专利汇可以提供一种立方式激光剥蚀样品室专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型应用于现有主流激光剥蚀技术中,具体涉及一种立方式激光剥蚀样品室,包括立方体形状的空心壳体,空心壳体的上表面和下表面分别开有观察窗和 透射光 入射口,观察口和透射光入射口上装有透明窗,空心壳体的前侧面开有矩形的放置口,样品靶架 水 平通过放置口固定在空心壳体内部并在其上方形成密封的内腔,密封侧板通过螺钉固定在空心壳体的前侧面上,空心壳体的前侧面和密封侧板之间通过O型 密封圈 密封;克服现有的样品室放置样品少,经常换样品容易影响样品分析的准确性的问题,能够一次性装设多个样品进行实验,不需要经常更换样品,继而保证了样品室内气体的稳定,能够保证分析结果的准确性。,下面是一种立方式激光剥蚀样品室专利的具体信息内容。
1.一种立方式激光剥蚀样品室,包括横置的立方体形状的空心壳体(1),空心壳体(1)的上表面和下表面分别开有观察窗(2)和透射光入射口(3),观察口(2)和透射光入射口(3)上装有透明窗,其特征在于:所述空心壳体(1)的前侧面开有矩形的放置口(4),样品靶架(5)水平通过放置口(4)固定在空心壳体(1)内部并在其上方形成密封的内腔(6),密封侧板(7)通过螺钉固定在空心壳体(1)的前侧面上,空心壳体(1)的前侧面和密封侧板(7)之间通过O型密封圈密封;
所述内腔(6)相对的两个侧面上分别开有进气口(8)和出气口(9),所述出气口(9)与进气口(8)同轴。
2.如权利要求1所述的立方式激光剥蚀样品室,其特征在于:所述空心壳体(1)内表面与样品靶架(5)接触的部位均开设有凹槽(10),凹槽(10)内设置有密封条(11)。
3.如权利要求1所述的立方式激光剥蚀样品室,其特征在于:所述观察口(2)的下端面与样品靶架(5)的上表面的垂直距离为3~10mm。
4.如权利要求1所述的立方式激光剥蚀样品室,其特征在于:所述样品靶架(5)的前侧面中心位置开设有螺孔。
5.如权利要求1所述的立方式激光剥蚀样品室,其特征在于:空心壳体(1)内壁形成内腔(6)的部位均涂有聚四氟乙烯膜。
6.如权利要求1所述的立方式激光剥蚀样品室,其特征在于:所述空心壳体(1)的材料为有机玻璃或工程塑料;所述观察口(2)上的透明窗上镀有增透膜;所述样品靶架(5)的表面镀有特氟龙膜。
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