1.一种微机电系统(MEMS)装置，其特征在于，包括：
基板，所述基板具有平面表面；
第一感测质量块、第二感测质量块、第三感测质量块和第四感测质量块，这些感测质量块与所述基板的所述平面表面间隔开；
第一致动器、第二致动器、第三致动器和第四致动器；
第一驱动联接器，所述第一驱动联接器将所述第一感测质量块和所述第一致动器互连；
第二驱动联接器，所述第二驱动联接器将所述第二感测质量块和所述第二致动器互连；
第三驱动联接器，所述第三驱动联接器将所述第三感测质量块和所述第三致动器互连；以及
第四驱动联接器，所述第四驱动联接器将所述第四感测质量块和所述第四致动器互连，其中所述第一驱动联接器、所述第二驱动联接器、所述第三驱动联接器和所述第四驱动联接器中的每一个包括：
扭转杆，所述扭转杆具有被对齐为平行于所述第一感测质量块、所述第二感测质量块、所述第三感测质量块和所述第四感测质量块中的相邻感测质量块的外侧壁的长度；
第一联接连杆，所述第一联接连杆联接到所述扭转杆的第一端部；以及
第二联接连杆，所述第二联接连杆联接到所述扭转杆的第二端部，所述第一联接连杆和所述第二联接连杆将所述第一感测质量块、所述第二感测质量块、所述第三感测质量块和所述第四感测质量块中的相邻感测质量块与所述第一致动器、所述第二致动器、所述第三致动器和所述第四致动器中的对应致动器联接。
2.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于：
所述第一感测质量块和所述第四感测质量块被配置成在平行于第一轴线的第一驱动方向上通过所述第一致动器和所述第四致动器被驱动，所述第一轴线被朝向为平行于所述平面表面；
所述第二感测质量块和所述第三感测质量块被配置成在与所述第一驱动方向相反的第二驱动方向上通过所述第二致动器和所述第三致动器平行于所述第一轴线被驱动；
所述MEMS装置对绕第二轴线的角速度敏感，所述第二轴线被朝向为平行于所述基板的所述平面表面并且垂直于所述第一轴线；
所述第一感测质量块和所述第四感测质量块被配置成响应于所述MEMS装置绕所述第二轴线的所述角速度而在平行于第三轴线的第一感测方向上移动，所述第三轴线被朝向为垂直于所述基板的所述平面表面；并且
所述第二感测质量块和所述第三感测质量块被配置成响应于所述MEMS装置绕所述第二轴线的所述角速度而在平行于所述第三轴线的第二感测方向上移动，所述第二感测方向上与所述第一感测方向相反。
3.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述扭转杆的所述长度至少相当于所述第一感测质量块、所述第二感测质量块、所述第三感测质量块和所述第四感测质量块中的所述对应感测质量块的所述外侧壁的边缘长度。
4.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，所述第一感测质量块、所述第二感测质量块、所述第三感测质量块和所述第四感测质量块被配置成平行于第一轴线被驱动，所述第一轴线被朝向为平行于所述平面表面，所述MEMS装置对绕第二轴线的角速度敏感，所述第二轴线被朝向为平行于所述基板的所述平面表面并且垂直于所述第一轴线，并且所述扭转杆被朝向为平行于所述第二轴线。
5.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，进一步包括第一悬挂结构、第二悬挂结构、第三悬挂结构和第四悬挂结构，这些悬挂结构被配置成以与所述基板的所述平面表面成间隔开的关系悬挂所述第一致动器、所述第二致动器、所述第三致动器和所述第四致动器，所述第一悬挂结构、所述第二悬挂结构、所述第三悬挂结构和所述第四悬架结构中的每一个包括：
第一锚固件，所述第一锚固件联接到所述基板的所述平面表面；
第二锚固件，所述第二锚固件联接到所述基板的所述平面表面，所述第一锚固件和所述第二锚固件定位在所述第一致动器、所述第二致动器、所述第三致动器和所述第四致动器中的对应致动器的相对的第一纵向边缘和第二纵向边缘附近；
第一弹簧结构，所述第一弹簧结构互连于所述第一锚固件与所述第一致动器、所述第二致动器、所述第三致动器和所述第四致动器中的所述对应致动器的所述第一纵向边缘之间；以及
