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热式质量流量计和质量流量控制装置

阅读：46发布：2020-06-12

专利汇可以提供热式质量流量计和质量流量控制装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且在作为热式质量流量计的加热元件的输入输出端子发挥功能的焊接端子中，提高与构成加热元件的发热电阻丝的端部的利用点焊的电连接的可靠性，并且有效地防止与点焊装置的电极的熔接。使构成焊接端子的材料为具有与发热电阻丝的熔点的温度差不超过100℃的熔点的金属或合金，在焊接端子的表面设置1层或2层以上的覆盖层。覆盖层优选为由Ni构成的基底覆盖层和由Au构成的表面覆盖层。，下面是热式质量流量计和质量流量控制装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种热式质量流量计，其具有：流体在内部流动的传感器管；上游侧加热元件和下游侧加热元件，它们设置于所述传感器管的外周且由发热电阻丝形成；以及通过点焊电连接了所述发热电阻丝的端部的多个焊接端子，
所述焊接端子由具有与所述发热电阻丝的熔点的温度差不超过100℃的熔点的金属或合金形成，
在所述焊接端子的表面设置有1层或2层以上的覆盖层，
所述端部与所述焊接端子的一部分连接，所述覆盖层至少设置于位于所述一部分的背侧的部分。
2.根据权利要求1所述的热式质量流量计，其中，所述发热电阻丝和所述焊接端子的材料为由相同成分组成的合金。
3.根据权利要求1所述的热式质量流量计，其中，所述发热电阻丝由具有5μm以上且100μm以下的丝直径的Fe-Ni合金丝形成。
4.根据权利要求3所述的热式质量流量计，其中，所述焊接端子由Fe-Ni合金形成。
5.根据权利要求1 4中任一项所述的热式质量流量计，其中，所述覆盖层中的位于最外~
侧的覆盖层由Cu或Au形成。
6.根据权利要求5所述的热式质量流量计，其中，所述覆盖层由两层构成，所述两层为由Ni构成的基底覆盖层和由Au构成的表面覆盖层。
7.一种质量流量控制装置，其特征在于，其具有权利要求1 6中任一项所述的热式质量~
流量计。
8.一种热式质量流量计的制造方法，所述热式质量流量计具有：流体在内部流动的传感器管；发热电阻丝，其具有5μm以上且100μm以下的丝直径；板状的焊接端子，其由具有与所述发热电阻丝的熔点的温度差不超过100℃的熔点的金属或合金形成，在焊接端子的表面设置1层或2层以上的覆盖层，
所述发热电阻丝的端部与所述焊接端子的一部分连接，所述覆盖层至少设置于位于所述一部分的背侧的部分，
将所述发热电阻丝卷绕在所述传感器管的外周的2处，分别形成上游侧加热元件和下游侧加热元件，
将所述焊接端子安置在点焊机上，
将构成所述上游侧加热元件或所述下游侧加热元件的发热电阻丝的端部安置在所述焊接端子的表面，
将所述焊接端子和所述发热电阻丝的端部夹在所述点焊机具备的两个电极之间，边对所述两个电极之间施加加压力边对电极间进行通电，由此进行点焊。
9.根据权利要求8所述的热式质量流量计的制造方法，其中，所述电极由钨形成。
10.根据权利要求8或9所述的热式质量流量计的制造方法，其中，所述发热电阻丝由Fe-Ni合金丝形成，
所述焊接端子由Fe-Ni合金形成，
所述覆盖层由两层构成，所述两层为由Ni构成的基底覆盖层和由Au构成的表面覆盖层。

说明书全文

热式质量流量计和质量流量控制装置

技术领域

[0001] 本发明涉及用于流体的质量流量的测定的热式质量流量计和内置有热式质量流量计的质量流量控制装置。

背景技术

[0002] 质量流量控制装置(质量流量控制器)在半导体的制造工艺中为了控制被供给到腔室内的工艺气体的供给量而被广泛地使用。质量流量控制装置由用于监测质量流量的质量流量计、用于控制质量流量的控制阀和控制电路等构成。质量流量计有各种各样的种类，其中，热式质量流量计具有原理上能够准确地测量质量流量的特征。因此，热式质量流量计作为组装到质量流量控制装置中而使用的质量流量计而被广泛普及。

