技术领域
[0001] 本
发明涉及电阻率检测技术领域，具体而言，涉及一种电阻率检测仪及电阻率检测方法。
背景技术
[0002] 电阻率是
半导体材料的重要电学参数之一，常用的半导体电阻率测试方法包括两探针法、四探针法、单探针扩展电阻法、范德堡法。四探针法可以消除
电极与样品
接触电阻以及电极、连接
导线体电阻产生的误差，克服了传统的二端法测量粉末电阻率仪器的弊端，可以更准确地测量粉末样品的电阻率。
[0003] 现有的四探针法半导体电阻率检测仪对环境要求比较高，为提高试验的
精度，通常要进行重复性试验3次左右。半导体电阻率测试过程中，通常所需样品
质量较轻，样品呈粉末或晶体状。在加料过程中，易产生静电，导致半导体材料会飞溅
吸附在加料
台面上，造成重复性试验加料质量不一致，测试结果不准确，误差偏大等问题。
发明内容
[0004] 本发明的目的在于提供一种电阻率检测仪及电阻率检测方法，能够提高重复性试验时添加的待测试样品质量的统一性，减小重复性试验测试误差，提升测试的精度。
[0006] 本发明实施例的一方面，提供一种电阻率检测仪，包括
支撑架，以及设置在所述支撑架上的上
工作台和下工作台，在所述上工作台上设置有粉末标准容器，在所述粉末标准容器中心设置有通孔，在所述下工作台中心设置有与所述通孔对应的承载杆，所述承载杆包括座体部，所述座体部设置在所述承载杆的底端，在所述座体部上设置有高度
传感器，用于检测所述通孔预留的深度，在所述承载杆的上端设置有下电极，所述支撑架包括上连接板和下连接板，在所述上连接板上设置有加压机构，所述加压机构的底端设置有可升降的且与所述通孔对应的上电极，在所述下连接板上设置有
压力传感器,在所述
压力传感器与所述座体部之间设置有质量传感器，所述压力传感器、所述质量传感器、所述上电极和所述下电极均与显示器电连接。
[0007] 可选地，所述加压机构包括用于调节所述上电极升降的调节旋钮，所述调节旋钮上设置有卡接部，在所述卡接部上设置有可拆卸的拨杆。
[0008] 可选地，所述电阻率检测仪还包括设置在所述上连接板上表面的刻度盘，以及设置在所述卡接部上表面的指向针。
[0009] 可选地，所述加压机构包括固定座，所述固定座设置在所述上连接板的下表面。
[0010] 可选地，在所述下连接板上固定设置有调节螺杆，所述调节螺杆穿过所述上工作台和所述下工作台，在所述调节螺杆上设置有调节
螺母，所述调节螺母抵持在所述上工作台的上表面，用于调节所述上工作台在所述支撑架上的高度。
[0011] 可选地，所述电阻率检测仪还包括套设在所述调节螺杆上的第一
弹簧，所述第一弹簧的一端与所述上工作台的下表面抵接，另一端与所述下连接板的上表面抵接。
[0012] 可选地，所述粉末标准容器的制作材料包括聚氯乙烯或三
氧化二
铁。
[0013] 可选地，在所述上连接板与所述下连接板之间设置有导向杆，所述上工作台通过导滑套与所述导向杆滑动连接，所述下工作台与所述导向杆固定连接。
[0014] 可选地，在所述承载杆上套设有第二弹簧，所述第二弹簧抵持在所述上工作台与所述下工作台之间。
[0015] 本发明实施例的另一方面，提供一种电阻率检测方法，包括：抬起上电极，使上电极远离粉末标准容器，显示器示值调零，其中，所述显示器示值包括压力值和质量值；在通孔内加入待检测粉末样品；压下上电极，使所述上电极靠近粉末标准容器；接通所述上电极和下电极电源，微调加压机构，压下所述上电极，对待检测粉末样品施压；获取测得的电阻率值；取出压制的料片。
[0016] 本发明实施例的有益效果包括：
[0017] 本发明实施例提供的电阻率检测仪及电阻率检测方法，通过在下工作台中心设置的与通孔对应的承载杆，使待测试粉末样品滞留在通孔内，不会洒落，方便进行测试，也使承载杆更加稳定，减小了承载杆的晃动。通过设置在承载
杆底端的座体部，使承载杆与质量传感器的连接更加稳定，测量结果更精确。通过与显示器电连接的压力传感器、质量传感器、上电极和下电极，使测试电阻率的过程更加直观，方便操作人员参考，减小了操作难度，使测试结果更加精确。
附图说明
[0018] 为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本发明的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0019] 图1为本发明实施例提供的电阻率检测仪的结构示意图之一；
[0020] 图2为本发明实施例提供的显示器的结构示意图；
[0021] 图3为图1的俯视图；
[0022] 图4为本发明实施例提供的电阻率检测仪的结构示意图之二。
[0023] 图标：100-电阻率检测仪；110-支撑架；113-导向杆；115-上连接板；117-下连接板；120-上工作台；123-粉末标准容器；130-下工作台；135-导滑套；140-承载杆；143-座体部；145-高度传感器；147-下电极；149-第二弹簧；150-加压机构；151-固定座；152-上电极；154-调节旋钮；155-卡接部；156-拨杆；157-刻度盘；158-指向针；160-压力传感器；170-质量传感器；180-显示器；182-显示区；184-控制区；190-调节螺杆；192-调节螺母；194-第一弹簧。
具体实施方式
