1.一种用于供应流体以供使用的组合物，其包括使流体可逆地吸附于其上的吸附剂，其中所述吸附剂包括选自由氧化钛、氧化锆、硅质岩、金属有机架构MOF材料及聚合物架构PF材料组成的群组的材料，其中所述流体包括用于制造半导体产品、平板显示器、太阳能面板或其组件或子组合件的流体，且其中当所述流体包括硅烷或乙硅烷时，所述吸附剂可额外地包括硅石。
2.根据权利要求1所述的组合物，其中所述流体选自由硅烷、乙硅烷、锗烷、乙硼烷及乙炔组成的群组。
3.根据权利要求1所述的组合物，其中所述流体包括硅烷。
4.根据权利要求1所述的组合物，其中所述吸附剂包括硅质岩。
5.根据权利要求1所述的组合物，其处于亚大气压力。
6.根据权利要求1所述的组合物，其中所述吸附剂呈选自由粉末、珠粒、丸粒、锭、硬凝块及单块组成的群组的形式。
7.根据权利要求1所述的组合物，其中所述吸附剂包括多孔性，其中至少40％的细孔具有小于1nm的尺寸。
8.一种用于供应硅烷以供使用的组合物，其包括使硅烷可逆地吸附于其上的硅石或硅质岩。
9.一种流体供应包装，其包括含有根据权利要求1到8中任一权利要求所述的组合物的流体存储及施配容器，及经配置以在施配条件下从所述容器施配流体的施配组合件。
10.根据权利要求9所述的流体供应包装，其中所述流体包括硅烷。
11.根据权利要求9所述的流体供应包装，其中所述吸附剂包括硅质岩。
12.根据权利要求9所述的流体供应包装，其中所述流体包括硅烷且所述吸附剂包括硅质岩。
13.一种供应流体以供使用的方法，其包括使根据权利要求1到8中任一权利要求所述的组合物经受施配条件。
14.根据权利要求13所述的方法，其中所述施配条件包括使所述组合物暴露于减小压力。
15.一种供应硅烷以供使用的方法，其包括从根据权利要求8所述的组合物解吸硅烷。
16.一种供应流体以供使用的方法，其包括在施配条件下从根据权利要求9所述的流体供应包装施配流体。
17.根据权利要求16所述的方法，其包括使所述施配流体流动到用于选自由半导体产品、平板显示器、太阳能面板及其组件及子组合件组成的群组的产物的制造中的流体利用设备。
18.根据权利要求16所述的方法，其中所述流体包括硅烷。
19.根据权利要求16所述的方法，其中所述吸附剂包括硅质岩。
20.根据权利要求16所述的方法，其中所述流体包括硅烷且所述吸附剂包括硅质岩。
21.一种制造选自由半导体产品、平板显示器、太阳能面板及其组件及子组合件组成的群组的产物的方法，所述方法包括使用从根据权利要求1到8中任一权利要求所述的组合物解吸的流体。
22.根据权利要求21所述的方法，其中所述流体包括硅烷。
23.一种制造选自由半导体产品、平板显示器、太阳能面板及其组件及子组合件组成的群组的产物的方法，所述方法包括在所述制造方法的流体利用制造操作中使用从根据权利要求9到12中任一权利要求所述的流体供应包装施配的流体。
24.根据权利要求23所述的方法，其中所述流体包括硅烷。
25.一种从纳米多孔碳起始材料产生纳米多孔碳的减小尺寸粒子的方法，所述方法包括：
将浸润剂引入到所述纳米多孔碳起始材料的多孔性中；及
活化所述浸润剂以对所述纳米多孔碳起始材料的所述多孔性施加剥离性有效膨胀作用，以剥离所述纳米多孔碳起始材料并从所述纳米多孔碳起始材料产生减小尺寸的纳米多孔碳粒子。
26.根据权利要求25所述的方法，其中所述浸润剂包括选自由下列物质组成的群组的剂：酸；酸的混合物；碱金属；氨；有机溶剂；及前述物质的两者或两者以上的混合物。
27.根据权利要求25所述的方法，其中所述浸润剂包括硫酸：硝酸混合物。
28.根据权利要求25所述的方法，其中所述纳米多孔碳起始材料的至少30％的所述多孔性包括从0.5nm到1nm的范围中的尺寸的细孔。
29.根据权利要求25所述的方法，其中所述纳米多孔碳起始材料的所述多孔性包括狭缝形细孔。
