专利汇可以提供一种使用伪随机序列信号作为电压应力的NBTI效应的测试方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种使用伪随机序列 信号 作为 电压 应 力 的NBTI效应的测试方法,包括使用FPGA产生伪随机序列信号,在经过电压调整后施加到PMOS器件的栅极,器件的源极、漏极及衬底均接地,将器件置于60℃~200℃的高温环境下,最后使用 半导体 参数测试仪适时介入测试器件相关参数的动态 加速 试验测试方法。本发明能够更加准确的测试PMOS器件的NBTI效应。,下面是一种使用伪随机序列信号作为电压应力的NBTI效应的测试方法专利的具体信息内容。
1.一种使用伪随机序列信号作为电压应力的NBTI效应的测试方法,其特征在于:包含使用一个PMOS器件作为负偏置温度不稳定性测试器件,在60℃~200℃的高温环境下施加应力,在器件的栅极施加伪随机序列信号作为栅极应力,器件的源极、漏极及衬底均接地,使用半导体参数测试仪适时介入测试器件相关参数。
2.根据权利要求1所述的一种使用伪随机序列信号作为电压应力的NBTI效应的测试方法,其特征在于:所述伪随机序列信号是由FPGA产生的,该信号经过电压调整后在加到PMOS器件的栅极。
3.根据权利要求1所述的一种使用伪随机序列信号作为电压应力的NBTI效应的测试方法,其特征在于:该测试为动态应力的加速测试实验。
方法
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