[0024] 为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本发明实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0025] 因此，以下对在附图中提供的本发明的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本发明的范围，而是仅仅表示本发明的
选定实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
[0026] 应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0027] 在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“
水平”、“内”、“外”等指示的方位或
位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该发明产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0028] 此外，术语“水平”、“竖直”等术语并不表示要求部件绝对水平或悬垂，而是可以稍微倾斜。如“水平”仅仅是指其方向相对“竖直”而言更加水平，并不是表示该结构一定要完全水平，而是可以稍微倾斜。
[0029] 在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
[0030] 请参照图1和图2，本实施例提供一种电阻率检测仪100，包括支撑架110，以及设置在支撑架110上的上工作台120和下工作台130，在上工作台120上设置有粉末标准容器123，在粉末标准容器123中心设置有通孔，在下工作台130中心设置有与通孔对应的承载杆140，承载杆140包括座体部143，座体部143设置在承载杆140的底端，在座体部143上设置有高度传感器145，用于检测通孔预留的深度，在承载杆140的上端设置有下电极147，支撑架110包括上连接板115和下连接板117，在上连接板115上设置有加压机构150，加压机构150的底端设置有与通孔对应的上电极152，在下连接板117上设置有压力传感器160,在压力传感器160与座体部143之间设置有质量传感器170，压力传感器160、质量传感器170、上电极152和下电极147均与显示器180电连接。
[0031] 需要说明的是，第一，上工作台120与下工作台130之间平行设置，并且粉末标准容器123的中心与下工作台130的中心在同一直线上。这样一来，通过下工作台130中心设置的承载杆140与通孔之间的配合更加紧密，同时也减小了承载杆140受力不均而歪斜的可能，可靠度更高。
[0032] 第二，质量传感器170用于检测添加到通孔内的待检测粉末样品质量的多少，电阻率检测仪100可以提前预设需添加的待检测粉末样品的质量。同时，在添加待检测粉末样品时，显示器180的显示区182可以显示当前添加的样品的多少，控制区184用于更改参数设置(如图2所示)，当添加的质量偏离预设质量0.002克之内时，可以进行试验(不在范围内时，可根据显示器180的指示进行相应的增减操作)。方便对不同的样品进行试验，减少了操作难度。
[0033] 第三，本发明实施例对支撑架110与显示器180之间的位置关系不做具体限制，示例的，支撑架110可以直接放置在试验平台上进行操作，在实验平台位置有限时，也可以放置在显示器180上以减小占地面积。
[0034] 本发明实施例提供的电阻率检测仪100，通过在下工作台130中心设置的与通孔对应的承载杆140，使待测试粉末样品滞留在通孔内，不会洒落，方便进行测试，也使承载杆140更加稳定，减小了承载杆140的晃动。通过设置在承载杆140底端的座体部143，使承载杆
140与质量传感器170的连接更加稳定，测量结果更精确。通过与显示器180电连接的压力传感器160、质量传感器170、上电极152和下电极147，使测试电阻率的过程更加直观，方便操作人员参考，减小了操作难度，使测试结果更加精确。
[0035] 如图3所示，加压机构150包括用于调节上电极152升降的调节旋钮154，调节旋钮154上设置有卡接部155，在卡接部155上设置有可拆卸的拨杆156。
[0036] 需要说明的是，本发明对卡接部155的形状不做具体限制，可以是多边形结构，示例的，如图3所示，卡接部155设置为正六边形。这样一来，方便拨杆156与卡接部155之间配合或拆卸。在需要快速提升或者降下上电极152时，可以借助拨杆156进行快速的操作，节省了操作时间，同时也使调节过程中更加方便。在需要微调时，可取下拨杆156，直接用
手指旋转调节旋钮154，减小了使用拨杆156时，在不同的
角度拨杆156受力的大小和方向不一致，造成电阻率检测仪100晃动，进而影响试验精度的问题。
[0037] 进一步地，电阻率检测仪100还包括设置在上连接板115上表面的刻度盘157，以及设置在卡接部155上表面的指向针158。
[0038] 这样一来，在根据显示器180显示的压力值微调时，可以通过指向针158在刻度盘157上指示的角度来有目的转动调节旋钮154，使加压过程中有可以参考的对象来转动调节旋钮154进行逐步加压，减小了盲目的转动调节旋钮154时，压力调过而使试验失败的