30.根据权利要求25所述的方法，其中所述纳米多孔碳起始材料具有从100μm到200μm的范围中的件尺寸。
31.根据权利要求25所述的方法，其中所述纳米多孔碳起始材料具有从100μm到200μm的范围中的平均件尺寸。
32.根据权利要求25所述的方法，其包括所述引入及所述活化步骤的重复循环，以从所述纳米多孔碳起始材料实现所要程度的减小尺寸粒子产生。
33.根据权利要求25所述的方法，其中所述纳米多孔碳起始材料包括PVDC或PVDC-PMA共聚物热解物。
34.根据权利要求25所述的方法，其中减小尺寸的所述纳米多孔碳粒子包括从5μm到50μm的范围中的尺寸的粒子。
35.根据权利要求25所述的方法，其中减小尺寸的所述纳米多孔碳粒子包括从10μm到
40μm的范围中的尺寸的粒子。
36.根据权利要求25所述的方法，其中减小尺寸的所述纳米多孔碳粒子包括从12μm到
30μm的范围中的尺寸的粒子。
37.根据权利要求25所述的方法，其中减小尺寸的所述纳米多孔碳粒子包括从15μm到
25μm的范围中的尺寸的粒子。
38.根据权利要求25所述的方法，其中所述活化包括将能量输入到所述浸润剂。
39.根据权利要求25所述的方法，其中所述活化包括加热所述浸润剂。
40.根据权利要求25所述的方法，其中所述加热包括选自由下列内容组成的群组的至少一个加热操作：炉暴露；火焰暴露；微波辐射暴露；红外辐射暴露；射频感应加热；激光照射；及电流行进穿过所述纳米多孔碳起始材料。
41.根据权利要求25所述的方法，其中所述活化包括引发所述浸润剂经历放热化学反应。
42.根据权利要求25所述的方法，其中所述活化包括所述浸润剂的电化学插入。
43.根据权利要求25所述的方法，其中所述活化包括选择性地改变pH、压力及温度中的至少一者。
44.根据权利要求25所述的方法，其中所述活化包括使所述浸润剂与用于其的活化剂接触。
45.根据权利要求25所述的方法，其中所述活化包括引发涉及所述浸润剂的化学反应以产生气体作为反应产物。
46.根据权利要求45所述的方法，其中所述化学反应包括碱金属水的反应以产生氢气及金属氢氧化物。
47.根据权利要求45所述的方法，其中所述化学反应包括碳酸氢铵根据反应NH4HCO3(aq)→NH3(g)+CO2(g)+H2O(g)的分解。
48.根据权利要求25所述的方法，其进一步包括处理减小尺寸的所述纳米多孔碳粒子以从其移除活化及剥离残余物。
49.根据权利要求48所述的方法，其中所述处理包括减小尺寸的所述纳米多孔碳粒子的加热。
50.根据权利要求48所述的方法，其中所述处理包括用溶剂漂洗所述纳米多孔碳粒子。
51.根据权利要求50所述的方法，其中所述溶剂包括水。
52.根据权利要求25所述的方法，其进一步包括处理减小尺寸的所述纳米多孔碳粒子以从其所述多孔性移除外来材料。
53.根据权利要求25所述的方法，其进一步包括处理减小尺寸的所述纳米多孔碳粒子，以从其复原经预先确定粒子尺寸范围中的纳米多孔碳粒子。
54.根据权利要求53所述的方法，其中复原经预先确定粒子尺寸范围中的纳米多孔碳粒子的所述处理包括筛选。
55.根据权利要求25所述的方法，其进一步包括处理减小尺寸的所述纳米多孔碳粒子，以从其复原经预先确定粒子尺寸分布的纳米多孔碳粒子。
56.根据权利要求55所述的方法，其中复原经预先确定粒子尺寸分布的纳米多孔碳粒子的所述处理包括筛选。
57.根据权利要求25所述的方法，其进一步包括通过化学处理处理减小尺寸的所述纳米多孔碳粒子以控制其疏水性及亲水性。
58.根据权利要求25所述的方法，其进一步包括通过其表面钝化处理减小尺寸的所述纳米多孔碳粒子。
59.根据权利要求25所述的方法，其进一步包括掺杂减小尺寸的所述纳米多孔碳粒子。
60.一种纳米多孔碳粒子，其通过根据权利要求25到59中任一权利要求所述的方法产生。