[0003] 图1是示出热式质量流量计的传感器部的结构的示意图。热式质量流量计的传感器部1由如下构件构成：流体在内部流动的传感器管2；设置于传感器管2的外周的由发热电阻丝形成的上游侧加热元件3及下游侧加热元件4；以及通过点焊与发热电阻丝的端部电连接了的多个焊接端子5。通过使电流流经上游侧加热元件3和下游侧加热元件4，在传感器管2的内部流动的流体被加热。流体从上游侧朝向下游侧流动时，与之相伴地，施加到流体上的热也从上游侧朝向下游侧移动，因此传感器部1的温度分布发生变化，上游侧加热元件3和下游侧加热元件4的电阻发生变化。通过测量该电阻的变化，能够检测在传感器管2的内部流动的流体的质量流量。

[0004] 构成上游侧加热元件3和下游侧加热元件4的发热电阻丝的端部通过点焊分别与多个焊接端子5的表面电连接。焊接端子5上还电连接有导线7，所述导线7用于向上游侧加热元件3和下游侧加热元件4供给电流、或者测量电阻值的变化。如此操作，焊接端子5作为输入输出用端子发挥功能，所述输入输出用端子用于向上游侧加热元件3和下游侧加热元件4供给电流、或者测量电阻值的变化。焊接端子5通常使用加工容易且电导率高的磷青铜等。

[0005] 关于用于通常的电连接的焊接端子，以往已知能够稳定地进行利用点焊的电连接的焊接端子的构成。例如，日本特开平5-166575号公报中公开了如下方法：通过点焊将焊接端子和平型电线的导体连接时，使用压板不断以恒定的加压力将焊接端子按压在导体上，使过大电流流向连接在压板上的地线，由此使导体与焊接端子的接触电阻稳定，从而不断进行良好的点焊。该方法中使用的焊接端子是在磷青铜制的基材的表面实施作为基底层的厚度为1.5μm的镀镍，进一步在其上实施厚度为1μm的镀金而成的。

[0006] 另外，例如，日本特开2008-218189号公报中公开了如下方法：将在黄铜制的基材上实施作为基底层的镀镍、进一步在其上实施镀锡而成的焊接端子点焊在42 合金制的引线框上时，通过在将焊接端子的镀层的一部分去除而使基材露出的状态下点焊在引线框上，从而在基材和引线框这两者上形成熔合部，有效地防止焊接剥离。

发明内容

[0007] 发明要解决的问题

[0008] 对于构成热式质量流量计的上游侧加热元件3和下游侧加热元件4的发热电阻丝，如后述那样可以适宜地使用Fe(铁)-Ni(镍)合金丝。然而，在将Fe-Ni合金丝点焊在例如磷青铜制的焊接端子上的情况下，有时产生如下不良情况：即使想要最优化点焊的焊接条件也难以发现能够进行合适的焊接的焊接条件；或者由于连接不充分，因而在拉拽发热电阻丝时，从焊接端子被轻易地剥离。

[0009] 另外，为了提高连接的强度而改变焊接条件时，即使假设能够良好地形成发热电阻丝与焊接端子的点焊，也有时产生如下的不良情况：焊接端子的一部分熔融而附着于点焊装置的电极(以下简称为“电极”)上，或者进而焊接端子和电极熔接，作业效率显著降低。

[0010] 本发明是鉴于上述课题而做出的，其目的在于，提供由能够稳定地进行发热电阻丝的点焊并且不易产生与电极的熔接的焊接端子构成的热式质量流量计。

[0011] 用于解决问题的方案

[0012] 本发明人对热式质量流量计中的发热电阻丝与焊接端子的点焊时产生的不良情况的原因进行了调查。其结果揭示了，对于使用Fe-Ni合金丝的发热电阻丝和磷青铜制的焊接端子，材料所具有的熔点和由各自的尺寸的差异引起的热容量方面存在较大的差异，因此两者难以均衡性良好地进行熔融而形成熔合部。

