1、一种用于抛光晶片并确定某种抛光工序的终点的系统，其中 一个抛光垫被固定在一平台上，所述平台和所述抛光垫进行转动， 将晶片的一个表面支撑在所述抛光垫的一个抛光区域以便对该表面 进行抛光，所述抛光垫的至少一部分不用于抛光，所述系统包括：
抛光垫，其具有位于所述抛光垫的所述抛光区域中的光学窗 口；
光传感器，其位于所述光学窗口内，所述光传感器适于检测 所述晶片表面的光学特征，所述光传感器作用以输出相应于所述晶 片表面的所述光学特征的电信号；
电感耦合系统，其作用以将信号在转动过程中感应地从所述抛 光垫传输至一固定的接收机，所述电感耦合系统包括连接到所述抛 光垫上的第一变压器绕组，它与所述抛光垫一起转动；并包括位于 所述固定的接收机内的第二变压器绕组；以及将所述电信号从所述 光传感器输出到所述第一变压器绕组的装置。
2、如权利要求1所述的系统，其特征在于：所述光传感器提供 与所述晶片表面的光学特征成比例的恒流输出，所述电感耦合系统 还包括将所述光传感器的恒流输出转换成随时间变化的输入至所述 第一变压器绕组的电力的装置。
3、如权利要求1所述的系统，还包括：
光源，其位于所述抛光垫内，用于照明所述晶片表面，从而为 所述光传感器提供反射光，其特征在于，所述光传感器提供一相应 于来自所述晶片表面的反射光强度的输出。
4、如权利要求1所述的系统，其特征在于：所述光传感器偏离 所述抛光垫的中心，所述第一变压器绕组被连接在所述抛光垫的中 心，所述固定接收机相对于所述第一变压器绕组设置，使得所述第 二变压器绕组邻近于所述第一变压器绕组而可操作地被安装。
5、如权利要求1所述的系统，还包括：
集线器，其设置于所述抛光垫的中心，所述集线器内安置有第 一变压器绕组，其特征在于：所述固定接收机从所述集线器上伸出， 使得所述第二变压器绕组邻近于所述第一变压器绕组而可操作地被 安装。
6、一种抛光垫装置，用于对晶片表面进行抛光并收集及传输关 于所述晶片表面状况的数据，所述抛光垫装置包括：
抛光垫；
用于在晶片表面引导光束的装置，该装置位于所述抛光垫内；
用于检测从所述晶片表面反射的光并相应于所述反射光产生电 信号的装置，该装置用于检测位于所述抛光垫内的光；
用于相应于所述反射光处理电信号并相应于所述反射光产生随 时间变化的电信号的装置；
第一变压器绕组，其适于接收所述传送装置的随时间变化的电 信号输出。
7、如权利要求6所述的抛光垫装置，还包括：
第二变压器绕组，其毗邻所述第一变压器绕组而可操作地设 置，使得输入至所述第一变压器绕组的随时间变化的电信号在所述 第二变压器绕组中感应出一随时间变化的电信号，该电信号输出至 用于分析信号的装置以便确定所述晶片表面的状况。
8、如权利要求6所述的抛光垫装置，其特征在于：
所述用于在晶片表面引导光的装置包括一发光二极管(LED)；
所述用于检测反射光的装置包括一光电二极管，所述光电二极 管相应于所述被检测到的反射光的数量而产生电流；
所述用于处理电信号并产生随时间变化的电信号的装置包括一 个信号处理器，所述信号处理器适于相应于所述光电二极管的电流 输出而产生一处理后的电信号，并包括一传送装置，其适于相应于 所述处理后的信号而产生一随时间变化的电流。
9、如权利要求7所述的抛光垫装置，其特征在于：
所述用于在晶片表面引导光的装置包括一发光二极管；
所述用于检测反射光的装置包括一光电二极管，所述光电二极 管相应于所述被检测到的反射光的数量而产生电流；
所述用于处理电信号并产生随时间变化的电信号的装置包括一 个信号处理器，所述信号处理器适于相应于所述光电二极管的电流 输出而产生一处理后的电信号，并包括一传送装置，其适于相应于 所述处理后的信号而产生一随时间变化的电流。
10、如权利要求6所述的抛光垫装置，其特征在于：所述第一变 压器绕组位于所述抛光垫的中心附近，并被紧固至所述抛光垫上， 使得当所述抛光垫旋转时，所述第一变压器绕组随着所述抛光垫而 转动。