61.一种形成可热解以形成碳热解物吸附剂的多层组合件结构的方法，此方法包括形成包括至少一层可热解起始材料及至少一层渐逝材料的多层结构，及处理所述多层结构以形成包含相对于在此处理之前的所述多层结构的增大数目个可热解起始材料层及渐逝材料层的倍增多层结构，作为可热解以形成所述碳热解物吸附剂的所述多层组合件结构。
62.根据权利要求61所述的方法，其中所述可热解起始材料包括PVDC或PVDC共聚物。
63.根据权利要求61所述的方法，其中所述可热解起始材料包括PVDC-MA共聚物。
64.根据权利要求61所述的方法，其中处理所述多层结构以形成倍增多层结构包括折叠所述多层结构。
65.根据权利要求64所述的方法，其中处理所述多层结构以形成倍增多层结构包括所述多层结构的重复折叠。
66.根据权利要求61所述的方法，其中处理所述多层结构以形成倍增多层结构包括对所述多层结构执行的展开、切割及堆叠操作。
67.根据权利要求66所述的方法，其中所述展开、切割及堆叠操作包括至少一个展开/切割/堆叠序列。
68.根据权利要求66所述的方法，其中所述展开、切割及堆叠操作包括展开/切割/堆叠序列的多个重复。
69.根据权利要求61所述的方法，其中处理所述多层结构以形成倍增多层结构包括卷起所述可热解起始材料层及所述渐逝材料层以形成所述倍增多层结构作为料卷。
70.根据权利要求61所述的方法，其中处理所述多层结构以形成倍增多层结构包括将充满所述渐逝材料的网筛插置于所述可热解起始材料层之间。
71.根据权利要求61所述的方法，其进一步包括从所述倍增多层结构切割经预先确定形状的多层物品。
72.根据权利要求61所述的方法，其中处理所述多层结构以形成倍增多层结构包括将一层所述渐逝材料施覆于一层所述可热解起始材料。
73.根据权利要求72所述的方法，其进一步包括卷起使所述渐逝材料层施覆于其的所述可热解起始材料层，以形成所述倍增多层结构作为料卷。
74.根据权利要求61所述的方法，其中所述渐逝材料含有非渐逝材料，其在所述渐逝材料渐逝后旋即组成所述碳热解物吸附剂中的间隔材料。
75.根据权利要求74所述的方法，其中所述非渐逝材料包括选自由碳纳米管、石墨烯片、碳须晶、碳黑、巴克球、铝硅酸盐粉末、碳化硅粒子、沸石材料、金属有机架构MOF材料及金属及金属合金体组成的群组的至少一个材料。
76.一种形成碳热解吸附物的方法，其包括使通过根据权利要求61到75中任一权利要求所述的方法产生的多层组合件结构经受热解，以使所述渐逝材料渐逝同时热解所述多层组合件结构中的所述可热解起始材料层中的所述可热解起始材料，以产生所述碳热解物吸附剂。
77.一种通过根据权利要求76所述的方法产生的碳热解物吸附剂。
78.一种碳热解物物品，其包括根据权利要求77所述的碳热解物吸附剂。
79.一种流体过滤、冲洗或分离设备，其包括根据权利要求78所述的碳热解物物品。
80.一种制作碳热解物吸附剂的方法，其包括将可热解起始材料与金属丝掺合以形成复合可热解起始材料，热解所述可热解起始材料以形成复合热解物，及使所述复合热解物与有效地从所述复合热解物至少部分移除所述金属丝的移除剂接触，以形成所述碳热解物吸附剂。
81.根据权利要求80所述的方法，其中所述可热解起始材料包括聚偏二氯乙烯聚合物或共聚物。
82.根据权利要求80所述的方法，其中所述热解起始材料包括PVDC-MA。
83.根据权利要求80所述的方法，其中所述金属丝包括铁丝。
84.根据权利要求80所述的方法，其中所述移除剂包括酸。
85.根据权利要求84所述的方法，其中所述酸包括盐酸、硫酸或硝酸。
86.根据权利要求80所述的方法，其中所述移除剂包括溶剂。
87.根据权利要求80所述的方法，其中所述移除剂有效地实现从所述复合热解物基本上完全移除金属丝。
88.一种使用根据权利要求80所述的过程制造的碳热解物吸附剂。
