专利汇可以提供热丝辅助微波电子回旋共振化学气相沉积方法及装置专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且热丝辅助 微波 电子 回旋共振 化学气相沉积 方法及装置,属微波低温 等离子体 领域。本 发明 方法包括利用 电子回旋共振 系统中的微波源、 磁场 线圈在 谐振腔 内产生电子回旋共振的等离子体,特征在于,在谐振腔出口与沉积室的样片台之间,增加对等离子体产生热 辐射 的热丝单元,促使等离子体中的气体更充分分解,且环位于等离子体之外,不会阻碍 薄膜 沉积。装置特征:在谐振腔10出口与沉积室11内的样片台12之间设置促使气体充分分解的热丝单元,该热丝单元由置于沉积室11的热丝环15,固定热丝环15的夹持 电极 16, 真空 封装电极17及置于沉积室11外的热丝电源18组成,沉积室11内的等离子体23从热丝环15中穿过。本发明较好地解决等离子体中气体及基团分解不充分问题。,下面是热丝辅助微波电子回旋共振化学气相沉积方法及装置专利的具体信息内容。
1、热丝辅助微波电子回旋共振化学气相沉积方法:包括有利用电子回旋共振系统中 的微波源、磁场线圈在谐振腔内产生电子回旋共振的等离子体,这一等离子体经谐振腔 出口进入沉积室,用于对样件进行薄膜沉积,其特征在于,在谐振腔出口与沉积室的样 片台之间,增加一个可对等离子体产生强烈热辐射的热丝单元,促使等离子体中的气体 更为充分地分解;并且热丝环位于等离子体之外,不会阻碍薄膜的沉积。
2、热丝辅助微波电子回旋共振化学气相沉积装置,包括有微波源、真空密封、薄 膜沉积、真空泵系统、产生电子回旋共振及沉积所需的轴向磁场部分、气路及气体控制 部分,各部分从前向后再向下的连接关系依次为,微波发生器(1)连接波导管(2),波 导管(2)连接三端环行器(3),三端环行器(3)的反射端与大功率负载(4)连接,三 端环行器(3)的出口端与三销钉调配器(5)连接,三销钉调配器(5)与带水平及垂直 段的过渡矩形波导管(6)连接,过渡矩形波导管(6)向下与垂直的波导管(7)连接, 中央开矩形孔的窗片法兰(9)上端面与波导管(7)连接,窗片法兰(9)的下端面将陶 瓷微波窗片(8)压在谐振腔(10)的上端面上,谐振腔(10)的下端面与直径较大的沉 积室(11)的上端面连接,样片台(12)与永磁体单元(13)相连,永磁体单元(13) 通过其支撑杆固定在沉积室(11)下方底部的出口端处,沉积室(11)下方侧面开孔处 与由旋转泵(19)和涡轮分子泵(20)组成的真空泵系统连接,沉积室外壁固定在工作 台(14)上,单并磁场线圈(21)位于圆柱形谐振腔(10)壁外,并与圆柱形谐振腔(10) 呈同轴布置,线圈(21)由沉积室(11)上端面上均布的三个支柱予以支撑,分为两路 的气路(22),一路与谐振腔相连,另一路与沉积室相连,其中反应气体通入谐振腔(10) 和沉积室(11)后,在谐振腔(10)中形成电子回旋共振等离子体(23)经谐振腔(10) 出口进入沉积室(11),本发明特征在于:在谐振腔(10)出口与沉积室(11)内的样片 台(12)之间设置了促使等离子体(23)中的反应气体更为充分地分解的热丝单元,该 热丝单元由置于沉积室(11)内的热丝环(15),固定热丝环(15)的夹持电极(16), 真空封装电极(17)以及置于沉积室(11)外的热丝电源(18)组成,沉积室(11)内 的等离子体(23)从该热丝单元中的热丝环(15)中穿过。
3、根据权利要求2所述的热丝辅助微波电子回旋共振化学气相沉积装置,特征在 于:所述的热丝单元中环状热丝环(15)用耐高温的热辐射材料;夹持电极(16)是由 夹持护套(25)套在夹持电极杆(24)上,再用螺母(27)锁紧固定而成;真空封装电 极(17)由固定螺杆(28),真空封装电极杆(29),连接环片(30)、绝缘陶瓷(31)、 不锈钢套筒(32)和真空盲板(33)组成,真空封装电极杆(29)与连接环片(30)、绝 缘陶瓷(31)、不锈钢套筒(32)相互之间采用真空钎焊技术进行连接,真空盲板(33) 不锈钢套筒(32)之间采用氩弧焊技术进行连接;夹持电极(16)与真空封装电极(17) 通过螺母(27)和固定螺杆(28)连接;热丝电源(18)选用输出为低电压大电流电源。
热丝辅助微波电子回旋共振化学气相沉积方法及装置,属微波低温等离子体技术领 域。
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