11、如权利要求7所述的抛光垫装置，其特征在于：所述第一变 压器绕组位于所述抛光垫的中心附近，并被紧固到所述抛光垫上， 使得当所述抛光垫旋转时，所述第一变压器绕组随着所述抛光垫而 转动，所述第二变压器绕组伸出所述第一变压器之上。
12、如权利要求10所述的抛光垫装置，其特征在于：在一个集 线器中设置有用于相应于反射光处理电信号并产生随时间变化的电 信号的装置以及所述第一变压器绕组，所述集线器固定于所述抛光 垫的中心，一第二变压器绕组悬挂于所述集线器附近。
13、如权利要求11所述的抛光垫装置，其特征在于：所述相应 于反射光处理电信号并产生随时间变化的电信号的装置以及所述第 一变压器绕组位于一个集线器之中，所述集线器被固定于所述抛光 垫的中心，所述第二变压器悬挂于所述集线器附近。
14、如权利要求6所述的抛光垫装置，还包括一被固定到所述抛 光垫上的第二电源变压器绕组；一被设置在所述第一电源变压器附 近的初级电源变压器绕组；以及将电力从所述第二电源变压器绕组 输出至所述用于引导光的装置的装置。
15、如权利要求7所述的抛光垫装置，还包括一被固定到所述抛 光垫上的第二电源变压器绕组；一被设置在所述第一电源变压器附 近的初级电源变压器绕组；以及将电力从所述第二电源变压器绕组 输出至发光二极管的装置。
16、一种抛光垫装置，其用于对晶片表面进行抛光并收集及传 输关于所述晶片表面状况的数据，所述抛光垫装置包括：
一抛光垫；
用于在所述晶片表面引导光的装置，所述装置位于所述抛光垫 内；
用于检测来自所述晶片表面的反射光并相应于所述反射光产生 电信号的装置，所述用于检测光的装置位于所述抛光垫内；
相应于所述反射光处理所述电信号并产生一相应的处理后信号 的装置；
一传送装置，其相应于所述处理后信号而产生一随时间变化的 电信号；
第一变压器绕组，其适于接收所述传送装置输出的随时间变化 的电信号。
17、如权利要求16所示的抛光垫装置，还包括：
一第二变压器绕组，其毗邻所述第一变压器绕组而可操作地设 置，使得输入至所述第一变压器绕组的随时间变化的电信号在所述 第二变压器绕组中感应出一随时间变化的电信号，该电信号输出至 用于分析信号的装置以便确定所述晶片表面的状况。
18、一种用于抛光晶片并确定某种抛光工序的终点的系统，其中 一个抛光垫被固定在一平台上，所述平台和所述抛光垫进行转动， 将晶片的一个表面支撑在所述抛光垫的一个抛光区域以便对该表面 进行抛光，所述抛光垫的至少一部分不用于抛光，所述系统包括：
抛光垫，其具有位于所述抛光垫的所述抛光区域中的光学窗 口；
光传感器，其位于所述光学窗口内，所述光传感器适于检测所 述晶片表面的光学特征，所述光传感器作用以输出相应于所述晶片 表面的所述光学特征的电信号；
光学耦合系统，其作用以将信号在转动过程中通过光从所述抛 光垫传输至一固定的接收机，所述光学耦合系统包括连接到所述抛 光垫上的一发光二极管，它与所述抛光垫一起转动；并包括一检测 装置，其作用以将从所述发光二极管输出的光信号转换成一代表所 述晶片表面的光学特征的电信号，所述检测装置位于所述固定接收 机中；还包括将所述电信号从所述光传感器输出到所述发光二极管 的装置。
19、如权利要求18所述的系统，其特征在于：所述光传感器提 供与所述晶片表面的光学特征相对应的恒流输出，所述光学耦合系 统还包括将所述光传感器的恒流输出转换成随时间变化的输入至所 述发光二极管的电输入的装置。
20、如权利要求18所述的系统，还包括：
光源，其位于所述抛光垫中用于对所述晶片表面进行照明，以 便提供反射光给所述光传感器，其特征在于所述光传感器相应于来 自所述晶片表面的反射光的强度而提供一个输出。
21、如权利要求18所述的系统，其特征在于：所述光传感器偏 离所述抛光垫的中心而设置，所述发光二极管被固定在所述抛光垫 的中心，所述固定接收机相对于所述发光二极管而设置，使得所述 检测装置可操作地位于所述发光二极管的附近。
