专利汇可以提供基于光电效应的微激光陀螺专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种基于 光电效应 的微激光陀螺,属于利用科氏效应的制导或控制装置领域。该机构由结构层、 支撑 结构层的基底、 光源 和光敏 电阻 构成。结构层和基底通过微装配连接在一起,外界 角 速度 输入使结构层与基底发生相对运动,结构层上的圆柱绕基底的中心立柱转动,统计光敏电阻接收到来自光源的单色光 信号 的次数以得到运动物体的 角位移 。该发明的有益效果是:1)直接测量运动物体的角位移,避免积分,有利于系统 精度 的提高;2)结构不需一直处于振动状态,有效的解决了结构疲劳的问题,提高系统的使用寿命;3)采用 数字信号 输出,有利于信号的检测;4)受外界环境比如 温度 ,气压等变化的影响很小。,下面是基于光电效应的微激光陀螺专利的具体信息内容。
1.一种基于光电效应的微激光陀螺,其特征在于:包括基底(1)、结构层(2)、光源(3)和光敏电阻(4);基底(1)和结构层(2)材料均为半导体材料,光源(3)为激光器,光敏电阻(4)材料为可以制作光敏电阻的材料;所述结构层(2)包括圆盘(11)和沿圆盘(11)周向均匀分布的若干个圆柱(5),所述圆盘(11)具有中心孔(6),所有圆柱(5)的底面直径d相同,相邻圆柱(5)中心之间的周向间隙S一致;为避免光的衍射现象发生,周向间隙S须满足:S>λ,λ为激光器所发射激光的波长;同时周向间隙S与圆盘(11)的半径R以及圆柱(5)的底面直径d之间的关系须满足:以保证该光电陀螺的精度;对应结构层(2)上的中心孔(6)的位置,基底(1)上布有中心立柱(9),中心孔(6)与中心立柱(9)通过间隙配合装在一起,置于台阶(10)上以支撑整个结构层(2);光源(3)与中心立柱(9)键合在一起,中心立柱(9)的高度不小于圆盘(11)的厚度,同时光源(3)的最高点低于圆柱(5)的最高点,使得圆柱(5)能挡住光源(3)发射的光;在基底(1)上布有一个圆孔(8),圆孔(8)圆心与基底(1)中心的距离大于圆盘(11)的半径R;光敏电阻(4)通过圆孔(8)与基底(1)上的装配台阶(12)装配在一起,同时,光敏电阻(4)的最高点不低于光源(3)的最高点,以使光敏电阻(4)能接收到光源(3)发射的光;光敏电阻(4)上下两端分布有光敏电极(7)。
2.一种如权利要求1所述的基于光电效应的微激光陀螺,其特征在于:所述光源(3)的激光器为垂直腔面发射半导体激光器。
3.一种如权利要求2所述的基于光电效应的微激光陀螺,其特征在于:所述垂直腔面发射半导体激光器所发射激光的波长λ满足:650nm≤λ≤1300nm。
本发明涉及一种采用微机电系统(MEMS)技术实现的基于光电效应的微激光陀螺,属于制导或控制装置领域。
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