专利汇可以提供一种多组合式样品靶架专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型可以应用于现有主流激光剥蚀技术中,具体涉及一种多组合式样品靶架,一种多组合式样品靶架,包括 基板 和设置在基板上的靶座,所述靶座由多个薄片样品靶座和不同孔径的孔形靶座排列在基板组成,克服现有的样品靶架装载量少,而且靶座结构单一的问题,利用将多种靶座同时组合排列在基板上,形成组合式样品靶架,能同时对多种样品进行实验,避免了多次更换试验样品,一定程度上确保样品室的 密封性 ,有利于实验分析结果的准确性。,下面是一种多组合式样品靶架专利的具体信息内容。
1.一种多组合式样品靶架,包括基板(1)和设置在基板(1)上的靶座,其特征在于:所述靶座由多个薄片样品靶座(2)和不同孔径的孔形靶座(3)排列在基板(1)组成。
2.如权利要求1所述的多组合式样品靶架,其特征在于:所述孔形靶座(3)贯穿基板(1),由上部的靶座孔(4)和下部的定位孔(5)同轴连通组成,所述定位孔(5)的内径大于靶座孔(4)的内径,靶座孔(4)的顶端安装有定位挡圈(6)。
3.如权利要求2所述的多组合式样品靶架,其特征在于:所述定位孔(5)内壁设置有螺纹,定位环(7)通过螺纹旋接在定位孔(5)内。
4.如权利要求1所述的多组合式样品靶架,其特征在于:所述基板(1)的前侧面中心位置开设有螺孔(8)。
5.如权利要求4所述的多组合式样品靶架,其特征在于:所述螺孔(8)中通过螺纹活动固定有带外螺纹的把手。
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