近年来，应用了微机械技术，能够进行比以往的装置更细微化的化学 分析等的μ-TAS(μ-Total Analsis System)、或者使用了所谓的“Lab on a chip” 的微芯片的分析方法受到了注目。在专利文献1中公开了该技术。使用这 样的微芯片的分析系统的目的在于，利用微机械制作技术在形成于小的基 板上的细小的流路中，进行试剂的混合、反应、分离、提取及检测等的分 析的全部工序，例如，用于在医疗领域的血液的分析、超微量的蛋白质或 核酸等的生物体分子的分析等。
在采用μ-TAS的装置(以下，称为检查装置)中，为了对提取物质或反 应生物等进行定量而大多使用吸光光度法。微芯片构成为：预先把成为检 查对象的检体与检测该检体的信息的试剂收容到各自的部位，进一步混合 检体与试剂后所得到的检查流体被填充到剖面为φ0.01～5mm2左右的非常 小的检查流体收容部。在进行分析时，把具有可被检查流体吸收的波长的 光入射到检查流体收容部，通过测定检查流体的吸光量，检测检体的成分 浓度。
检查装置的放电灯需要向微芯片的检查流体收容部入射平行度高的 光，因此最理想的是使用激光。但是，分析时所必需的光的波长按照各检 体的不同而需要使用不同波长的光，因此，若通过1台检查装置来分析多种 检体，则有必要对应于检体的种类来准备各式各样波长不同的激光，但这 样存在装置大型化且成本变高的缺点。另一方面，在作为放电灯而将放射 氙灯等的连续光的灯与波长选择组件一起使用的情况下，能够对多个检体 中的每一个使用不同波长的光，因此，不存在上述的所谓装置大型化且成 本变高的缺点。
此外，近年来，在医院或诊疗所中的病床边、急救现场以及家庭等地 方，频繁地进行POCT(Point of care testing：即时检验)，所述POCT可进行 迅速且高精度的分析。在使用上述的检查装置来实施POCT的情况下，因 为需要搬运检查装置到特定的现场去进行诊疗，所以希望检查装置小型化、 简便化。此外，在利用μ-TAS的检查装置中，因为需要把来自放电灯的光 导到狭小的光路上，入射到微芯片的检查流体收容部，所以有必要提高放 电灯所射出的光的强度。即，通过使入射到检查流体收容部的光的强度变 大，可以缩小测定误差。因为上述这样的情况，所以对在检查装置中使用 的放电灯的亮度有较高的要求。
但是，从放电灯射出的光的强度越高，向放电灯的周围发出的电磁波 就变得越大，因此，会担心由于电磁波的影响，检查装置中的精密设备有 可能进行误动作而导致无法进行正确的分析。特别是，如上述那样，若为 了提高放电灯的亮度而提高额定功率，则产生在放电灯周围的电磁波对精 密设备的不良影响变大，精密设备误动作的危险性变高，这一点已经被证 实。
在专利文献2中的内视镜装置中，为了抑制向放电灯的周围发出的电 磁波对精密设备的影响，公开有在图像处理装置和放电灯之间设置遮蔽板 的方法。但是，如上所述，由于在对应了POCT的检查装置中，要求装置 小型化、简便化，因此若采用记载于专利丈献2中的技术，会变得跟这些 要求背道而驰，不能优选这样的方案。
专利文献1：日本特开2007-225479号公报
专利文献2：日本特开2005-245473号公报

根据以上内容，本发明的目的在于，对于进行检体的分析的检查装置， 在使装置小型化的同时，能够遮蔽伴随着放电灯的亮度的提高而向放电灯 周围发出的电磁波。
如上所述，本发明的目的在于解决这样的问题，即，实现检查装置的 小型化、减低从放电灯发出的电磁波。
[检查装置的小型化]
在本发明的检查装置中，需要在放电灯点灯时施加数十kV的高电压。 为了防止向收容高电压的放电灯的光源收容部泄漏，需要使光源收容部与 放电灯绝缘，若光源收容部用金属来构成，则必须使光源收容部变大、与 放电灯的绝缘距离也变大。但是，如上所述，利用μ-TAS的检查装置要求 小型化、简便化，不能为了确保绝缘距离而让光源收容部变大。在此，通 过使用绝缘材料来构成作为光源收容部的主要部分的框体部，既能够使光 源收容部相对于放电灯而比较小型，又能够可靠地让光源收容部与放电灯 处于被绝缘的状态。即，通过用绝缘材料来构成光源收容部，可以确保光 源收容部与放电灯处于绝缘的状态，同时能够使光源收容部小型化，因此 能够使检查装置小型化。