22、如权利要求18所述的系统，还包括：
集线器，其设置于所述抛光垫的中心，所述集线器内安置有发 光二极管，其特征在于：所述固定接收机从所述集线器上伸出，使 得所述检测装置邻近于所述发光二极管而可操作地被安装。
23、一种抛光垫装置，其用于对晶片表面进行抛光并收集及传 输关于所述晶片表面状况的数据，所述抛光垫装置包括：
一抛光垫；
用于在晶片表面引导光的装置，所述装置位于所述抛光垫内；
用于检测来自所述晶片表面的反射光并相应于所述反射光产生 电信号的装置，所述用于检测光的装置位于所述抛光垫内；
用于相应于所述反射光处理所述电信号并产生一相应于所述反 射光的随时间变化的电信号的装置；
一发光二极管，其适于接收所述传送装置输出的随时间变化的 电信号并产生一相应的光输出。
24、如权利要求23所述的抛光垫装置，还包括：
一光探测器，其可操作地位于所述发光二极管附近，使得输入 至所述发光二极管的随时间变化的电信号产生一随时间变化的输入 至所述光探测器的光信号，该光探测器又产生一随时间变化的电信 号，以输出至用于分析所述信号的装置中，从而确定所述晶片表面 的状况。
25、如权利要求23所述的抛光垫装置，其特征在于：
所述用于在晶片表面引导光的装置包括一发光二极管(LED)；
所述用于检测反射光的装置包括一光电二极管，所述光电二极 管相应于所述被检测到的反射光的数量而产生电流；
所述用于处理电信号并产生随时间变化的电信号的装置包括一 个信号处理器，所述信号处理器适于相应于所述光电二极管的电流 输出而产生一处理后的电信号，并包括一传送装置，其适于相应于 所述处理后的信号而产生一随时间变化的电流。
26、如权利要求24所述的抛光垫装置，其特征在于：
所述用于检测晶片表面的光的装置包括一发光二极管；
所述检测反射光的装置包括一光电二极管，所述光电二极管相 应于所述被检测的反射光的数量而产生电流；
所述用于处理电信号并产生随时间变化的电信号的装置包括一 信号处理器，所述信号处理器适于相应于所述光电二极管的电流输 出而产生一处理后的电信号，并包括一传送装置，其适于相应于所 述处理后的信号而产生一随时间变化的电流。
27、如权利要求23所述的抛光垫装置，其特征在于：所述发光 二极管位于所述抛光垫的中心的附近，并被连接到所述抛光垫上， 使得当所述抛光垫旋转时，所述发光二极管随着所述抛光垫一起转 动。
28、如权利要求24所述的抛光垫装置，其特征在于：所述发光 二极管位于所述抛光垫中心附近，并被连接至所述抛光垫上，使得 当所述抛光垫旋转时，所述发光二极管随着所述抛光垫一起转动， 所述光电二极管伸出于所述发光二极管之上。
29、如权利要求27所述的抛光垫装置，其特征在于：在一个集 线器中设置有相应于所述反射光处理电信号并产生随时间变化的电 信号的装置以及所述发光二极管，所述集线器固定于所述抛光垫的 中心，所述光电二极管悬挂在所述集线器附近。
30、如权利要求28所述的抛光垫装置，其特征在于：所述相应 于反射光处理电信号并产生随时间变化的电信号的装置以及所述发 光二极管位于一个集线器之中，所述集线器被固定于所述抛光垫的 中心，所述光电二极管悬挂于所述集线器的附近。
31、如权利要求23所述的抛光垫装置，还包括一被固定到所述 抛光垫上的第二电源变压器绕组；一被设置在所述第一电源变压器 附近的初级电源变压器绕组；以及用于将电力从所述第二电源变压 器绕组输出至用于引导光的装置的装置。
32、如权利要求24所述的抛光垫装置，还包括一被固定到所述 抛光垫上的第二电源变压器绕组；一被设置在所述第一电源变压器 附近的初级电源变压器绕组；以及用于将电力从所述第二电源变压 器绕组输出至发光二极管的装置。
33、一种抛光垫装置，其用于对晶片表面进行抛光并收集及传 输关于所述晶片表面状况的数据，所述抛光垫装置包括：
一抛光垫；
用于在晶片表面引导光的装置，所述装置位于所述抛光垫内；
