一种曝光机光源改造方法及UVLED光源机构
专利汇可以提供一种曝光机光源改造方法及UVLED光源机构专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种曝光机 光源 改造方法，其包括如下步骤：1)设置UVLED光源发射装置，该UVLED光源发射装置包括UVLED阵列式发光单元、聚光透镜组，其中，UVLED阵列式发光单元包括多颗阵列式排列的UVLED，每颗UVLED均在其正前方安装一组聚光透镜组，使其发射出的紫外光束经过聚光透镜组后，发射 角 度减小；2)设置复眼透镜组，该复眼透镜组由两片形状相似的复眼透镜平行放置组成，每片复眼透镜包括多组阵列式的矩形玻璃透镜；3)设置平面光镜；4)设置两组曲面反光镜，分别对步骤3)中平面光镜的反射紫外光束及穿透紫外光束进行角度调整，将扇形分布的光束转变为平行光束，反射到玻璃载物台上。本发明还公开了上述方法形成的曝光机UVLED光源机构。，下面是一种曝光机光源改造方法及UVLED光源机构专利的具体信息内容。
1.一种曝光机光源改造方法，其特征在于，其包括如下步骤：
1)设置UVLED光源发射装置，该UVLED光源发射装置包括UVLED阵列式发光单元、聚光透镜组，其中，UVLED阵列式发光单元包括多颗阵列式排列的UVLED，每颗UVLED均在其正前方安装一组聚光透镜组，使其发射出的紫外光束经过聚光透镜组后，发射角度减小；
2)设置复眼透镜组，该复眼透镜组由两片形状相似的复眼透镜平行放置组成，每片复眼透镜包括多组阵列式的矩形玻璃透镜；
3)设置平面光镜，该平面光镜安装在移动装置上，通过该移动装置调整平面光镜的位置，改变紫外光束的方向；
4)设置两组曲面反光镜，该两组曲面反光镜对称设置于玻璃载物台上下两侧，分别对步骤3)中平面光镜的反射紫外光束及穿透紫外光束进行角度调整，将扇形分布的光束转变为平行光束，反射到玻璃载物台上。
2.根据权利要求1所述的曝光机光源改造方法，其特征在于，其还包括如下步骤：
5)打开电源，UVLED光源发射装置开始工作，发射出小角度的紫外光束，照射到正前方的复眼透镜组上，紫外光束经过复眼透镜组光学整形，提高均匀度，进而发射出均匀的扇形状紫外光束，通过移动装置调整平面光镜的位置，使紫外光束照射到玻璃载物台上下两侧的曲面反光镜上，对紫外光束进行角度调整，将扇形分布的光束转变为平行光束，反射到玻璃载物台上，实现对玻璃载物台上的安装有菲林片的PCB板正反面曝光，实现影像转移，完成PCB线路板固化。
3.根据权利要求1所述的曝光机光源改造方法，其特征在于，所述步骤1)还包括如下步骤：设置光源固定架，所述UVLED光源发射装置固定在光源固定架上，所述光源固定架安装在曝光机机架上；或，所述光源固定架安装在微调装置上，调节UVLED光源发射装置相对于复眼透镜组的空间位置，确保投射到玻璃载物台上的紫外光束的光强均匀度达到设定的范围。
4.根据权利要求1所述的曝光机光源改造方法，其特征在于，步骤1)中，所述UVLED光源发射装置包括冷却系统、散热基座、UVLED阵列式发光单元、光源控制电路、聚光透镜组、透镜固定座，所述UVLED阵列式发光单元安装在散热基座上，所述聚光透镜组由两片以上的光学玻璃透镜组合而成；所述光源控制电路对每颗UVLED的电流进行控制；所述聚光透镜组安装在透镜固定座上；所述冷却装置对UVLED进行冷却散热。
5.根据权利要求4所述的曝光机光源改造方法，其特征在于，所述冷却系统、散热基座组成散热装置，其中，所述冷却系统为液态冷却系统或气态冷却系统；所述冷却系统包括制冷机、冷却介质及管道，所述散热基座内部有封闭式冷却槽，通过冷却介质对UVLED进行冷却散热；其中，所述制冷机为冰水机或空调机，所述冷却介质为液体或气体冷却介质。
6.根据权利要求1所述的曝光机光源改造方法，其特征在于，步骤1)中，所述的UVLED阵列式发光单元为矩形或者菱形排列，所发射的紫外光束，经过聚光透镜组聚光成为平行或趋近于平行的光束，然后垂直或趋近于垂直地照射在正前方的复眼透镜组上。
7.一种权利要求1至6之一所述方法形成的曝光机UVLED光源机构，包括UVLED光源发射装置、复眼透镜组、平面光镜、两组曲面反光镜，其特征在于，所述UVLED光源发射装置包括UVLED阵列式发光单元、聚光透镜组，其中，UVLED阵列式发光单元包括多颗阵列式排列的UVLED，每颗UVLED均在其正前方安装一组聚光透镜组，使其发射出的紫外光束经过聚光透镜组后，发射角度减小；所述复眼透镜组由两片形状相似的复眼透镜平行放置组成，每片复眼透镜包括多组阵列式的矩形玻璃透镜；所述平面光镜安装在移动装置上，通过该移动装置调整平面光镜的位置，改变紫外光束的方向；所述两组曲面反光镜对称设置于玻璃载物台上下两侧，分别对平面光镜的反射紫外光束及穿透紫外光束进行角度调整，将扇形分布的光束转变为平行光束，反射到玻璃载物台上。
8.根据权利要求7所述的曝光机UVLED光源机构，其特征在于，其还包括光源固定架，所述UVLED光源发射装置固定在光源固定架上，所述光源固定架安装在曝光机机架上；或，所述光源固定架安装在微调装置上，调节UVLED光源发射装置相对于复眼透镜组的空间位置，确保投射到玻璃载物台上的紫外光束的光强均匀度达到设定的范围。
9.根据权利要求7所述的曝光机UVLED光源机构，其特征在于，所述UVLED光源发射装置包括冷却系统、散热基座、UVLED阵列式发光单元、光源控制电路、聚光透镜组、透镜固定座，所述UVLED阵列式发光单元安装在散热基座上，所述聚光透镜组由两片以上的光学玻璃透镜组合而成；所述光源控制电路对每颗UVLED的电流进行控制；所述聚光透镜组安装在透镜固定座上；所述冷却装置对UVLED进行冷却散热。
10.根据权利要求7所述的曝光机UVLED光源机构，其特征在于，所述冷却系统、散热基座组成散热装置，其中，所述冷却系统为液态冷却系统或气态冷却系统；所述冷却系统包括制冷机、冷却介质及管道，所述散热基座内部有封闭式冷却槽，通过冷却介质对UVLED进行冷却散热；其中，所述制冷机为冰水机或空调机，所述冷却介质为液体或气体冷却介质。
11.根据权利要求7所述的曝光机UVLED光源机构，其特征在于，所述的UVLED阵列式发光单元为矩形或者菱形排列，所发射的紫外光束，经过聚光透镜组聚光成为平行或趋近于平行的光束，然后垂直或趋近于垂直地照射在正前方的复眼透镜组上。
一种曝光机光源改造方法及UVLED光源机构
技术领域
背景技术
发明内容
附图说明
具体实施方式
或，所述光源固定架2安装在微调装置上，调节UVLED光源发射装置3相对于复眼透镜组4的空间位置，确保投射到玻璃载物台8上的紫外光束的光强均匀度达到设定的范围。
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