[电磁波的遮蔽]
如上所述，若通过绝缘材料来构成光源收容部，则与由金属来构成光 源收容部的情况不同，向放电灯的周围发出的电磁波是无法通过光源收容 部来遮蔽的。因此，为了可靠地遮蔽从放电灯所发出的电磁波，在由绝缘 材料构成的光源收容部的外部，设有遮蔽电磁波的遮蔽机构。
本发明是基于上述的情况而作出的一种检查装置，
具备：微芯片，具有用于收容检查流体的检查流体收容部；放电灯， 向前述检查流体收容部入射光；光源收容部，收容该放电灯；以及运算机 构，根据从前述检查流体收容部射出的光的强度来计算检测对象成分的浓 度，该检查装置的特征在于，
前述光源收容部在由绝缘材料形成的框体部的外部具备接地(earth)的 遮蔽机构，该遮蔽机构遮蔽由前述光源放射出的电磁波。
另外，本发明的检查装置的特征在于，前述遮蔽机构前述遮蔽机构是 设于前述框体部的外表面的金属薄膜。
另外，本发明的检查装置的特征在于，具备按压机构，该按压机构对 前述框体部的外表面中形成有前述金属薄膜的范围进行按压。
另外，本发明的检查装置的特征在于，前述按压机构接地。
另外，本发明的检查装置的特征在于，具备用于向前述光源收容部的 内部供给冷却风的冷却风供给机构；在前述光源收容部形成有冷却风导入 口与冷却风排出口。
另外，本发明的检查装置的特征在于，前述光源是放电灯，该放电灯 具备发光部以及侧管部，所述发光部在内部收容了一对电极及放电气体， 所述侧管部连接到该发光部的两端；前述光源配置为该放电灯的中心轴相 对于大地而垂直。
另外，本发明的检查装置的特征在于，在前述光源收容部中，前述冷 却风导入口设置在与位于前述放电灯的铅垂方向的下方侧的侧管部相对的 位置上，前述冷却风排出口设置在与位于前述放电灯的铅垂方向的上方侧 的侧管部相对的位置上。
发明效果
本发明的检查装置的光源收容部在由绝缘材料构成框体部的外部设有 遮蔽从放电灯放射出来的电磁波的遮蔽机构，因此即使光源收容部相对于 放电灯比较小型，也可以让光源收容部与放电灯处于绝缘的状态，并且， 通过设在框体部的外部的遮蔽机构，可以遮蔽向放电灯周围发出的电磁波。 从而，可以使检查装置小型化，还也可以解决精密设备误动作的问题。
附图说明
图1是表示本发明的检查装置的实施方式的一例的立体图。
图2是表示本发明的检查装置的内部结构的一例的立体图。
图3是沿图2的A-A′线来切断检查装置的一部分的剖视图。
图4是表示本发明的检查装置的吸光光度测定系统的概略的示意图。
图5是表示微芯片的结构的立体图及局部剖面图。
图6是表示芯片保持器的结构的立体图。
图7是表示本发明的检查装置所使用的放电灯及光源收容部的结构的 图。
图8是沿图7的A-A′线在放电灯的中心轴方向上切断光源收容部的剖 视图。
图9是沿图7的B-B′线在放电灯的中心轴方向上切断放电灯及光源收 容部的剖视图。
图10是表示光源收容部及按压机构的结构的概略的立体图
图11是表示按压机构的结构的图。
图12是表示放电灯的结构的在长度方向上的剖视图
附图标记说明
1：放电灯
11：发光部
12a、12b：侧管部
13a、13b：金属箔
14：阳极
15：阴极
16a、16b：外部导线
18：供电线
2：光源收容部
20：框体部
21：把手部
22：固定机构
23：光射出部
24：冷却风导入口
25：冷却风排出口
26：金属薄膜
27：透镜
28：连接器
3：冷却风供给机构
4：灯电源
5：触发装置
6：芯片保持器
7：微芯片
71：检查流体收容部
8：钩状弹性体
81：接地部
82：按压部
100：检查装置
101：分析结果输出机构
102：微芯片拆装用盖部
103：光源收容部拆装用盖部
110：运算部
120：显示部
130：遮蔽板
140：受光部

图1是表示本发明的检查装置的结构的一例的立体图。