[0013] 于是，作为构成焊接端子的材料，采用了具有与Fe-Ni合金丝的熔点接近的熔点的Fe-Ni系合金。发现尽管由发热电阻丝与焊接端子的尺寸差异引起的热容量仍存在大的差异，但与磷青铜制的焊接端子相比，存在能够比较稳定地进行与发热电阻丝的点焊的焊接条件。

[0014] 然而，若为上述焊接条件，则要面对如下新的课题：在发热电阻丝与焊接端子的表面被连接的同时，焊接端子的相反侧的表面的一部分熔融而附着于电极上，或者进而焊接端子与电极熔接，从而工作效率显著下降。

[0015] 于是，本发明人进一步深入研究用于防止与电极的熔接的方法，结果发现通过在焊接端子的表面设置覆盖层，能够防止与电极的熔接而不有损与Fe-Ni合金丝的点焊的稳定性，从而完成了本发明。

[0016] 即，本发明是热式质量流量计的发明，其特征在于，其是具有上述构成的传感器部的热式质量流量计，焊接端子由具有与发热电阻丝的熔点的温度差不超过100℃的熔点的金属或合金形成，并且在焊接端子的表面设置有1层或2层以上的覆盖层。

[0017] 进而，本发明为质量流量控制装置的发明，其特征在于，具有上述热式质量流量计。

[0018] 发明的效果

[0019] 根据本发明的热式质量流量计的构成，能够稳定地进行发热电阻丝的端部与焊接端子的点焊，因此能够在发热电阻丝与焊接端子之间实现可靠性高的电连接，进而能够提高热式质量流量计和组装有该热式质量流量计的质量流量控制装置整体的可靠性。附图说明

[0020] 图1是示出热式质量流量计的传感器部的结构的示意图。

[0021] 图2A是说明点焊的步骤的示意图。

[0022] 图2B是说明点焊的步骤的示意图。

[0023] 图2C是说明点焊的步骤的示意图。

[0024] 图3是示出发热电阻丝与焊接端子的点焊的施工例子的用于代替附图的照片。

[0025] 图4是示出焊接端子的形状的例子的图。

具体实施方式

[0026] 下面，进一步详细地说明用于实施本发明的方式。需要说明的是，以下的说明仅为例示，用于实施本发明的方式并不限定于以下方式。

[0027] 首先，对本发明的焊接方法进行说明。本发明中所谓的点焊是电阻焊接的一个方式，是指如下的焊接方法：将要焊接的2个金属制的构件夹在对置的2个电极之间，对电极一边施加加压力一边通电，由此利用电阻热使2个构件的接触部熔融，接着停止通电使其冷却凝固，形成被称为熔核(nugget)的连接部。点焊中，通常将板材彼此进行焊接，但在本发明的点焊中，在将细的线材焊接到板状的焊接端子的表面上这一点，与通常的点焊相比，熔核的形成的方法、形状等不同。

[0028] 图2A、图2B和图2C是表示本发明中的发热电阻丝与焊接端子的点焊的施工例子的示意图。首先，在焊接端子5的表面设置上游侧加热元件3或下游侧加热元件4的发热电阻丝的端部(图2A)。接着，使用脚踏操纵杆等在上下2个电极8的前端夹持焊接端子5和发热电阻丝的端部，一边施加加压力一边在电极8之间流通电流。于是，由于在发热电阻丝的端部与上侧的电极8的前端以及焊接端子5的表面接触的部分接触电阻大，因此这些构件因电阻热而被加热(图2B)。然后，焊接端子5的表面局部地熔融，与此同时发热电阻丝的端部的表面的一部分也熔融，两者成为一体之后，冷却、凝固，在焊接端子5的表面形成凸起的熔核9，从而完成焊接(图2C)。