89.一种用于制造气体供应包装的过程，其包括在热解炉中热解可热解起始材料以形成在排放位置处从所述热解炉排放的碳热解物吸附剂，及在包含施配组合件的气体存储及施配容器中包装所述排放位置处的所述碳热解物吸附剂，以形成所述气体供应包装。
90.根据权利要求89所述的过程，其中所述可热解起始材料呈选自由粉末、颗粒、丸粒、单块形式、砖块、组块、球体及圆柱盘或此类形式的两者或两者以上的组合组成的群组的形式。
91.根据权利要求90所述的过程，其中所述可热解起始材料呈圆柱盘的形式。
92.根据权利要求89所述的过程，其中所述气体存储及施配容器呈圆柱形式。
93.根据权利要求92所述的过程，其中所述碳热解物吸附剂在所述气体存储及施配容器中包装成所述碳热解物吸附剂的圆柱盘堆叠，其中所述堆叠中的邻近圆柱盘与彼此成面对面邻接关系。
94.根据权利要求93所述的过程，其中所述堆叠中的所述圆柱盘具有密切逼近所述容器的内径的直径。
95.根据权利要求89所述的过程，其中在包括所述热解炉安置于其中的壳体的制造设施中实施所述气体供应包装的制造。
96.根据权利要求95所述的过程，其中如安置于其中的所述壳体包括所述排放位置中的填充站，以将所述碳热解物吸附剂包装在所述气体供应包装中。
97.一种碳热解物物品的预包装，其包括盛放碳热解物物品阵列的容器，所述容器不透气且经配置以在碳热解物物品的所述预包装已经安装于气体供应包装中之后随后原位打开。
98.根据权利要求97所述的碳热解物物品的预包装，其中所述容器包括袋。
99.根据权利要求98所述的碳热解物物品的预包装，其中所述袋包括聚脂薄膜或其它金属化膜，或多层聚合膜。
100.根据权利要求98所述的碳热解物物品的预包装，其中所述袋密封。
101.根据权利要求97所述的碳热解物物品的预包装，其中所述碳热解物物品阵列包括圆柱盘形碳热解物物品堆叠，其中所述堆叠中的邻近对碳热解物物品与彼此成面对面邻接关系。
102.一种气体供应包装，其包括盛放根据权利要求89所述的碳热解物物品的预包装的气体存储及施配容器，及固定于所述气体存储及施配容器的气体施配组合件。
103.一种供应气体以供使用的方法，其包括提供根据权利要求89所述的碳热解物物品的预包装以安装于气体供应包装中。
104.一种供应气体以供使用的方法，其包括将根据权利要求89所述的碳热解物物品的预包装安装于气体供应包装中。
105.一种供应气体以供使用的方法，其包括在气体供应包装中原位打开根据权利要求
89所述的碳热解物物品的预包装。
106.一种提高碳热解物吸附剂的纯度的方法，其包括使所述吸附剂与有效地从所述吸附剂置换杂质的置换气体接触，及从所述吸附剂移除所述置换气体，以产生提高纯度碳热解物吸附剂。
107.根据权利要求106所述的方法，其中在高温下实施所述接触。
108.根据权利要求107所述的方法，其中在所述温度的调制下实施所述接触。
109.根据权利要求106所述的方法，其中所述接触实施达足以从所述吸附剂移除至少
98％重量的所述杂质的一段时间。
110.根据权利要求106所述的方法，其中在压力的调制下实施所述接触。
111.根据权利要求106所述的方法，其中以涉及所述置换气体流动到所述吸附剂以与其接触的循环重复方式进行所述接触，接着进行来自所述吸附剂的所述置换气体的冲洗，其中所述接触及所述冲洗实施达至少一个重复循环。
112.根据权利要求106所述的方法，其中所述置换气体包括惰性气体。
113.根据权利要求106所述的方法，其中所述置换气体包括氮、氦、氩、氙或氪中的一或多者。
114.根据权利要求106所述的方法，其中所述置换气体包括还原气体。
115.根据权利要求114所述的方法，其中所述还原气体包括氢。
116.根据权利要求114所述的方法，其中所述还原气体包括硫化氢。
117.根据权利要求106所述的方法，其中所述置换气体包括与还原气体组合的惰性气体。