检查装置100具备：显示分析结果的液晶面板等的显示部120；作为纸 张来输出分析结果的分析结果输出机构101；在拆装微芯片时朝上方侧开闭 的微芯片拆装用盖部102；在拆装收容放电灯的光源收容部时朝上方侧开闭 的光源收容部拆装用盖部103。在交换微芯片、放电灯时，利用按钮操作等 来开放各个盖部。
图2是表示本发明的检查装置的内部结构的一例的立体图。图3是沿 图2的A-A′线来切断检查装置的一部分的剖视图。
如图2所示，检查装置100包括：在内部配置有放电灯1的光源收容 部2；在光源收容部2的纸面上邻接在铅垂方向的下方侧而配置的冷却风供 给机构3；灯电源4；在光源收容部2的纸面中邻接在铅垂方向的下方侧而 配置的触发装置(igniter)5；芯片保持器6(图2中未图示)；微芯片7(图2中 未图示)；邻接光源收容部2的侧方而配置的运算部110；邻接光源收容部 2的侧方而配置的显示部120；邻接光源收容部2的侧方和铅垂方向的下方 侧而配置的遮蔽板130。
图4是示意性地表示本发明的检查装置的吸光光度测定系统的概略的 示意图。
检查装置100具备：放电灯1；收容放电灯1的光源收容部2；安装到 光源收容部2的透镜27；具备检查流体收容部71的微芯片7；接受透过微 芯片7的检查流体收容部71的光的受光部140；根据从受光部140输出的 光强度信号计算检查流体中的检体的浓度的运算部110；以及显示从运算部 110输出的测定结果的显示部120。
从放电灯1射出的光在穿透过透镜27后导入到微芯片7的检查流体收 容部71，经过填充在检查流体收容部71的检查流体而衰减后，导入到受光 部140的光入射面。运算部110是根据导入到受光部140的光的强度来计 算包含在检查流体中的测定对象成分的浓度，并且把已经计算出的测定对 象成分的浓度数据发送到显示部120。由此，测定对象成分的浓度，以数值 数据等而显示在显示部120。
图5是表示微芯片的结构的一例的示意图。图5(a)是显示微芯片的立 体图，图5(b)是表示沿图5(a)的A-A′线来切断微芯片的剖视图。图6是适 用于图5(a)所示的微芯片2的芯片保持器的立体图。
图5(a)所示的微芯片7是多项目检查用微芯片，该多项目检查用微芯 片由多个检查流体收容部71相互间隔排列而形成，并且在其外表面贴附有 二维条形码72的。如图5(b)所示，多项目检查用的微芯片7′是通过在遮光 性树脂73的顶面及底面分别贴合透光性树脂74而形成的，使垂直于微芯 片7的检查流体收容部71的光透过，从而进行吸光光度法的分析。
如图6所示，芯片保持器6包括：树脂制的箱部61，具有收容微芯片 7的芯片收容空间S；金属制的盖部62，把微芯片7定位到特定的位置后 进行固定。盖部62利用支点63而被铰链(hinge)固定，并且设有读码器读 取窗64，该读码器读取窗64用于从外部读取贴附在微芯片7上的二维条形 码72。
图7是表示本发明的检查装置的放电灯及光源收容部的结构的示意图。 图7(a)是从斜上方看光源收容部的立体图；图7(b)是从背后看光源收容部的 图；图7(c)是从上方看光源收容部的图。图8是沿图7的A-A′线在放电灯 的中心轴方向上切断放电灯及光源收容部的剖视图。图9是沿图7的B-B′ 线在放电灯的中心轴方向上切断放电灯及光源收容部的剖视图。在图8、图 9中显示了以放电灯1的中心轴X相对于大地而垂直的方式在光源收容部2 内配置着放电灯1的状态。图10是表示光源收容部及按压机构的结构的概 略的立体图。图11是表示按压机构的结构的立体图。图11(a)是从斜上方 看按压机构的立体图；圆11(b)是从上方看按压机构的图。图12是详细表 示放电灯1的结构的长度方向的剖视图。
如图7所示，光源收容部2具备：框体部20，由具有长方体形状的绝 缘材料构成；把手部21，设在框体部20的纸面中的铅垂方向的上方侧，用 于在拆装光源收容部20时被握持；固定机构22，把设在框体部20的铅垂 方向下方侧的光源收容部2固定到检查装置100上，并且使放电灯1与触发 装置5电连接。
