专利汇可以提供光学薄膜X射线反射率、荧光强度及光谱数据处理方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及一种光学 薄膜 X射线 反射率、 荧光 强度及 光谱 数据处理 方法,包括以下步骤:1) 数据采集 模 块 采集光学薄膜参数,并将其传输到数据调整模块;2)数据调整模块对接收到的数据进行调整后,传输给数据处理模块;3)数据处理模块根据光学薄膜参数数据计算反射率、荧光强度及荧光谱,并将计算结果发送给数据显示模块;4)数据显示模块将计算结果进行显示。与 现有技术 相比,本发明具有实现成本低、可靠性高、操作简单、直观性好、仿真性高等优点。,下面是光学薄膜X射线反射率、荧光强度及光谱数据处理方法专利的具体信息内容。
1.一种光学薄膜X射线反射率、荧光强度及光谱数据处理方法,其特征在于,包括以下步骤:
1)数据采集模块采集光学薄膜参数,并将其传输到数据调整模块;
2)数据调整模块对接收到的数据进行调整后,传输给数据处理模块;
3)数据处理模块根据光学薄膜参数数据计算反射率、荧光强度及荧光谱,并将计算结果发送给数据显示模块;
4)数据显示模块将计算结果进行显示。
2.根据权利要求1所述的一种光学薄膜X射线反射率、荧光强度及光谱数据处理方法,其特征在于,所述的数据处理模块根据光学薄膜参数数据计算反射率、荧光强度及荧光谱具体包括:
31)单层膜以及多层膜的反射率计算;
32)膜层中X元素的荧光计算。
3.根据权利要求2所述的一种光学薄膜X射线反射率、荧光强度及光谱数据处理方法,其特征在于,所述的单层膜以及多层膜的反射率计算具体如下:
首先考虑平行光入射单层膜,假定在折射率为n2的光学基板上有一层厚度均匀的光学薄膜,膜折射率为n1,膜的几何厚度为d1,入射介质的折射率为n0,当一束波长为λ的X射线以θ0照射到薄膜上表面时,发生折射与反射,其中折射角为θ1,反射角θ′0;光束在薄膜上下两表面多次反射,因而产生一组反射光束1、2、3...和一组透射光束1′、2′、
3′...,如果入射光的振幅为E0,则各反射光束的振幅为
其中 分别表示在两个界面上的反射系数和透射系数,由斯托克
斯定律可知,
式(1)中 为膜的位相厚度,两相邻光束间的位相差为2δ1;反射光的
合振幅ER为:
故单层膜的反射系数r为
式中的 可由菲涅尔公式求得;
单层膜的两个界面用一个等效界面来代替,膜的折射率为nk,入射介质的折射率为nk-1,出射介质的折射率为nk+1,膜的位相厚度是δk,k+1,设单层膜上界面的反射系数为rk,下界面的反射系数为rk+1,于是这个单层膜的等效界面的反射系数为rk,k+1
将单层膜的反射率计算推广到多层膜,设膜层数为N,入射介质为第O层,基底为第N+1层,首先从基底膜层开始,基底膜层r=0,将膜层的两个界面等效成一个界面,然后在将这个等效界面与上一个界面等效为一个界面,依次向上递推到膜系的顶层第一个界面,由迭代运算计算各层的反射率
同理,可计算各层的透射率
其中rk和tk可由菲涅尔公式求得,设界面上下两层的折射率为nk-1和nk,入射角为θk-1,折射角为θk,入射光振幅Ek-1,反射光和折射光的振幅分别为E′k-1和Ek;由菲涅尔公式计算反射系数和透射系数rk和tk
当多层膜界面非理想光滑,而是渐变的,假设粗糙度为σ,则:
4.根据权利要求3所述的一种光学薄膜X射线反射率、荧光强度及光谱数据处理方法,其特征在于,所述的膜层中X元素的荧光计算具体过程如下:
平面电磁波入射多层膜第k-1层与第k层界面,则在距界面层上z厚度的某一点处电场强度由入射电场强度 和出射电场强度 合成, 和 分别表示为
其中, 和 分别表示第k层表面电场强度振幅,第N+1层基底的电场强度振幅
则z处的电场强度强度
根据X射线荧光光谱的基本参数法计算x元素产生的荧光强度
其中,Ix(θ)为荧光探测器接收到的荧光强度;Fx(θ)为样品中的荧光产额;G(θ)为几何因子,εdet代表探测器的采集效率,Tair表示荧光在空气中的穿透率,W⊥表示探测光斑的纵向长度,g(θ,t)为入射光强度分布函数, 为探测光斑横向宽度的矩形函数;
表示荧光产生截面,τx(E0)代表光电散射截面; 代表平均荧光产额;g代表各荧光线的相对发射率;f为吸收边的跳高;(μ/ρ)k,E为X元素的质量衰减因子;为荧光探测器与样品表面所成夹角;Ck,c(z)表示X元素在多层膜中的浓度分布;Ik(θ,z)表示膜层中的电场强度分布情况;
以上情况均认为入射光为绝对平行光,实际实验中入射光为非平行光,设其发散度为a时,
其中,I(a)为入射x射线的光强分布函数。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
---|---|---|
一种用于纳米颗粒的聚焦磁场调控系统 | 2020-06-03 | 468 |
光学薄膜X射线反射率、荧光强度及光谱数据处理方法 | 2020-06-12 | 216 |
可压流体跨音速流动过程中的液滴雾化三维数值模拟方法 | 2020-05-24 | 776 |
双重复用激光光谱火星矿物成分分析系统及方法 | 2020-05-31 | 298 |
一种高性能蜂窝陶瓷用高岭土的制备方法 | 2020-05-14 | 432 |
混凝土搅拌车搅拌筒内搅和料流固两相流的建模方法 | 2020-05-17 | 10 |
一种分时成像偏振图像的偏振角度误差校正方法 | 2020-05-11 | 146 |
一种基于迭代学习的机器鱼速度轨迹跟踪方法 | 2020-06-02 | 169 |
一种基于增强现实的喷涂模拟方法及模拟系统 | 2020-06-13 | 584 |
基于智能移动终端的偏振光自动测量装置 | 2020-05-14 | 42 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。