[0029] 图3是示出发热电阻丝与焊接端子的点焊的施工例子的用于代替附图的照片。照片中央的凸起的部分是形成于焊接端子的表面上的熔核。在熔核的中心，从照片上方延伸的发热电阻丝的端部在保持形状不变的状态下被焊接。与将板材彼此点焊的情况不同，在发热电阻丝与焊接端子的点焊中，若以熔融直至发热电阻丝的中心的程度进行加热，则发热电阻丝烧断，因此需要在仅使发热电阻丝的表面的一部分熔融那样的焊接条件下进行加热。在发热电阻丝的丝直径小的情况下，发现这种合适的焊接条件通常有困难。点焊中的焊接条件可以通过改变点焊的通电时间、电流值和加压力等来进行控制。

[0030] 接着，对构成本发明中使用的发热电阻丝的材料进行说明。构成上游侧加热元件3和下游侧加热元件4的发热电阻丝优选使用Fe-Ni合金丝。优选Fe-Ni合金丝的理由在于，高温下的抗氧化性优异，电阻的温度系数较大，而且，热膨胀系数小，从而即使温度改变也不易产生内部应力。关于Fe-Ni合金丝的组成范围，Ni小于30质量％时，高温下的抗氧化性差，另外，大于80质量％时，热膨胀系数变大从而容易产生内部应力，因此优选使Ni为30质量％以上且80质量％以下，余量为Fe。在特别重视高温下的抗氧化性的情况下，更优选使Ni为60质量％以上且80质量％以下。在特别重视热膨胀系数的降低的情况下，更优选使Ni为30质量％以上且45质量％以下。其中，Ni为70质量％且余量为Fe的Fe-Ni合金丝能够在各方面取得均衡，适合作为发热电阻丝的材料。需要说明的是，发热电阻丝需要以线圈状卷绕在传感器管的外周，因此优选预先用绝缘覆膜将表面覆盖。对于用于覆盖的绝缘覆膜，例如耐热性优异的聚酰亚胺树脂的覆膜等适合。

[0031] 发热电阻丝的丝直径小于5μm时，机械强度不足、操作变得困难，另外，超过100μm时，每单位长度的电阻低，与传感器管的热传导也变差。因此，发热电阻丝的丝直径优选为5μm以上且100μm以下。更优选的丝直径的范围为10μm以上且70μm以下。

[0032] 接着，对本发明的特征即构成发热电阻丝和焊接端子的金属或合金的熔点的差进行说明。本发明中，构成焊接端子的材料由具有与发热电阻丝的熔点的温度差ΔT不超过100℃的熔点的金属或合金形成。ΔT超过100℃时，不论怎样改变点焊的焊接条件也不能将发热电阻丝合适地焊接在焊接端子的表面。具体而言，将焊接条件调整为趋于更多地加热时，发热电阻丝烧断，相反地，将焊接条件调整为趋于较少地加热时，发热电阻丝与焊接端子的连接强度变弱，会被轻易地剥离。因此，不能够发现用于不使发热电阻丝烧断且能够以充分的强度与焊接端子连接的焊接条件。该理由虽不明确，但可以推测可能是如下原因：与板材彼此的点焊的情况相比，本发明中的发热电阻丝与焊接端子的点焊的情况下，由于被焊接构件的形状的差异，两者的热容量极其不同，因此加热和放热时的热平衡不良，热容量小的发热电阻丝存在被更过度地加热的倾向。因此，本发明中，使熔点的温度差ΔT不超过
100℃。更优选的温度差ΔT的上限为50℃。