如图8、图9所示，光源收容部2的框体部20具备光射出部23，该光 射出部23形成为在侧面嵌入用于筛选从放电灯射出的光的透镜27，另外， 形成有用于把冷却风导入到光源收容部2的内部的冷却风导入口24以及用 于把冷却风排出到光源收容部2的外部的冷却风排出口25，从而可以高效 地对放电灯1进行冷却。
构成光源收容部2的主要部分的框体部20需要与放电灯1绝缘，并且， 如上所述，需要尽可能地使产品小型化，例如使用耐热性高的PPS树脂等 的绝缘材料来构成。这里所谓的“绝缘材料”是指具有电绝缘性的材料。 此外，光源收容部2是为了遮蔽向放电灯1周围发出的电磁波，在框体部 20的外表面上形成由金属薄膜26构成的电磁波遮蔽机构。把金属薄膜26 形成在光源收容部2的外表面的原因在于，在把金属薄膜26形成在框体部 20的内表面的情况下，若不使框体部20大型化，则导致框体部20无法与 放电灯1处于绝缘状态。
作为电磁波遮蔽机构的金属薄膜26是例如利用铝等的金属材料的真空 蒸镀或导电涂装等公知的方法，形成在框体部20的外表面。优选金属薄膜 26的厚度是例如0.1μm～100μm左右。
如图10所示，通过利用金属制的钩状弹性体8这样的按压机构来对在 框体部20的外表面中的形成金属薄膜26的范围进行按压，以此来将光源 收容部2固定在检查装置100的内部。如图11所示，钩状弹性体8例如包 括：具备向检查装置100进行固定的多个螺丝孔81c，整体形成为钩状的接 地部81；在相对于该接地部81而垂直的方向上连续延伸的一对的按压部 82。接地部81包括：相对来讲全长较短的底板部81a；在与底板部81a正 交的方向上连续延伸且相对来讲全长较长的底板部81b；在各底板部81a、 81b上形成的螺丝孔81c。各按压部82包括：在与各底板部81a、81b垂直 的方向上连续延伸的一对支撑板部82a、82b；形成在各支撑部82a、82b上 且向光源收容部2的方向弧形弯曲的弹簧部82c。
如图10所示，光源收容部2的2个侧面抵接到钩状弹性体8的各按压 部位，经由钩状弹性体8中的弹簧部82c来按压到检查装置100的内壁， 从而被定位在检查装置100内部的特定位置来进行固定。钩状弹性体8配 置为接地，并且与框体部20的外表面中形成有金属薄膜26的范围抵接。 通过这样，由于框体部20经由钩状弹性体来接地，向放电灯1的周围发出 的电磁波经由形成在框体部20的金属薄膜26以及钩状弹性体8而被发出。 为了使光源收容部2可靠地遮蔽电磁波并经由钩状弹性体8来发出，优选 在框体部20的整个外表面形成金属薄膜26。
这样的钩状弹性体8是在检查装置100的内部，在已配置了光源收容 部2的情况下，利用由一对按压部82的各个弹簧部82c所产生的斥力，经 由各个弹簧部82c固定到可对框体部20的2个侧面施加弹性力的位置上。 这样，因为可以经由钩状弹性体8来按压框体部20的侧面，介隔着框体部 20可以让光源收容部2可靠地接地，同时也可以把光源收容部2可靠地固 定到特定的位置。
而且，如上述的例子那样，通过钩状弹性体8来按压框体部20的形成 有金属薄膜26的范围，并且框体部20接地，但是在本发明不一定必须设 有钩状弹性体8。即，在图8所示的框体部20中，也可以使接地线连接金 属薄膜26。
此外，在框体部20的外表面设有金属薄膜26，这是为了让向放电灯1 的周围发出的电磁波逃散掉，本发明不一定必须在框体部20的外表面设有 金属薄膜26。例如，让贴附在框体部20的外表面的金属箔接地等也是可以 的。
如图12所示，放电灯1是由球状的发光部11与连接到发光部11的两 端的棒状的侧管部12a、12b构成，具备例如经由石英玻璃等的透光性材料 所构成的灯容器10，是通过在侧管部12a、12b分别埋设由钼制成的金属箔 13a、13b来气密密封的箔密封结构的放电灯。
