专利汇可以提供一种介质层上的电润湿微液滴驱动器专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型公开了属于微全分析和微机电装置范围的一种介质层上的 电润湿 微液滴 驱动器 。在单晶 硅 上有一层热 氧 化SiO2下极板衬底,在衬底上为Ti/Pt下 电极 阵列,一层 薄膜 介质层 覆盖 在上面, 碳 氟 聚合物 薄膜厌 水 层覆盖在介质层上,带厌水层和ITO的上极板玻璃片由 支撑 物支撑在下电极阵列的上方。本微液滴驱动器具有液滴驱动 电压 低、制作工艺简易、成本低、可进一步将液体的其他操作集成在一个芯片上。,下面是一种介质层上的电润湿微液滴驱动器专利的具体信息内容。
1.一种介质层上的电润湿微液滴驱动器,其特征在于:所述微液滴驱动器的 结构是在硅衬底(1)上的介质层为下极板衬底(2),在下极板衬底(2)上为 Ti/Pt下电极阵列(3),一层薄膜介质层(4)覆盖在上面,碳氟聚合物薄膜厌水 层(5)覆盖在介质层(4)上,带厌水层(5)和ITO层(6)的上极板玻璃片(7) 由支撑物(8)支撑在下电极阵列(3)的上方,下电极阵列(3)与外部引线(9) 连接。
2.根据权利要求1所述介质层上的电润湿微液滴驱动器,其特征在于:所述 薄膜介质层为Si3N4薄膜或SiO2薄膜。
3.根据权利要求1所述介质层上的电润湿微液滴驱动器,其特征在于:所述 硅衬底为单晶硅或低阻多晶硅。
4.根据权利要求1所述介质层上的电润湿微液滴驱动器,其特征在于:所述 下极板衬底的介质层为热氧化SiO2或单晶硅。
5.根据权利要求1所述介质层上的电润湿微液滴驱动器,其特征在于:所述 下极板材料为Ti/Pt电极或多晶硅电极。
本实用新型属于微全分析和微机电装置范围,特别涉及一种介质层上的电润 湿微液滴驱动器。
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