专利汇可以提供大面积大气等离子体均匀放电电极专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且大面积大气 等离子体 均匀放电 电极 ,本 发明 属于光学加工领域。它是为了解决现有大面积大气等离子体放电产生的交变 电流 在趋近电极边缘处有电流 密度 增大的趋肤效应,导致大面积电极放电不均匀,而严重影响了大气等离子体加工技术的 精度 和效率的问题。它的形状为扁片形;其放电面上设置有多个凸起形微电极,所有凸起形微电极的形状尺寸相同,所有凸起形微电极与相邻凸起形微电极的相互之间的距离都相等,所有凸起形微电极的放电表面都与其相对的被加工面的距离相等。本发明能实现大气等离子体大面积均匀放电,避免了大气环境下连续表面电极激发等离子体因趋肤效应和边缘放电效应导致放电不均匀现象,从而有效提高大气等离子体加工精度和效率。,下面是大面积大气等离子体均匀放电电极专利的具体信息内容。
1.大面积大气等离子体均匀放电电极,其特征在于它的形状为扁片形;其放电面(1)上设置有多个凸起形微电极(2),所有凸起形微电极(2)的形状尺寸相同,所有凸起形微电极(2)与相邻凸起形微电极(2)的相互之间的距离都相等,所有凸起形微电极(2)的放电表面与其相对的被加工面的距离都相等;在放电面(1)的外表面上用微弧氧化技术或等离子体喷涂技术覆盖一层绝缘介质层。
2.根据权利要求1所述的大面积大气等离子体均匀放电电极,其特征在于所述凸起形微电极(2)为贯通的长条形凸起。
3.根据权利要求2所述的大面积大气等离子体均匀放电电极,其特征在于所述凸起形微电极(2)的截断面的形状为矩形;凸起形微电极(2)的宽度尺寸与其它们相邻之间的间距尺寸的占空比为0.5 ~3,凸起形微电极(2)的高度为0.2 mm ~3 mm。
4.根据权利要求2所述的大面积大气等离子体均匀放电电极,其特征在于所述凸起形微电极(2)的截断面的形状为三角形;凸起形微电极(2)的底部宽度尺寸与其它们相邻之间的间距尺寸的占空比为0.5 ~3,凸起形微电极(2)的高度为0.2 mm ~3 mm。
5.根据权利要求2所述的大面积大气等离子体均匀放电电极,其特征在于所述凸起形微电极(2)的截断面的形状为圆弧形;凸起形微电极(2)的底部宽度尺寸与其它们相邻之间的间距尺寸的占空比为0.5 ~3,凸起形微电极(2)的高度为0.2 mm ~3 mm。
6. 根据权利要求1所述的大面积大气等离子体均匀放电电极,其特征在于所述凸起形微电极(2)为金字塔形,凸起形微电极(2)的底部尺寸与其它们相邻之间的间距尺寸的占空比为0.5 ~3,凸起形微电极(2)的高度为0.2 mm ~3 mm。
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