在发光部11的内部空间中，阳极14与阴极15的基端部分别与金属箔 13a、13b的前端部连接、且在中心轴X方向上配置成相互离开，并且在该 内部空间中封入有作为放电用气体的0.5MPa～2MPa左右的氙气。外部导线 16a、16b的前端部与金属箔13a、13b的基端部分别连接，外部导线16a、 16b的基端部分别从侧管部12a、12b的端部伸出至外部。
如图8所示，放电灯1以发光部11位于光源收容部2的光射出部23 的透镜27的附近的方式来进行配置，其中一侧的侧管部12a插入到光源收 容部2的导电性的固定机构22的内部而进行固定，同时从另一侧的侧管部 12b伸出的外部导线16b与供电线18连接，通过该供电线18电连接到光源 收容部2的连接器28上。放电灯1通过具有导电性的固定机构22以及连 接器28与上述的灯电源4电连接。
如图8、图9所示，在光源收容部2的内部中，这样的放电灯1配置为 其阳极位于铅垂方向的上方侧，其中心轴X相对于大地而垂直。通过这样 来配置，不须担心放电灯的破裂，其理由如下。
若假设在放电灯1的中心轴X以相对于大地而水平的状态下点亮放电 灯1，则发光部1内的放电气体的对流成为了原因，因为形成在一对电极间 的放电电弧形成为偏到发光部11的上方侧的内面侧，仅发光部11的上方 侧变成局部的高温状态，在最坏的情况下发光部11有破裂的危险。另一方 面，若在放电灯的中心轴X相对于大地而铅垂的状态下点亮放电灯，则放 电电弧不会形成为偏到发光部11的一部分，可以避免发光部的一部分变成 局部的高温状态，因此发光部没有破裂的危险。
本发明中所使用的检查装置100的放电灯，是使用氙气作为上述放电 气体的灯，也可以使用作为投影机的光源在点灯时水银蒸气压为150个大 气压以上的超高压水银灯、短弧型金属卤化物灯、氙气闪光灯等。特别是， 若使用封入了上述氙气的放电灯，则容易实现点光源化，从而可以提高亮 度，在波长250～1100nm的较大波长范围中具有连续光谱，特别是在用于 吸光度测定的波长范围(具体上300～800nm的波长范围)中不会产生亮线， 能够得到安定的放射光谱，因此可以进行精度良好的吸光测定。
如上所述，在本发明的检查装置中，例如，如微芯片7的检查流体收 容部71那样，需要对极狭小的光路使光入射，为了提高测定的精度，不优 选高亮度的放电灯1。从而，放电灯1的额定功率，例如在20～150W的范 围内，特别优选在40～60W的范围内。
回到图8、图9，说明关于设在光源收容部2的框体部20的冷却风导 入口24、冷却风排出口25。在框体部20中，以后述的方式来形成冷却风 导入口24以及冷却风排出口25。框体部20形成占其侧面比较大的面积的 开口，同时以覆盖该开口的方式通过螺丝锁紧等的方式固定具有多个细小 开口的金属板，利用金属板的开口来形成冷却风导入口24及冷却风排出口 25。
如上所述，光源收容部2相对于放电灯1是比较小，并且框体部20由 绝缘材料构成，因此与用金属来构成框体部20的情况相比，光源收容部2 的内部空间在放电灯1的点灯时容易成为高温状态。接着，若如图12所示 的放电灯1的侧管部12a、12b变成过高的高温状态，则存在侧管部12a、 12b破损、丧失气密性的危险，因此希望在光源收容部2的内部导入冷却风 来冷却放电灯1的侧管部12a、12b。
在光源收容部2中，冷却风导入口24以与放电灯1的阴极侧的侧管部 12a相对的方式设置在铅垂方向的靠下方侧的位置上，冷却风排出口25以 与放电灯1的阳极侧的侧管部12b相对的方式设置在铅垂方向的靠上方侧 的位置上。即，在光源收容部2形成在冷却风导入口24及冷却风排出口25 在铅垂方向上上下相互隔开的位置上。这样，导入到光源收容部2的内部 的冷却风通过放电灯1的各个侧管部12a、12b的附近，由此，在放电灯1 的点灯时避免各侧管部12a、12b变成过高的高温状态。
在上述的光源收容部2中，冷却风导入口24形成在框体部20的铅垂 方向的靠下方侧的位置上，当从冷却风导入口24导入的冷却风，通过在放 电灯1的点灯时变成高温状态的发光部11的附近时，因发光部11而变暖， 再通过对流从冷却风排出口25排出到框体部20的外面，因此可以使放电 灯1有效地冷却。
