专利汇可以提供等离子体刻蚀炉专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种 等离子体 刻蚀 炉,包括圆柱状的炉体;所述炉体的一端的上侧开放有气体进入通道;所述炉体下侧开放有 真空 排气通道;所述炉体中固定有 晶圆 放置台;所述晶圆放置台为倾斜状,由炉体的气体进入通道一端到炉体的另一端,晶圆放置台的 位置 越来越高;晶圆放置于晶圆放置台之上;晶圆垂直于晶圆放置台的上表面,且面向圆柱状炉体的地面;炉体周围包围有两个相对的弧状射频 电极 ;射频发生器连接于其中一个射频电极之上。本发明通过改变晶圆放置台的 角 度,使得当晶圆放置台上放置有多个晶圆的时候,位于后方的晶圆也可以均匀 接触 产生等离子体的气体,使得反应更加均匀。本发明尤其适用于炉体较长的等离子体反应炉。,下面是等离子体刻蚀炉专利的具体信息内容。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
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