微波等离子体反应腔
专利汇可以提供微波等离子体反应腔专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 涉及 微波 等离子体 反应腔，属于 微波等离子 体激发技术领域，包括：空心圆柱形主腔体、空心圆柱形过渡腔、渐变 波导 、 石英 玻璃片和拉杆；该主腔体前端与该过渡腔相连通，该过渡腔前端与该渐变波导相连，在渐变波导与过渡腔之间，放置石英玻璃片，该拉杆从主腔体后端插入主腔体内，用于调节主腔体的长度。本发明可在高气压下不同 频率 的微波输入下，获得空气等离子体；该腔体耗能低、微波转换效率高。，下面是微波等离子体反应腔专利的具体信息内容。
1.一种微波等离子体反应腔，其特征在于，该反应腔包括：空心圆柱形主腔体、空心圆柱形过渡腔、圆台渐变波导、石英玻璃片和拉杆；该空心圆柱形主腔体内径在150mm±5％的范围内，壁厚6mm以上，腔体长度不小于248mm；该空心圆柱形过渡腔内径在160mm±5％的范围内，长度为85～90mm；该圆台渐变波导内径逐渐由160mm±5％递减为120mm±5％；
该圆台的长度不小于100mm；该石英玻璃片的直径为170mm左右，厚度在8mm以上；该主腔体前端与该空心圆柱形过渡腔相连通，该空心圆柱形过渡腔前端与该圆台渐变波导相连，在圆台渐变波导与空心圆柱形过渡腔之间，放置石英玻璃片，该拉杆从主腔体后端插入主腔体内，用于调节主腔体的长度。
2.如权利要求1所述的反应腔，其特征在于，还包括：用于密封固定该主腔体两端的上、下法兰；在该上法兰处设置了两个进气孔和在该下法兰处设置了两个出气孔。
3.如权利要求1所述的反应腔，其特征在于，还包括：在主腔体的壁上开有观察孔。
微波等离子体反应腔
技术领域
背景技术
较大，带电粒子密度较高，在高气压环境下(>10Pa)相对均匀，有很大的应用拓展空间。
本类似。在较低气压条件下(<10Pa)，由于微波等离子体激发较易，即便反应腔转换效率较低，耗能情况也不明显，因此普通的微波反应腔可以得到有效应用。但在高气压条件下
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(>10Pa)，气体激发所需电场强度较高，普通的反应腔由于微波电场形成效率低，需要消耗很高的能量才能形成等离子体，经济性差。而相对耗能较低的微波等离子体炬方法，获得的高气压下的等离子体往往为火焰状，体积较小，应用范围有限。因此，研制一种高效率、低耗能、能在高气压下获得较多体积等离子体的微波反应腔，无疑具有重要的学术和应用意义。
发明内容
具体实施方式
6与过渡腔8之间，放置石英玻璃片7，该拉杆4从主腔体后端插入主腔体内，用于改变主腔体内的容积。在主腔体1的壁上开有四个对称的观察孔2。另外，在上下法兰处各设置了两个进(出)气孔。
4和密封盖5，支撑可用于调节的圆盘天线3。工作气体的进出可通过上下法兰的气嘴完成。
在主腔体上，安置有四个对称的观察孔，用于观察腔内等离子体的现象，观察孔用玻璃片密封。如微波功率源传输的微波频率在2.45GHz，则需调节腔体长度在250mm左右，若频率有一定偏差，但小于50MHz，腔体长度的范围一般在230～270mm间，具体长度需根据频率进行调节。腔体长度调节合适后，加入相对普通反应腔较小的微波功率，即可激发等离子体。
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