风险。
[0039] 如图1所示，加压机构150包括固定座151，固定座151设置在上连接板115的下表面。
[0040] 这样一来，可以使加压机构150更加稳定的固定在上连接板115上。另外，拆卸组装维护过程也更简单方便，同时，有利于保护上电极152，减小上电极152损坏的几率。
[0041] 如图1所示，在下连接板117上固定设置有调节螺杆190，调节螺杆190穿过上工作台120和下工作台130，在调节螺杆190上设置有调节螺母192，调节螺母192抵持在上工作台120的上表面，用于调节上工作台120的高度。
[0042] 具体的，根据测量的粉末的不同和所需高度的不同，使用调节螺母192进行调节时，可参考显示器180显示的高度传感器145检测到的值来决定调节螺母192的调节量。这样一来，可以灵活调节通孔内可加入样品的深度，进行不同样品的检测，简化了操作过程。
[0043] 如图1所示，电阻率检测仪100还包括套设在调节螺杆190上的第一弹簧194，第一弹簧194的一端与上工作台120的下表面抵接，另一端与下连接板117的上表面抵接。
[0044] 这样一来，可以使调节上工作台120时更加稳定，减小了调节上工作台120时，由于螺牙间的间隙导致上工作台120调节后的高度与实际需要调节的高度存在的偏差。使调节的精度更容易把控，也使调节过程中上工作台120的运动更加平稳，增强了用户体验。
[0045] 粉末标准容器123的制作材料包括聚氯乙烯或三氧化二铁。示例的，粉末标准容器123可以为陶瓷材料，并在陶瓷材料中添加聚氯乙烯或三氧化二铁。这样一来，粉末标准容器123就可以在添加待检测粉末的时候把粉末标准容器123上产生的静电及时导出去，减少了静电的影响，使添加待检测粉末时更为容易，减少了因静电而吸附到粉末标准容器123其他区域的可能性。
[0046] 如图4所示，在上连接板115与下连接板117之间设置有导向杆113，上工作台120通过导滑套135与导向杆113滑动连接，下工作台130与导向杆113固定连接。
[0047] 具体的，两导向杆113之间平行设置，上连接板115与下连接板117之间平行设置，导向杆113与上连接板115之间竖直设置，上工作台120通过导滑套135与导向杆113滑动连接。这样一来，在使用加压机构150降下上电极152后，对粉末标准容器123施压过程中，上工作台120会沿着导向杆113向下移动。同时，把添加到粉末标准容器123内的待检测粉末压成片状。
[0048] 如图4所示，在承载杆140上套设有第二弹簧149，第二弹簧149抵持在上工作台120与下工作台130之间。
[0049] 这样一来，在测试结束后，上电极152抬升的同时，第二弹簧149恢复弹性形变，上工作台120会随着上电极152回升到初始位置。方便了操作人员进行二次测量，也节约了调试电阻率检测仪100的时间，提升了工作效率。
[0050] 本发明实施例还提供了一种电阻率检测方法，包括：
[0051] S100、抬起上电极152，使上电极152远离粉末标准容器123，显示器180示值调零，其中，显示器180示值包括压力值和质量值。
[0052] S200、在通孔内加入待检测粉末样品。
[0053] 其中，在加入待检测粉末样品前，可以预先设定需添加样品的质量值，在添加待检测粉末样品的同时，观察显示器180显示的质量值，方便控制添加样品的质量。添加完成后，把待检测粉末样品稍
压实、压平，方便下一步操作。
[0054] S300、压下上电极152，使上电极152靠近粉末标准容器123；
[0055] 具体的，在上电极152靠近粉末标准容器123时，可以进行快速推进，以节省试验所需的时间。
[0056] S400、接通上电极152和下电极147电源，微调加压机构150，压下上电极152，对待检测粉末样品施压；
[0057] 在上电极152靠近粉末标准容器123后，加压过程中，需要同时观察显示器180显示的
电压值，并且微调加压机构150，防止施加压力过大导致试验失败。
[0058] S500、获取测得的电阻率值；
[0059] S600、取出压制的料片。
[0060] 取出压制的料片过程中，抬起上电极152，然后借助退料器，把退料器套设在上电极152处，压下加压机构150，通过退料器对上工作台120和粉末标准容器123施压，使压制的料片弹出到退料器的腔体内。或者抬起上电极152，然后手动压下上工作台120和粉末标准容器123，使压制的料片从粉末标准容器123内弹出。需要注意的是，在取出压制的料片时，注意观察显示器180显示的高度传感器145检测到的值，防止操作失误导致设备损坏，取料完成后还需清理残留样品，方便下次使用。
[0061] 本发明实施例公开的电阻率检测方法，通过显示器180以及质量传感器170使添加的待检测粉末样品的量更加精准，减少了试验的误差，操作简化，最终的测量精度更高。
[0062] 以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何
修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