[0033] 作为使ΔT的大小为100℃以下的具体的方法，构成发热电阻丝和焊接端子的材料优选选择相同的合金系、或者若为相同的合金系则尽可能地选择组成相近的合金系。例如，在发热电阻丝使用Fe-Ni合金丝的情况下，构成焊接端子的材料优选选择相同合金系的Fe-Ni合金。对于Fe-Ni合金，在Ni为30质量％以上且80质量％以下的区域中，二元状态图的液相线的温度落入1450℃±25℃的范围，因此若使发热电阻丝和焊接端子这两者由该组成范围的Fe-Ni合金构成，则能够使ΔT的大小为50℃以下。另外，若为相同的合金系，则热传导率的值也不会显著变化，因此从热平衡的观点出发也是优选的。作为焊接端子的材料选择Fe-Ni合金的情况下，优选选择例如包含42质量％的Ni且余量为Fe的42合金。42合金具有如下优点：与Fe-Ni合金丝的点焊比较容易，而且作为引线框的材料而广泛普及，比较容易获得。

[0034] 接着，对作为本发明的特征的焊接端子的覆盖层进行说明。选择发热电阻丝与焊接端子的熔点的差ΔT不超过100℃的材料来进行点焊时，如前述那样，在发热电阻丝与焊接端子之间能够形成良好的焊接。然而，在将发热电阻丝和焊接端子焊接的几乎同时，在要进行焊接端子的焊接的面的相反侧的表面与按压在其上的电极的表面之间也发生电阻加热，焊接端子的表面的一部分熔融，从而污染电极、或者在两者之间发生熔接。该理由虽不明确，但可以推测可能是如下原因：发热电阻丝与焊接端子相互熔融而形成熔核时，该部分中的接触电阻下降而产生过度的通电，在当初未设想到的电极的表面与焊接端子的表面之间进行电阻加热。

[0035] 于是，本发明中，为了防止上述不期望的熔接，在焊接端子的表面设置1个或2个以上的覆盖层。覆盖层在板材彼此的点焊中作为妨碍焊接的因素而被规避，例如，如在日本特开2008-218189号公报中公开的那样，也存在如下情况：优选在焊接前特意将焊接处的覆盖层去除，使基材露出。然而，在如本发明那样的发热电阻丝与焊接端子的点焊中，设置于焊接端子的表面上的覆盖层不会成为点焊的阻碍，反而发挥防止与电极的不期望的熔接这种本发明所特有的效果。该理由虽不明确，但认为可能是如下原因：通过在焊接端子的表面设置覆盖层，从而与不具有覆盖层的情况相比，焊接端子与电极之间的电阻值稳定，不易产生焊接端子与电极之间的火花、不易发生熔接。

[0036] 构成焊接端子的覆盖层的材料优选使用熔点不太高并且导电性优异的Cu(铜)或Au(金)。Cu和Au由于导电性优异，因此能够降低焊接端子与电极之间的接触电阻，有效地防止熔接。另外，通过降低焊接端子自身的电阻来防止发热，能够提高热式质量流量计的测定精度或者降低功耗。进而，Cu和Au与多用作覆盖层的Sn(锡)相比熔点高，因此还具有如下优点：不易发生在覆盖层中使用了Sn的情况下经常看到那样的高温下的晶须的生成。Au的覆盖层由于抗氧化性极其优异，因此不会在表面形成氧化物，能够较低且稳定地保持接触电阻，防止焊接端子与电极的熔接的效果、确保将导线软钎焊到焊接端子上时的软钎料的润湿性的效果特别优异，因此是更优选的。

[0037] 焊接端子的覆盖层的厚度小于0.05μm时，不能得到防止熔接的效果，另外，大于5.0μm时，会阻碍与发热电阻丝的焊接，因此优选为0.05μm以上且5.0μm以下。更优选的厚度为0.1μm以上且3.0μm以下。

[0038] 覆盖层可以以单层进行设置，但为了提高与焊接端子的表面的密合性，也可以在焊接端子的表面先设置基底覆盖层，进一步在其表面设置表面覆盖层。例如，在42合金制的焊接端子和Au的覆盖层之间先设置Ni的覆盖层作为基底覆盖层时，与在焊接端子的表面直接设置Au的覆盖层的情况相比，密合性高，故优选。该情况下的基底覆盖层的厚度小于0.05μm时，不能得到密合性提高的效果，另外，大于5.0μm时，会阻碍与发热电阻丝的焊接，因此优选为0.05μm以上且5.0μm以下。另外，也优选在基底覆盖层和表面覆盖层之间设置中间层以进一步提高密合性。如此，在形成2层以上的覆盖层的情况下，覆盖层整体的厚度大于5.0μm时，会阻碍与发热电阻丝的焊接，因此覆盖层整体的厚度优选为5.0μm以下。

