用于电子回旋共振等离子体源的谐振腔体装置
专利汇可以提供用于电子回旋共振等离子体源的谐振腔体装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型涉及一种用于 电子 回旋共振 等离子体 源的 谐振腔 体装置，该装置包括：同轴 波导 、介质窗，其中，同轴波导200采用圆波 导管 和锥形波导管组成的一体结构，该同轴波导下方固定有 法兰 盘700，法兰盘中间开有圆形窗口，该窗口外侧开有密封槽903，密封槽中设有 密封圈 ，密封圈上固定有介质窗902，介质窗和法兰盘内壁之间设有固定 橡胶 圈901，介质窗上设有无磁托盘600，该无磁托盘与同轴波导内导体502之间通过扼流圈800连接。法兰盘与同轴波导通过 螺纹 连接，并与工艺室相连。本实用新型具有 微波 电场 分布均匀、腔体加工尺寸大，拆卸维修方便的优点，可作为 电子回旋共振 等离子体设备的部件。，下面是用于电子回旋共振等离子体源的谐振腔体装置专利的具体信息内容。
1.一种用于电子回旋共振等离子体源的谐振腔体装置，包括同轴波导、介质窗、法兰盘，其特征在于： 同轴波导(200)是由上圆波导(300)、锥形波导(500)和下圆波导管(400)三段波导管组成； 法兰盘(700)中间开有圆形窗口，法兰盘上固定有介质窗(902)，该法兰盘固定在同轴波导下方。
2. 根据权利要求1所述的谐振腔体装置，其特征在于介质窗上设有无磁托 盘（600)，该无磁托盘与同轴波导内导体（502)之间通过扼流圈（800)连接。
3. 根据权利要求1所述的谐振腔体装置，其特征在于该法兰盘中间圆形窗 口的外侧开有密封槽（903)，该密封槽中设有密封圈，介质窗（902)放置在密 封槽上方，介质窗和法兰盘内壁之间设有固定橡胶圈（901)。
4. 根据权利要求1所述的谐振腔体装置，其特征在于法兰盘的上外缘与同 轴波导的外导体（501)的下外缘通过螺纹连接。
5. 根据权利要求1所述的谐振腔体装置，其特征在于无磁托盘（600)上设 有永磁磁铁（卯5)。
6. 根据权利要求1所述的谐振腔体装置，其特征在于锥形波导（500)的角 度为45°。
7. 根据权利要求1所述的谐振腔体装置，其特征在于扼流圈（800)为、' 形圆环，该圆环横边（401)和竖边（402)的边长之和为微波波长的四分之一， 其竖边底部固定在无磁托盘（600)上。
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