第二弹簧结构，所述第二弹簧结构互连于所述第二锚固件与所述第一致动器、所述第二致动器、所述第三致动器和所述第四致动器中的所述对应致动器的所述第二纵向边缘之间。
6.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于，进一步包括：
第一驱动模式连杆；
第二驱动模式连杆，所述第一驱动模式连杆和所述第二驱动模式连杆定位于所述第一感测质量块与所述第三感测质量块之间并且将所述第一感测质量块互连到所述第三感测质量块；
第三驱动模式连杆；以及
第四驱动模式连杆，所述第三驱动模式连杆和所述第四驱动模式连杆定位于所述第二感测质量块与所述第四感测质量块之间并且将所述第二感测质量块互连到所述第四感测质量块。
7.根据权利要求6所述的MEMS装置，其特征在于：
所述第一感测质量块具有第一侧壁，所述第一侧壁面向所述第三感测质量块的第三侧壁；
所述第二感测质量块具有第二侧壁，所述第二侧壁面向所述第四感测质量块的第四侧壁；
所述第一驱动模式连杆包括：第一锚固件，所述第一锚固件联接到所述基板的所述平面表面；第一杆结构，所述第一杆结构具有通过第一弹簧梁联接到所述第一锚固件的中间区域；第二弹簧梁，所述第二弹簧梁联接于所述第一杆结构的端部与所述第一感测质量块的所述第一侧壁之间；以及第三弹簧梁，所述第三弹簧梁联接于所述第一杆结构的相对端部与所述第三感测质量块的所述第三侧壁之间；
所述第二驱动模式连杆包括：第二锚固件，所述第二锚固件联接到所述基板的所述平面表面；第二杆结构，所述第二杆结构具有通过第四弹簧梁联接到所述第二锚固件的中间区域；第五弹簧梁，所述第五弹簧梁联接于所述第二杆结构的端部与所述第一感测质量块的所述第一侧壁之间；以及第六弹簧梁，所述第六弹簧梁联接于所述第二杆结构的相对端部与所述第三感测质量块的所述第三侧壁之间；
所述第三驱动模式连杆包括：第三锚固件，所述第三锚固件联接到所述基板的所述平面表面；第三杆结构，所述第三杆结构具有通过第七弹簧梁联接到所述第三锚固件的中间区域；第八弹簧梁，所述第八弹簧梁联接于所述第三杆结构的端部与所述第二感测质量块的所述第二侧壁之间；以及第九弹簧梁，所述第九弹簧梁联接于所述第三杆结构的相对端部与所述第四感测质量块的所述第四侧壁之间；并且
所述第四驱动模式连杆包括：第四锚固件，所述第四锚固件联接到所述基板的所述平面表面；第四杆结构，所述第四杆结构具有通过第十弹簧梁联接到所述第四锚固件的中间区域；第十一弹簧梁，所述第十一弹簧梁联接于所述第四杆结构的端部与所述第二感测质量块的所述第二侧壁之间；以及第十二弹簧梁，所述第十二弹簧梁联接于所述第四杆结构的相对端部与所述第四感测质量块的所述第四侧壁之间，其中所述第一杆结构、所述第二杆结构、所述第三杆结构和所述第四杆结构中的每一个具有与所述第一侧壁、所述第二侧壁、所述第三侧壁和所述第四侧壁中的对应侧壁对齐的长度。
8.根据权利要求1所述的MEMS装置，其特征在于：
所述第一感测质量块具有第一侧壁，所述第一侧壁最靠近所述第二感测质量块；
所述第二感测质量块具有第二侧壁，所述第二侧壁最靠近所述第一感测质量块；
所述第三感测质量块具有第三侧壁，所述第三侧壁最靠近所述第四感测质量块；
所述第四感测质量块具有第四侧壁，所述第四侧壁最靠近所述第三感测质量块；并且角速度传感器进一步包括：
第一枢轴结构，所述第一枢轴结构包括第一枢轴连杆和第一枢轴锚固件，所述第一枢轴连杆具有联接到所述第一感测质量块的所述第一侧壁的第一端部并且具有联接到所述第二感测质量块的所述第二侧壁的第二端部，其中所述第一枢轴锚固件定位于所述第一侧壁与所述第二侧壁之间，联接到所述基板的所述平面表面并且联接到所述第一枢轴连杆的中点；
第二枢轴结构，所述第二枢轴结构包括第二枢轴连杆和第二枢轴锚固件，所述第二枢轴连杆具有联接到所述第三感测质量块的所述第三侧壁的第三端部并且具有联接到所述第四感测质量块的所述第四侧壁的第四端部，其中所述第二枢轴锚固件定位于所述第三侧壁与所述第四侧壁之间，联接到所述基板的所述平面表面并且联接到所述第二枢轴连杆的中点。
9.一种微机电系统(MEMS)装置，其特征在于，包括：
基板，所述基板具有平面表面；
第一感测质量块、第二感测质量块、第三感测质量块和第四感测质量块，这些感测质量块与所述基板的所述平面表面间隔开；