[0039] 覆盖层可以设置于焊接端子的整个表面，另外，在可能的情况下，也可以设置于焊接端子的一部分。覆盖层是为了防止焊接端子与电极的熔接而设置的层，因此在将覆盖层设置于焊接端子的一部分的情况下，需要在焊接端子的表面中的至少电极直接接触的部分设置覆盖层。

[0040] 覆盖覆盖层的方法可以使用电镀、化学镀、溅射、蒸镀等公知的方法。在焊接端子的整个表面设置覆盖层的情况下，从作业效率、覆盖层的均质性和密合性等观点出发，优选使用电镀。另外，在仅在焊接端子的一部分设置覆盖层的情况下，优选使用溅射或蒸镀等方法。

[0041] 接着，对焊接端子的优选形状进行说明。对焊接端子的形状没有特别限定，通常优选使用将平板加工成规定形状而得到的焊接端子。通过使形状为平板，能够可靠地进行在点焊时利用上下电极的夹持。点焊中的熔核通常形成于焊接端子的平面部上，发热电阻丝的端部与熔核的表面电连接。可根据需要在焊接端子上设置突出部，所述突出部用于使与其它构件的组合变得容易、或者实现与导线的电连接。图4是示出对平板进行弯曲加工而制成的在两端设置有突出部的焊接端子的形状的例子的图。突出部中更短的突出部10b被插入设置于图1中所示的模具6上的孔中，具有将焊接端子固定于模具6上的功能。另外，更长的突出部10a被插入设置于模具6上的其它孔中，其前端通过软钎焊与导线7电连接。

[0042] 关于焊接端子的个数，根据传感器元件的个数准备多个所需个数即可。例如，在图1所示的例子中，对于上游侧加热元件3和下游侧加热元件4的发热电阻丝的端部各使用1个、总计使用4个焊接端子。这是为了对各个发热电阻丝的端部可靠地进行点焊。根据电路的构成，也可以在1个焊接端子上点焊多个发热电阻丝的端部，由此能够减少每1台热式质量流量计的焊接端子的个数。

[0043] 本发明中，实施点焊的装置可以使用台式点焊机、脚踏式点焊机或气动点焊机等已知的点焊机。电极可以使用例如使用了钨等的直径为10mm左右的圆杆形状的电极。若例示本发明中的点焊的典型的焊接条件，则焊接时间为2～10个循环，加压力为10～50kg，电流为2～10kA左右。为了发现优选的焊接条件，例如可以通过一边改变焊接条件一边用手拉拽焊接后的发热电阻丝来确认是否剥离等方法，从而确立能够得到充分的连接强度的焊接条件。

[0044] 实施例

[0045] 对厚度为0.3mm的42合金制的板材进行加工，准备图4所示形状的焊接端子的原料。对得到的原料的整个表面先进行厚度为3.0μm的电镀镍，接着进行厚度为0.2μm的电镀金，由此准备具有由镍和金的双层构成的覆盖层的42合金制的焊接端子。

[0046] 另外，作为发热电阻丝，准备丝直径为15μm且具有聚酰亚胺树脂的绝缘覆膜的Fe-Ni合金丝(Ni为70质量％，余量为Fe)。

[0047] 所准备的焊接端子的原料的熔点为1450℃，发热电阻丝的熔点为1440℃，因此两者的温度差ΔT为10℃。

[0048] 将准备的发热电阻丝卷绕在传感器管的外周的2处，分别形成上游侧加热元件和下游侧加热元件。然后，将准备的焊接端子安置在脚踏式点焊机上，在其表面平行地安置发热电阻丝的端部之后，将焊接端子和发热电阻丝夹在下上钨电极之间，用脚踏操纵杆施加加压力。然后，在电极间进行电流值为4.0kA、通电时间为2个循环的通电，进行点焊。