根据上述的框体部20，在2个侧面分别形成有由具有多个细小的开口 的金属板构成的冷却风导入口24以及冷却风排出口25。若形成在金属板的 开口径极度过大，则可能无法遮蔽向放电灯1的周围发出的电磁波，因此 可以基于电波(电磁波)的速度与电磁波的频率的关系来适当地决定，但在放 电灯受到了较大的冲击的情况下放电灯有破裂的危险，为了确保能够防止 构成放电灯的石英玻璃等的透光性材料飞散，优选开口径为φ1mm～φ 10mm左右。
使用图4来更进一步详细说明本发明的检查装置100的其它的结构。
受光部140是接收透过了填充在微芯片7的检查流体收容部71中的检 查流体的光，具有根据已接收的光来输出光强度信号的功能。例如，受光 部140是使用对波长300～1100nm的波长范围的光具有感度的硅光电二极 管(silicon photo diode)等的组件。
运算部110是与受光部140连接，根据从受光部输出的光强度信号， 具有通过例如经由朗伯-比尔定律(Lambert-Beer Law)来计算在检查流体中 的检体成分的浓度的运算机构。
显示部120的功能是把从运算部110输出的有关检体成分的浓度的分 析结果显示为例如数值数据等的，例如，由液晶面板等的显示组件来构成。
在这样的本发明的检查装置100中，从放电灯1放射出的光，通过设在 光源收容部2的透镜27而变为平行的光，被导入到微芯片7的检查流体收 容部71内。导入到检查流体收容部71的光，被含有在检查流体中的检体 成分吸收一部分，没被吸收的一部分导入到受光部140。接着，从受光部 140接收的光的平均值被进行光电变换后的电信号作为光强度信号而被输 出，输入到运算部110，通过这样来计算检查流体中的检体成分的浓度，已 计算的检体成分的浓度显示在显示部120。
在上述这样的本发明的检查装置100中，收容放电灯1的光源收容部2 由绝缘材料所构成，并且，在该光源收容部2的框体部20的外部，设有由 接地的金属薄膜26构成的遮蔽机构，从而能够获得以下的效果。
即，用绝缘材料来构成框体部20，即使在使用相对于放电灯1而比较 小型的框体部20的情况下，也可以让框体部20与放电灯1处于绝缘状态， 并且，在放电灯1点灯时，即使从放电灯1发出电磁波，也可以通过接地的 金属薄膜26来使电磁波逃逸掉，因此，可以可靠地回避检查装置100内部 的精密设备(例如运算部110等)产生误动作之类的情况。
此外，对于在框体部20的外表面形成由金属薄膜26构成的遮蔽机构 的情况，与不在框体部20上设置而另外单独设置遮蔽机构的情况相比，在 检查装置100的内部不必设置多余的空间，因此可以使检查装置100小型 化。
此外，用接地的钩状弹性体8这样的按压机构来按压框体部20的外表 面中形成金属薄膜26的范围，因此可以将框体部20的金属薄膜26可靠地 接地，此外，通过框体部20可以把光源收容部2可靠地定位在检查装置100 内部的特定的位置。
另外，由于具备冷却风供给机构3，而且在框体部20设有冷却风导入 口24及冷却风排出口25，因此即使框体部20使用与金属材料相比耐热性 方面不好的绝缘材料来构成，也能够可靠地避免框体部20的熔解。
另外，通过将放电灯1配置为其中心轴X相对于大地而垂直的姿势来 进行点灯，可以避免发生仅发光部11的一部分变成局部的高温状态而破损 的情况。
更进一步，通过把冷却风导入口24设在与位于在放电灯1的铅垂方向 的下方侧的侧管部12a相对的位置上、把冷却风排出口25设在与位于放电 灯1的铅垂方向的上方侧的侧管部12b相对的位置上，能够冷却放电灯1的 各个侧管部12a、12b，因此，各个侧管部12a、12b不会变成过高的高温状 态，可以避免发生各个侧管部12a、12b破损的情况。
另外，本发明的检查装置100不仅限定于上述的实施方式，可以在不 超出发明的实质的范围内进行种种的变更。此外，芯片保持器6、微芯片7 等的形状在上述的实施方式中只不过是一例，可以根据需要来做适当的变 更。