第一致动器、第二致动器、第三致动器和第四致动器；
第一驱动联接器，所述第一驱动联接器将所述第一感测质量块和所述第一致动器互连；
第二驱动联接器，所述第二驱动联接器将所述第二感测质量块和所述第二致动器互连；
第三驱动联接器，所述第三驱动联接器将所述第三感测质量块和所述第三致动器互连；以及
第四驱动联接器，所述第四驱动联接器将所述第四感测质量块和所述第四致动器互连，其中所述第一驱动联接器、所述第二驱动联接器、所述第三驱动联接器和所述第四驱动联接器中的每一个包括：
扭转杆，所述扭转杆具有被对齐为平行于所述第一感测质量块、所述第二感测质量块、所述第三感测质量块和所述第四感测质量块中的相邻感测质量块的外侧壁的长度，所述扭转杆的所述长度至少相当于所述第一感测质量块、所述第二感测质量块、所述第三感测质量块和所述第四感测质量块中的所述对应感测质量块的所述外侧壁的边缘长度；
第一联接连杆，所述第一联接连杆联接到所述扭转杆的第一端部；以及
第二联接连杆，所述第二联接连杆联接到所述扭转杆的第二端部，所述第一联接连杆和所述第二联接连杆将所述第一感测质量块、所述第二感测质量块、所述第三感测质量块和所述第四感测质量块中的相邻感测质量块与所述第一致动器、所述第二致动器、所述第三致动器和所述第四致动器中的对应致动器联接，并且其中
所述第一感测质量块和所述第四感测质量块被配置成在平行于第一轴线的第一驱动方向上通过所述第一致动器和所述第四致动器被驱动，所述第一轴线被朝向为平行于所述平面表面；
所述第二感测质量块和所述第三感测质量块被配置成在与所述第一驱动方向相反的第二驱动方向上通过所述第二致动器和所述第三致动器平行于所述第一轴线被驱动，使得所述第二感测质量块和所述第三感测质量块相对于所述第一感测质量块和所述第四感测质量块经历反相驱动运动；
所述MEMS装置对绕第二轴线的角速度敏感，所述第二轴线平行于所述基板的所述平面表面并且垂直于所述第一轴线；
所述第一感测质量块和所述第四感测质量块被配置成响应于角速度传感器绕所述第二轴线的所述角速度而在平行于第三轴线的第一感测方向上移动，所述第三轴线被朝向为垂直于所述基板的所述平面表面；并且
所述第二感测质量块和所述第三感测质量块被配置成响应于所述角速度传感器绕所述第二轴线的所述角速度而在与所述第一感测方向相反的平行于所述第三轴线的第二感测方向上移动，使得所述第二感测质量块和所述第三感测质量块相对于所述第一感测质量块和所述第四感测质量块经历反相感测运动。
10.一种用于操作微机电系统(MEMS)角速度传感器装置的方法，所述MEMS角速度传感器装置包括具有平面表面的基板、第一感测质量块、第二感测质量块、第三感测质量块、第四感测质量块、第一致动器、第二致动器、第三致动器以及第四致动器，其特征在于，所述方法包括：
在平行于第一轴线的第一驱动方向上通过所述第一致动器和所述第四致动器驱动所述第一感测质量块和所述第四感测质量块，所述第一轴线被朝向为平行于所述平面表面；
以及
在与所述第一驱动方向相反的第二驱动方向上通过所述第二致动器和所述第三致动器平行于所述第一轴线驱动所述第二感测质量块和所述第三感测质量块，使得所述第二感测质量块和所述第三感测质量块相对于所述第一感测质量块和所述第四感测质量块经历反相驱动运动；
其中第一驱动联接器将所述第一感测质量块和所述第一致动器互连，第二驱动联接器将所述第二感测质量块和所述第二致动器互连，第三驱动联接器将所述第三感测质量块和所述第三致动器互连，并且第四驱动联接器将所述第四感测质量块和所述第四致动器互连；并且
其中所述第一驱动联接器、所述第二驱动联接器、所述第三驱动联接器和所述第四驱动联接器中的每一个包括：扭转杆，所述扭转杆具有被对齐为平行于所述第一感测质量块、所述第二感测质量块、所述第三感测质量块和所述第四感测质量块中的相邻感测质量块的外侧壁的长度；第一联接连杆，所述第一联接连杆联接到所述扭转杆的第一端部；以及第二联接连杆，所述第二联接连杆联接到所述扭转杆的第二端部，所述第一联接连杆和所述第二联接连杆将所述第一感测质量块、所述第二感测质量块、所述第三感测质量块和所述第四感测质量块中的相邻感测质量块与所述第一致动器、所述第二致动器、所述第三致动器和所述第四致动器中的对应致动器联接。