一种测量任意表面法向误差的激光测量装置与方法
专利汇可以提供一种测量任意表面法向误差的激光测量装置与方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 属于精密测量技术领域，涉及一种测量任意表面法向误差的激光测量装置与方法，装置包括：位移传递杠杆、反射镜、 激光器 及激光器 姿态 调整；其中位移传递杠杆由测头、 支架 、交叉 簧片 组成。本发明提供了一种适用于任意表面法向误差的激光测量装置与方法，既适用于反光曲面的精密测量，也适用于非反光的曲面精密测量。通过一种微位移转换杠杆，将测点 位置 的微位移量等比例转换成反射镜光斑的微位移量，通过光斑位置的变动来表征零件表面测点位置的变动。该装置的测量 精度 可达10nm， 分辨率 可达1nm，具有测量精度高、测量方便、成本低的优点，具有广阔的市场应用前景。，下面是一种测量任意表面法向误差的激光测量装置与方法专利的具体信息内容。
1.一种测量任意表面法向误差的激光测量装置，其特这在于，包括：微位移传递杠杆、固定座、反射镜、激光器及激光器姿态调整装置、数据采集与显示模块；其中微位移传递杠杆包括测头、簧片支架、交叉簧片；簧片支架通过交叉簧片固定于固定座上，交叉簧片夹角呈90度，簧片支架两端伸出臂间夹角呈90度；簧片支架一端点与测头通过螺纹连接，另一端点与反射镜通过胶粘连接固定；激光射于反光镜上，激光器分别与激光器姿态调整装置和数据采集与显示模块连接；
反射镜平面度小于0.5μm，表面粗糙度为λ/20～λ/5；
激光器具有温度误差补偿功能。
2.根据权利要求1所述的测量任意表面法向误差的激光测量装置，其特这在于，所述交叉簧片采用0.1mm的65Mn钢通过线切割加工工艺获得。
3.权利要求1或2所述的测量任意表面法向误差的激光测量装置的测量方法，其特征在于，包括如下步骤：
1)通过调整激光器的姿态，调整光斑到交叉簧片交线的距离等于测点到交叉簧片交线的距离；同时调整激光器的俯仰角和偏摆角，搜索接受反射光强的最大值，以调整激光入射方向与反射镜垂直；
2)调整测头的测量方向与零件工作面的法向一致；
3)调整完毕后将激光器锁紧；
4)通过数据采集与显示模块，计算出光斑与接收器距离的变动量，此值即为测点位置的相对变动量，测量过程中同时考虑对温度误差进行补偿。
一种测量任意表面法向误差的激光测量装置与方法
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具体实施方式
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