[0049] 点焊之后，松弛电极间的加压力时，能够从电极间轻易地卸下焊接端子。卸下焊接端子之后的钨电极的前端通过洗涤没有观察到焊接端子的熔融物等的附着。

[0050] 用光学显微镜观察点焊后的焊接部分时，如图3所示，在形成于焊接端子的表面的熔核的中央附近焊接有发热电阻丝，在熔核的附近，焊接端子的覆盖层和发热电阻丝的绝缘覆膜被完全破坏。用手拉拽点焊后的发热电阻丝时，发热电阻丝牢固地连接在焊接端子上，完全没有剥离。另外，观察点焊后的焊接端子的与焊接部分相反侧的面时，几乎未观察到钨电极的痕迹，为干净的状态。

[0051] (比较例1)

[0052] 使用与上述实施例相同的焊接端子的原料，在焊接端子的原料上不设置覆盖层地作为焊接端子使用，除此以外，在与上述实施例相同的条件下进行发热电阻丝的点焊。

[0053] 点焊之后，松弛电极间的加压力时，焊接端子的表面中焊接部的相反侧的面与下侧的钨电极的表面熔接，不能够轻易地卸下。使用钳子将焊接端子从下侧的钨电极强制地剥下时，在保持焊接端子的表面的一部分与电极的前端熔接的状态下进行剥离，在表面被剥离的焊接端子上形成有圆形的凹坑。另外，若保持焊接端子的表面的一部分与钨电极的前端熔接的状态，则不能进行下一次点焊，因此不得不使用锉刀将熔接的焊接端子的一部分磨削去除。

[0054] 另一方面，由于发热电阻丝与焊接端子的焊接强度良好，所以出于防止焊接端子与电极的熔接的目的，尝试改变焊接条件。然而，减少电极间的电流值时，虽然能够某种程度地防止焊接端子与电极的熔接，但导致发热电阻丝与焊接端子的焊接强度降低，点焊后用手拉拽发热电阻丝时，会轻易地剥离。另外，增加电极间的电流值时，焊接端子与电极的熔接变得更加牢固。因此，未能发现能够防止焊接端子与电极的熔接并且对发热电阻丝与焊接端子进行点焊的合适的焊接条件。

[0055] (比较例2)

[0056] 对厚度为0.3mm的磷青铜制的板材进行加工，准备图4所示形状的焊接端子的原料。对得到的原料的整个表面先进行厚度为3.0μm的电镀镍，接着进行厚度为0.2μm的电镀金，由此准备具有由镍和金的双层构成的覆盖层的磷青铜制的焊接端子。

[0057] 另外，作为发热电阻丝，准备丝直径为15μm且具有聚酰亚胺树脂的绝缘覆膜的Fe-Ni合金丝(Ni为70质量％，余量为Fe)。

[0058] 所准备的焊接端子的原料的熔点为980℃，发热电阻丝的熔点为1440℃，因此两者的温度差ΔT为460℃。

[0059] 使用得到的磷青铜制的焊接端子，在与上述实施例相同的焊接条件下进行点焊，结果在用手拉拽点焊后的发热电阻丝时轻易地剥离，可知焊接强度不足。

[0060] 于是，为了提高焊接强度而尝试增加电极间的电流值，结果此次发热电阻丝在焊接部熔融至中心而发生切断。因此，未能发现能够防止发热电阻丝发生由熔融导致的断线并且对发热电阻丝和焊接端子进行点焊的合适的焊接条件。

[0061] 附图标记说明

[0062] 1 传感器部

[0063] 2 传感器管

[0064] 3 上游侧加热元件

[0065] 4 下游侧加热元件

[0066] 5 焊接端子

[0067] 6 模具

[0068] 7 导线

[0069] 8 电极

[0070] 9 熔核

[0071] 10a、10b 突出部

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