用于检测来自所述晶片表面的反射光并相应于所述反射光产生 电信号的装置，所述用于检测光的装置位于所述抛光垫内；
相应于所述反射光处理所述电信号并产生一相应的处理后电信 号的装置；
一传送装置，其用于产生相应于所述处理后信号的随时间变化 的电信号；
一发光二极管，其适于接收所述传送装置输出的随时间变化的 电信号并产生一随时间变化的光信号。
34、如权利要求33所述的抛光垫装置，还包括：
可操作地毗邻所述发光二极管设置的光电二极管，使得所述发 光二极管输出的随时间变化的光信号被所述光电二极管检测，该光 电二极管又产生一随时间变化的电信号，该电信号输出至一用于分 析所述电信号的装置中，以便确定所述晶片表面的状况。
35、一种在对工件表面进行抛光操作时所使用的抛光垫，其特 征在于：在进行抛光操作期间，位于所述抛光垫内的光学装置检测 所述表面的光学特征。
36、根据权利要求35所述抛光垫，其特征在于：所述光学装置 还包括产生光的光源。
37、根据权利要求36所述抛光垫，其特征在于：所述光源是发 光二极管。
38、根据权利要求36所述抛光垫，其特征在于：所述光源是固 态激光。
39、根据权利要求36所述抛光垫，其特征在于：所述光源的朝 向被设置得对工件表面进行照明。
40、根据权利要求36所述抛光垫，其特征在于：所述光学装置 还包括一反射表面，该反射表面的朝向被设置得将所述光源产生的 光反射到工件表面。
41、根据权利要求39或40所述抛光垫，其特征在于：所述光学 装置还包括检测装置，用于接收工件表面的反射光并产生表示反射 光强度的电信号。
42、根据权利要求41所述抛光垫，其特征在于还包括：
中央开口；
所述抛光垫内的信号传输装置，其用于将所述电信号从所述光 学装置传输到所述中央开口。
43、根据权利要求42所述抛光垫，其特征在于：所述信号传输 装置还包括细长的弹性电路板。
44、根据权利要求42所述抛光垫，其特征在于还包括：
位于所述中央开口内的一可拆卸的集线器，以及电信号连接装 置，其在机械上适于可拆卸地接收所述信号传输装置，从而使电信 号进入集线器；
与所述电信号连接装置相连的信号处理装置，其用于接收电信 号，并响应于所述电信号生成一代表光学特性的处理后信号；
与所述信号处理装置相连的传送装置，用于传送该处理后信 号。
45、根据权利要求44所述抛光垫，其特征在于：所述传送装置 还包括用于发射表示处理后信号的无线电波的装置。
46、根据权利要求44所述抛光垫，其特征在于：所述传送装置 还包括用于发射表示处理后信号的声波的装置。
47、根据权利要求44所述抛光垫，其特征在于：所述传送装置 还包括用于发射表示处理后信号的光波的装置。
48、根据权利要求44所述抛光垫，其特征在于：所述传送装置 还包括用于产生表示处理后信号的可变磁场的装置。
49、根据权利要求35所述抛光垫，其特征在于还包括：
一中央开口；
从所述中央开口延伸到所述光学装置的电源线，其用于向所述 光学装置供电；
位于所述抛光垫的所述中央开口内的可拆卸的集线器，所述可 拆卸的集线器包括：
电力接收机，其响应于外加能量而发电；
在机械上适于可拆卸地接收所述电源线的电力连接装置，其用 于将电力接收机产生的电力施加到电源线上。
50、根据权利要求49所述抛光垫，其特征在于：所述电力接收 机包括响应于外加光线而发电的太阳能电池。
51、根据权利要求49所述抛光垫，其特征在于：所述电力接收 机包括感应器，其响应于穿过所述感应器的外加磁场的变化而发 电。
52、根据权利要求35所述抛光垫，其特征在于还包括：
一中央开口；
从所述抛光垫的所述中央开口延伸到所述光学装置的电源线， 用于向所述光学装置供电；
位于所述抛光垫的所述中央开口内的可拆卸的集线器，所述可 拆卸的集线器包括：
用于发电的电池；
在机械上适于可拆卸地接收所述电源线的电力连接装置，其用 于将所述电池产生的电力施加到电源线上。