118.根据权利要求106所述的方法，其中所述提高纯度碳热解物吸附剂与四氟化锗GeF4接触。
119.根据权利要求106到118中任一权利要求所述的方法，其进一步包括所述吸附剂的高温脱气。
120.根据权利要求106所述的方法，其中所述置换气体在从20到1600psig的范围中的压力下与所述置换气体接触。
121.根据权利要求106到118中任一权利要求所述的方法，其包括将所述提高纯度碳热解物吸附剂包装在气体供应包装中。
122.根据权利要求121所述的方法，其中所述气体供应包装包括其排放端口处的过滤器。
123.根据权利要求122所述的方法，其中所述过滤器包括可弃置或可处理以重新使用的过滤元件。
124.根据权利要求121所述的方法，其中干燥剂或涤气介质用所述提高纯度碳热解物吸附剂包装于所述气体供应包装中。
125.根据权利要求124所述的方法，其中所述干燥剂或涤气介质包括CO2吸气剂。
126.一种气体供应包装，其包括用于盛放吸附气体以存储于其上且解吸气体以在所述包装的施配条件下从所述气体供应包装排放的吸附剂，其中所述吸附剂包括二硫化钼MoS2。
127.根据权利要求126所述的气体供应包装，其中所述吸附剂包括选自由粉末、颗粒、丸粒及单块形式组成的群组的吸附剂形式。
128.根据权利要求127所述的气体供应包装，其中所述吸附剂包括单块形式的许多吸附剂物品。
129.一种提高碳热解物吸附剂的纯度的方法，其包括在所述吸附剂经受脱气时，以分开形式及分开形式尺寸提供所述吸附剂以实现所述碳热解物吸附剂中的至少98％重量的杂质的移除，及脱气所述吸附剂以实现所述移除。
130.一种气体供应包装，其包括盛放吸附剂气体存储介质的气体存储及施配容器，及固定于所述容器的气体施配组合件，其中所述容器包括具有易受所述容器的内部体积中的出口影响的相对较高含量的杂质且呈现所述容器的所述内部体积中的内表面的构造材料，其中所述内表面镀覆有具有易受所述容器的所述内部体积中的出口影响的相对较低含量的杂质的材料。
131.一种气体供应包装，其包括盛放吸附剂气体存储介质的气体存储及施配容器，及固定于所述容器的气体施配组合件，其中所述容器包括铝或铝合金作为构造材料。
132.一种方法，其提高从包括盛放吸附剂气体存储介质的气体存储及施配容器及固定于所述容器的气体施配组合件的气体供应包装施配的气体的纯度，所述方法包括制造所述气体供应包装的所述容器以包括具有抛光平滑内表面饰面的内部容器表面。
133.根据权利要求132所述的方法，其中所述公布的平滑内表面饰面包括镜饰面。
134.一种提高从使用中的气体供应包装施配的气体的纯度的方法，所述气体供应包装包括盛放吸附剂气体存储介质的气体存储及施配容器，及固定于所述容器的气体施配组合件，其中所述容器包括包含所述吸附剂气体存储介质上方的顶部空间的内部体积，所述方法包括在用吸附气体填充所述包装之前或之后快速泵抽所述顶部空间。
135.一种气体供应包装套组，其包括(i)气体供应包装，其包括盛放使吸附气体吸附于其上的吸附剂气体存储介质的气体存储及施配容器，及固定于所述容器以在其施配条件下从所述包装排放所述吸附气体的气体施配组合件，及(ii)数据表示物品或装置中的针对所述供应气体的填充后分析数据，其包含气体纯度。
136.根据权利要求135所述的气体供应包装套组，其中所述数据表示物品或装置包括所述气体供应包装上的含有所述填充后分析数据的RFID标签。
137.一种气体供应包装，其包括盛放吸附剂气体存储介质以将吸附气体存储于其上的气体存储及施配容器，及固定于所述容器以在其施配条件下从所述包装排放所述吸附气体的气体施配组合件，其中所述容器包括DOT3AA圆筒，且所述吸附剂气体存储介质包括基于PVDC的聚合物或共聚物碳热解物吸附剂。
138.根据权利要求137所述的气体供应包装，其中所述碳热解物吸附剂呈丸粒及/或珠粒形式。
