专利汇可以提供一种用于浸没单元调节的3-PSR-V并联机构专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本实用新型公开了一种用于浸没单元调节的3-PSR-V并联机构。该并联机构的固定平台和运动平台之间通过三根相同的支链相连,每条支链中从运动平台到固定平台依次为移动副、球面副和转动副,其中球面副与转动副之间有 连杆 相连,三根连杆的轴线在同一平面内。三个移动副为驱动副,三个移动副与固定平台之间分别通过固连在固定平台一侧的三根滑轨相连。三根滑轨的轴线与固定平台垂直并沿着以固定平台的中心为圆心的圆周均布,三个转动副的轴线与运动平台垂直并沿着以运动平台中心为圆心的圆周均布。本实用新型可用于少 自由度 并联机构适用的场合,也可用于浸没式 光刻 中对安装在运动平台上的浸没单元进行 位姿 调整,对于安装空间要求苛刻的场合尤为适用。,下面是一种用于浸没单元调节的3-PSR-V并联机构专利的具体信息内容。
1.一种用于浸没单元调节的3-PSR-V并联机构,其特征在于:包括固定平台(1)、运动平台(8)和支链阵列(2);支链阵列包括第一支链(2A),第二支链(2B)和第三支链(2C);
其中:
1)第一支链(2A):包括第一滑轨(3A),第一移动副(4A),第一球面副(5A),第一连杆(6A)和第一转动副(7A);第一滑轨(3A)垂直安装在固定平台(1)上,第一移动副(4A)安装在第一滑轨(3A),第一移动副(4A)内侧面安装第一球面副(5A),第一连杆(6A)的一端与第一球面副(5A)连接,第一连杆(6A)的另一端与第一转动副(7A)连接,第一转动副(7A)的轴线与运动平台(8)垂直,第一转动副(7A)安装在运动平台(8)侧面的圆弧环形槽中;
2)第二支链(2B):包括第二滑轨(3B),第二移动副(4B),第二球面副(5B),第二连杆(6B)和第二转动副(7B);第二滑轨(3B)垂直安装在固定平台(1)上,第二移动副(4B)安装在第二滑轨(3B),第二移动副(4B)内侧面安装第二球面副(5B),第二连杆(6B)的一端与第二球面副(5B)连接,第二连杆(6B)的另一端与第二转动副(7B)连接,第二转动副(7B)的轴线与运动平台(8)垂直,第二转动副(7B)安装在运动平台(8)侧面的圆弧环形槽中;
2)第三支链(2C):包括第三滑轨(3C),第三移动副(4C),第三球面副(5C),第三连杆(6C)和第三转动副(7C);第三滑轨(3C)垂直安装在固定平台(1)上,第三移动副(4C)安装在第三滑轨(3C),第三移动副(4C)内侧面安装第三球面副(5C),第三连杆(6C)的一端与第三球面副(5C)连接,第三连杆(6C)的另一端与第三转动副(7C)连接,第三转动副(7C)的轴线与运动平台(8)垂直,第三转动副(7C)安装在运动平台(8)侧面的圆弧环形槽中;
所述的三个滑轨(3A、3B、3C)在固定平台(1)上沿着以固定平台中心为圆心的圆周上均布;所述的三个转动副(4A、4B、4C)的轴线在运动平台(8)上沿着以运动平台中心为圆心的圆弧环形槽中均布。
2.根据权利要求1所述的一种用于浸没单元调节的3-PSR-V并联机构,其特征在于:
所述的三根连杆(6A、6B、6C)在同一平面内,该平面与运动平台(8)平面平行或重合。
3.根据权利要求1所述的一种用于浸没单元调节的3-PSR-V并联机构,其特征在于:
当运动平台(8)与固定平台(1)平行时,所述的三根连杆(6A、6B、6C) 的轴线均不通过运动平台(8)的中心线;而当运动平台(8)倾斜至极限位置,即运动平台(8)与固定平台(1)间的夹角达到最大值时,所述的三根连杆(6A、6B、6C)中将有一根连杆的轴线与运动平台(8)的中心线相交。
4.根据权利要求1所述的一种用于浸没单元调节的3-PSR-V并联机构,其特征在于:
运动平台(8)在空间内的最大运动范围由以下三个几部分共同决定,即所述三个移动副(4A、4B、4C)的轴线相对于固定平台(1)的中心线之间的距离、所述三个连杆(6A、6B、6C)的长度以及所述三个转动副(7A、7B、7C)的轴线相对于运动平台(8)的中心线之间的距离。
5.根据权利要求1所述的一种用于浸没单元调节的3-PSR-V并联机构,其特征在于:
三个连杆(6A、6B、6C)设计成相同长度,或设计成长度能够根据运动范围需求进行相应调节。
标题 | 发布/更新时间 | 阅读量 |
---|---|---|
一种手扶梯主轴和副轮轴加工专机 | 2020-05-13 | 242 |
一种减震滑动轴承副轴套 | 2020-05-13 | 59 |
一种手扶梯主轴和副轮轴加工专机 | 2020-05-13 | 656 |
一种带花键副的联轴器 | 2020-05-12 | 455 |
副轴传动装置 | 2020-05-11 | 523 |
轴向返向式滚珠丝杠副 | 2020-05-12 | 225 |
副轴传动装置 | 2020-05-11 | 226 |
副轴传动装置 | 2020-05-11 | 355 |
用于钟表轮副的心轴的减震轴承 | 2020-05-13 | 581 |
副主轴罩 | 2020-05-11 | 120 |
高效检索全球专利专利汇是专利免费检索,专利查询,专利分析-国家发明专利查询检索分析平台,是提供专利分析,专利查询,专利检索等数据服务功能的知识产权数据服务商。
我们的产品包含105个国家的1.26亿组数据,免费查、免费专利分析。
专利汇分析报告产品可以对行业情报数据进行梳理分析,涉及维度包括行业专利基本状况分析、地域分析、技术分析、发明人分析、申请人分析、专利权人分析、失效分析、核心专利分析、法律分析、研发重点分析、企业专利处境分析、技术处境分析、专利寿命分析、企业定位分析、引证分析等超过60个分析角度,系统通过AI智能系统对图表进行解读,只需1分钟,一键生成行业专利分析报告。