 | 公开(公告)号 | CN117817458A | 公开(公告)日 | 2024-04-05 |
| 申请人 | 祝宁博; | 发明人 | 祝宁博; | ||||
| 摘要 | 本 发明 涉及 传感器 制造技术领域，更具体的说是一种传感器及其制造工艺，该工艺包括以下步骤：步骤一、对原料进行选择，并对选择的原料进行沉积 薄膜 处理；步骤二、对沉积薄膜处理完成的原料进行 光刻 处理；步骤三、对光刻处理处理完成的原料进行蚀刻处理；步骤四、对蚀刻处理完成的原料进行 离子注入 处理，完成晶片的制备；步骤五、将晶片安装到保护空腔内；步骤六、对晶片进行穿线处理；步骤七、对保护空腔的两端进行封堵处理，完成传感器的制造，所述该传感器的保护空腔上设置有圆孔，本方法可快速的加工出带孔的保护空腔，提升晶体穿线效率。 | ||||||
| 权利要求 | 1.一种传感器制造工艺，其特征在于：该工艺包括以下步骤： |
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| 说明书全文 | 一种传感器及其制造工艺技术领域[0001] 本发明涉及传感器制造技术领域，更具体的说是一种传感器及其制造工艺。 背景技术[0002] 传感器是能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求的检测装置，传感器的存在和发展，让物体有了触觉、味觉和嗅觉等感官，让物体变得活了起来，传感器是人类五官的延长，传感器具有微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化等特点，它是实现自动检测和自动控制的首要环节，而传感器就是将晶体安装到保护空腔内，但是现有的技术无法快速的加工出带孔的保护空腔，导致穿线效率低下。 发明内容[0003] 本发明的目的是提供一种传感器及其制造工艺，本方法可快速的加工出带孔的保护空腔，提升晶体穿线效率。 [0004] 本发明的目的通过以下技术方案来实现： [0005] 一种传感器制造工艺，该工艺包括以下步骤： [0006] 步骤一、对原料进行选择，并对选择的原料进行沉积薄膜处理； [0007] 步骤二、对沉积薄膜处理完成的原料进行光刻处理； [0008] 步骤三、对光刻处理处理完成的原料进行蚀刻处理； [0009] 步骤四、对蚀刻处理完成的原料进行离子注入处理，完成晶片的制备； [0010] 步骤五、将晶片安装到保护空腔内； [0011] 步骤六、对晶片进行穿线处理； [0012] 步骤七、对保护空腔的两端进行封堵处理，完成传感器的制造。 [0013] 所述一种传感器制造工艺，所述保护空腔是将空心圆管放置到加工装置内加工出来的。 [0014] 所述一种传感器制造工艺，所述加工装置对空心圆管的加工方法包括以下步骤： [0015] A、将空心圆管放置到两个托磨斜板上； [0016] B、启动两个伸缩杆I带动两个升降托板进行升降，从而改变两个打磨圆板的高度，让两个打磨圆板与空心圆管同轴心； [0017] C、推动两个联动方杆带动两个打磨圆板向空心圆管的内部移动，实现对空心圆管内壁的打磨处理； [0018] D、当两个打磨圆板对空心圆管内壁的打磨处理的同时，可让两个联动方杆进行转动，保证两个打磨圆板边转动边对空心圆管的内壁进行打磨处理； [0019] E、对打磨完成的空心圆管进行钻孔处理，即可完成保护空腔的制备。 [0020] 优选的，所述加工装置包括支撑桌面和固定连接在支撑桌面上的两个固托框，两个固托框上固定连接有两个托磨斜板，支撑桌面上固定连接两个限位滑腔，两个限位滑腔内均滑动连接有升降托板，两个限位滑腔内均固定连接有伸缩杆I，两个伸缩杆I分别与两个升降托板固定连接，两个升降托板上均转动连接有方孔齿轮，两个方孔齿轮上均滑动连接有联动方杆，两个联动方杆的内端均固定连接有打磨圆板。 [0022] 优选的，两个所述联动方杆上均转动连接有横移滑板，两个升降托板上均固定连接有伸缩杆II，两个横移滑板分别与两个伸缩杆II固定连接。 [0023] 优选的，所述支撑桌面上滑动连接有承托滑柱，承托滑柱上固定连接有支撑曲板，支撑桌面上转动连接有升降丝杠，升降丝杠与承托滑柱通过螺纹传动连接，支撑曲板上转动连接有两个轴承座，两个轴承座上均转动连接有接触轮，两个轴承座上均固定连接有减速电机II，两个减速电机II的输出轴分别与两个接触轮固定连接。 [0024] 优选的，两个所述轴承座上固定连接有传动蜗轮，支撑曲板上转动连接有传动蜗杆，传动蜗杆与两个传动蜗轮啮合传动连接。 [0025] 优选的，所述支撑曲板上固定连接有两个伸缩杆III，两个伸缩杆III上固定连接有减速电机III，减速电机III的输出轴上固定连接有钻头。 [0027] 下面结合附图和具体实施方法对本发明做进一步详细的说明。 [0028] 图1是一种传感器制造工艺的流程示意图； [0029] 图2是加工装置对空心圆管的加工方法的流程示意图； [0030] 图3是本发明加工装置的结构示意图； [0031] 图4是本发明加工装置的部分结构示意图； [0032] 图5是底部支撑固定实施例的结构示意图； [0033] 图6是对空心圆腔进行固定实施例的结构示意图； [0034] 图7是对空心圆腔进行固定实施例的具体结构示意图； [0035] 图8是对空心圆腔进行钻孔实施例的结构示意图； [0036] 图9是调整两个打磨圆板高度实施例的结构示意图； [0037] 图10是调整两个打磨圆板横向位置实施例的结构示意图。 具体实施方式[0038] 下面结合附图对本发明作进一步详细说明。 [0039] 下面结合附图1详细说明，一种传感器制造工艺，该工艺包括以下步骤： [0040] 步骤一、对原料进行选择，并对选择的原料进行沉积薄膜处理； [0041] 步骤二、对沉积薄膜处理完成的原料进行光刻处理； [0042] 步骤三、对光刻处理处理完成的原料进行蚀刻处理； [0043] 步骤四、对蚀刻处理完成的原料进行离子注入处理，完成晶片的制备； [0044] 步骤五、将晶片安装到保护空腔内； [0045] 步骤六、对晶片进行穿线处理； [0046] 步骤七、对保护空腔的两端进行封堵处理，完成传感器的制造。 [0047] 下面结合附图1详细说明，所述一种传感器制造工艺，所述保护空腔是将空心圆管放置到加工装置内加工出来的。 [0048] 下面结合附图2详细说明，所述一种传感器制造工艺，所述加工装置对空心圆管的加工方法包括以下步骤： [0049] A、将空心圆管放置到两个托磨斜板103上； [0050] B、启动两个伸缩杆I106带动两个升降托板105进行升降，从而改变两个打磨圆板109的高度，让两个打磨圆板109与空心圆管同轴心； [0051] C、推动两个联动方杆108带动两个打磨圆板109向空心圆管的内部移动，实现对空心圆管内壁的打磨处理； [0052] D、当两个打磨圆板109对空心圆管内壁的打磨处理的同时，可让两个联动方杆108进行转动，保证两个打磨圆板109边转动边对空心圆管的内壁进行打磨处理； [0053] E、对打磨完成的空心圆管进行钻孔处理，即可完成保护空腔的制备。 [0054] 根据说明书附图3‑5、9和10详细说明，所述加工装置包括支撑桌面101和通过焊接固定连接在支撑桌面101上的两个固托框102，两个固托框102上通过焊接固定连接有两个托磨斜板103，支撑桌面101上通过焊接固定连接两个限位滑腔104，两个限位滑腔104内均通过空腔滑动连接有升降托板105，两个限位滑腔104内均通过法兰板固定连接有伸缩杆I106，两个伸缩杆I106分别与两个升降托板105通过法兰板固定连接，两个升降托板105上均通过轴承孔转动连接有方孔齿轮107，两个方孔齿轮107上均通过方孔滑动连接有联动方杆108，两个联动方杆108的内端均通过法兰板固定连接有打磨圆板109。 [0055] 进一步的，支撑桌面101起到承载连接的作用，可为整个装置提供支撑固定的空间，实现将装置平稳的放置到地面上，而两个固托框102可为两个托磨斜板103提供固定的空间，可将需要加工的空心圆管放置到两个托磨斜板103之间，而且利用两个托磨斜板103还可实现对空心圆管的外表面进行打磨处理，两个限位滑腔104可为两个升降托板105提供滑动的空间，两个升降托板105可为两个方孔齿轮107提供转动的空间，并带动两个方孔齿轮107进行升降，启动两个伸缩杆I106后可分别带动两个升降托板105进行升降，从而改变两个方孔齿轮107的高度，而两个方孔齿轮107可为两个联动方杆108提供连接的空间，两个联动方杆108可在两个方孔齿轮107上进行随意的横向滑动，而两个方孔齿轮107还可带动两个联动方杆108进行转动，而两个联动方杆108可为两个打磨圆板109提供固定的空间，并且两个打磨圆板109还会随着两个联动方杆108进行横向的移动可转动，而两个联动方杆108和两个打磨圆板109是通过法兰板连接，两个打磨圆板109方便拆卸和更换，根据被加工空心圆管的直径，更换不同直径的两个打磨圆板109。 [0056] 根据需要加工空心圆管内径的大小更换不同的两个打磨圆板109，将需要加工的空心圆管放置到两个托磨斜板103之间，启动两个伸缩杆I106调整两个升降托板105的高度，保证两个打磨圆板109的轴心线与空心圆管的轴心线处于同一直线上，通过驱动构件带动两个方孔齿轮107进行转动，从而通过两个联动方杆108带动两个打磨圆板109进行转动，并利用两个联动方杆108带动两个打磨圆板109同时向内移动，边移动边转动的两个打磨圆板109将会移动到需要加工空心圆管的内部，实现对空心圆管内部的打磨处理，保证空心圆管的内部足够光滑，只有将晶片安装到光滑的内壁上，才能保证传感器的稳定性和准确性，之后对打磨完成的空心圆管进行钻孔处理，圆孔的作用是方便穿线，将多个晶片和电源连接在一起，保证多个晶片的正常运行。 [0057] 根据说明书附图3、9和10详细说明，两个所述升降托板105上均通过法兰板固定连接有减速电机I201，两个减速电机I201的输出轴上均通过键槽和卡簧配合固定连接有传动齿轮202，两个传动齿轮202分别与两个方孔齿轮107啮合传动连接。 [0058] 进一步的，启动两个减速电机I201后即可带动两个传动齿轮202进行转动，而转动的两个传动齿轮202将会分别带动两个方孔齿轮107进行转动，转动的两个方孔齿轮107将会通过两个联动方杆108带动两个打磨圆板109进行转动，实现对空心圆管内部的打磨。 [0059] 根据说明书附图3、9和10详细说明，两个所述联动方杆108上均通过轴承孔转动连接有横移滑板301，两个升降托板105上均通过法兰板固定连接有伸缩杆II302，两个横移滑板301分别与两个伸缩杆II302通过法兰板固定连接。 [0060] 进一步的，利用两个横移滑板301可带动两个联动方杆108进行横向的滑动，而当两个联动方杆108进行转动时也会在两个横移滑板301上进行转动，利用两个横移滑板301只能带动两个联动方杆108进行横向的滑动，而启动两个伸缩杆II302后即可带动两个横移滑板301向内移动，保证两个打磨圆板109能够进到空心圆管的内部。 [0061] 根据说明书附图3‑7详细说明，所述支撑桌面101上通过多个圆孔滑动连接有承托滑柱401，承托滑柱401上通过焊接固定连接有支撑曲板402，支撑桌面101上通过轴承孔转动连接有升降丝杠403，升降丝杠403与承托滑柱401通过螺纹传动连接，支撑曲板402上通过轴转动连接有两个轴承座404，两个轴承座404上均通过轴转动连接有接触轮405，两个轴承座404上均通过法兰板固定连接有减速电机II406，两个减速电机II406的输出轴分别与两个接触轮405通过键槽和卡簧配合固定连接。 [0062] 进一步的，承托滑柱401可为支撑曲板402提供滑动的空间，并还可带动支撑曲板402进行升降，转动升降丝杠403后可带动承托滑柱401进行升降，而支撑曲板402可为两个轴承座404提供转动的空间，而两个轴承座404可为两个接触轮405提供转动的空间，利用两个接触轮405可实现对需要加工空心圆管进行限位处理，根据空心圆管直径的大小，转动升降丝杠403调整两个接触轮405的高度，保证两个接触轮405能够与空心圆管的外壁接触，两个接触轮405还能带动需要加工空心圆管进行转动，从而让转动的空心圆管与两个托磨斜板103接触，实现对空心圆管的打磨处理，当两个接触轮405与空心圆管的轴心线平行时，实现对空心圆管的限位处理，而当两个接触轮405与空心圆管的轴心线垂直时，可让两个接触轮405进行转动，即可带动空心圆管在两个托磨斜板103之间进行转动，从而实现对空心圆管外端面的打磨处理，而启动两个减速电机II406即可带动两个接触轮405进行转动。 [0063] 根据说明书附图3、4、6和7详细说明，两个所述轴承座404上通过焊接固定连接有传动蜗轮501，支撑曲板402上通过凸板转动连接有传动蜗杆502，传动蜗杆502与两个传动蜗轮501啮合传动连接。 [0064] 进一步的，利用两个传动蜗轮501可带动两个轴承座404进行转动，从而改变两个接触轮405的方向，实现对空心圆管的限位处理或转动，而转动传动蜗杆502即可带动两个传动蜗轮501进行转动，实现两个接触轮405方向的改变，而蜗轮蜗杆传动连接有带有自锁功能，当两个轴承座404角度调整完毕后，就不会发生随意的转动，最终保证两个接触轮405不会进行随意的转动。 [0065] 根据说明书附图3、4、6和8详细说明，所述支撑曲板402上通过法兰板固定连接有两个伸缩杆III601，两个伸缩杆III601上通过法兰板固定连接有减速电机III602，减速电机III602的输出轴上通过键槽和卡簧配合固定连接有钻头603。 [0066] 进一步的，两个伸缩杆III601可为减速电机III602提供固定的空间，而启动两个伸缩杆III601后即可带动减速电机III602进行升降，从而改变钻头603的高度，启动减速电机III602后即可带动钻头603转动，当需要对打磨完成的空心圆管进行钻孔时，只需启动减速电机III602带动钻头603进行转动，再启动两个伸缩杆III601带动转动的钻头603向下移动，即可实现对空心圆管进行钻孔处理。 [0067] 所述一种传感器制造工艺制造出的传感器，该传感器的保护空腔上设置有圆孔。 [0068] 进一步的，圆孔是为穿线提供空间，晶体连接线穿过圆孔与电源线连接，保证晶体能够正常运行。 |
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