139.根据权利要求137所述的气体供应包装，其中所述碳热解物吸附剂包括选自由孔径、孔径分布、块体密度、灰分含量及渗透性中的一或多者组成的群组的不同特性的吸附剂。
140.一种棒形式的碳热解物吸附剂物品，其具有从20到90的范围中的长度L对直径D比。
141.根据权利要求140所述的碳热解物吸附剂物品，其中所述棒具有选自由方形、矩形、圆形、卵形及十字形横截面形状组成的群组的横截面形状。
142.根据权利要求140所述的碳热解物吸附剂物品，其中所述棒具有圆形横截面形状。
143.一种碳热解物吸附剂，其包括根据权利要求140所述的碳热解物吸附剂物品的集束。
144.一种气体供应包装，其包括盛放吸附剂气体存储介质以将吸附气体存储于其上的气体存储及施配容器，及固定于所述容器以在其施配条件下从所述包装排放所述吸附气体的气体施配组合件，其中所述吸附剂介质包括根据权利要求4所述的碳热解物吸附剂物品的集束，其中所述集束经定位在所述容器的颈部中。
145.根据权利要求144所述的气体供应包装，其中所述吸附剂介质进一步包括其它非棒形式的吸附剂介质。
146.根据权利要求145所述的气体供应包装，其中其它非棒形式的所述吸附剂介质包括呈选自由单块形式、珠粒形式及丸粒形式组成的群组的一或多个形式的吸附剂介质。
147.一种制造包含用来供应不同气体的包装的气体供应包装的方法，其中所述气体供应包装各自包括盛放吸附剂以将吸附气体存储于其上的气体存储及施配容器，及固定于所述容器以在其施配条件下从所述包装排放所述吸附气体的气体施配组合件，所述方法包括通过包含可热解起始材料的热解及后续活化及脱气的处理而制备吸附剂，接着进行将所述吸附剂包装在所述气体供应包装中，其中根据对于待用于包括此吸附剂的气体供应包装中的所述吸附气体特定的处理条件实施所述处理，且其中所述处理条件对于包装在不同气体供应还原包装中以供应不同气体的所述吸附剂不同。
148.根据权利要求147所述的方法，其中所述不同处理条件在选自由活化温度、活化时间、热解时间、热解温度、脱气温度、最终脱气压力及脱气时间组成的群组的至少一个条件方面不同。
149.一种减少在气体供应包装耗尽时的跟含量的方法，所述气体供应包装包括盛放吸附剂以将吸附气体存储于其上的气体存储及施配容器，及固定于所述容器以在其施配条件下从所述包装排放所述吸附气体的气体施配组合件，所述方法包括提供不同类型及不同形式中的至少一者的吸附剂种类作为所述吸附剂，其中相对于所述吸附剂种类的单一者的吸附剂，所述不同类型及/或形式增大在所述施配条件下从所述吸附剂解吸的吸附气体量。
150.一种减少在气体供应包装耗尽时的跟含量的方法，所述气体供应包装包括盛放吸附剂以将同位素富集吸附气体存储于其上的气体存储及施配容器，及固定于所述容器以在其施配条件下从所述包装排放所述吸附气体的气体施配组合件，所述方法包括最初用足以建立气体跟的数量的对应非同位素富集吸附气体填充所述气体供应包装的所述气体存储及施配容器中的所述吸附剂，及在建立所述气体跟之后，用所述同位素富集吸附气体将所述气体存储及施配容器中的所述吸附剂填充到所述气体供应包装的经预先确定填充容量。
151.根据权利要求150所述的方法，其中所述吸附气体包括选自由三氟化硼、硅烷、四氟化硅、四氟化锗及锗烷组成的群组的气体。
152.一种气体供应包装，其包括盛放吸附剂以将吸附气体存储于其上的气体存储及施配容器，及固定于所述容器以在其施配条件下从所述包装排放所述吸附气体的气体施配组合件，其中所述气体存储及施配容器中的所述吸附气体总量包括包括非同位素富集吸附气体的跟部，及包括对应同位素富集吸附气体的剩余非跟部。
153.根据权利要求152所述的气体供应包装，其中所述吸附剂包括碳热解物吸附剂。
154.根据权利要求152所述的气体供应包装，其中所述吸附气体包括选自由三氟化硼、硅烷、四氟化硅、四氟化锗及锗烷组成的群组的气体。