电容器、半导体存储器件及制造电容器的方法
专利汇可以提供电容器、半导体存储器件及制造电容器的方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种具有可以减小漏 电流 的介电层的电容器和制造该电容器的方法。在包括下 电极 、形成于下电极上的介电层和形成于介电层上的上电极的电容器中，通过使用由过渡金属和镧系材料的复合 氧 化物形成的介电层可以显著减小电容器的 漏电流 。，下面是电容器、半导体存储器件及制造电容器的方法专利的具体信息内容。
1.一种电容器，包括：
硅衬底；
下电极；
介电层，形成于所述下电极上；和
上电极，形成于所述介电层上，
其中，所述介电层包括过渡金属和镧系材料的复合氧化物的氮化物，
其中，所述过渡金属是Ti，
其中，所述镧系材料是至少一种选自由La、Dy、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、 Gd、Th和Tm构成的组的材料。
2.一种半导体存储器件，包括：
半导体衬底；
第一和第二掺杂区域，通过在所述衬底中掺杂导电掺杂剂形成；
栅极结构，形成于所述第一和第二掺杂区域之间；和
电容器，电连接到所述第二掺杂区域，其中，
所述电容器包括：
下电极；
介电层，形成于所述下电极上；和
上电极，形成于所述介电层上，其中所述介电层包括过渡金属和镧系材 料的复合氧化物的氮化物，
所述过渡金属是Ti，
其中，所述镧系材料是至少一种选自由La、Dy、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、 Gd、Th和Tm构成的组中的材料。
3.一种制造电容器的方法，所述电容器包括：下电极；介电层，形成 于所述下电极上；和上电极，形成于所述介电层上，所述方法包括通过在所 述下电极上涂布含有过渡金属和镧系材料的复合氧化物的氮化物制造介电 层，其中，所述过渡金属是Ti，
其中，所述镧系材料是至少一种选自由La、Dy、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、 Gd、Th和Tm构成的组的材料，
其中，所述介电层的形成包括：
将所述过渡金属的前体和所述镧系材料的前体输入反应室；
在所述下电极上形成所述过渡金属的前体和所述镧系材料的前体的前 体复合层；
氧化由所述过渡金属的前体和所述镧系材料的前体形成的所述前体复 合层；和
氮化已氧化的所述过渡金属的前体和所述镧系材料的前体的所述前体 复合层。
4.如权利要求3所述的方法，其中，所述前体复合层的氧化包括：
将在所述反应室中未反应的所述过渡金属的前体和所述镧系材料的前 体排出到反应室的外部；且
通过将含氧材料注入所述反应室从而氧化过渡金属的前体和所述镧系 材料的前体的所述前体复合层。
5.如权利要求3所述的方法，其中所述过渡金属的前体包括至少一种 选自由Ti(iOPr)2(TMHD)2、Ti(i-OPr)4和Ti(DMPD)(TMHD)2构成的组中的材 料。
6.如权利要求3所述的方法，其中所述镧系材料的前体具有Ln(TMHD)3 或Ln(iPrCp)3的结构式。
技术领域
本发明涉及一种具有介电层的电容器及其制造方法，且更具体地涉及一 种具有这样的介电层的电容器及其制造方法，该介电层由过渡金属氧化物和 镧系元素氧化物的混合物形成来减少漏电流。
背景技术
当介电材料相同时，应当通过增加电容器的面积增加电容器的电容，就 像动态随机存取存储器(DRAM)那样。这可以参考公式1来描述。
公式1
其中ε是介电常数，A是有效面积，而t是介电层的厚度。
即，当减小介电层的厚度和增加电容器的有效面积时，电容器的电容增 加。目前，半导体存储器件的集成密度继续增加。但是，当仅增加具有平面 结构的电容器的面积时，半导体器件的集成密度的增加存在极限。
由于存储器件的集成的要求，所需的每单位面积的介电体的电荷存储容 量增加了。为了增加介电体的电荷存储容量，必须减小介电层的厚度或必须 使用具有高介电常数的材料作为介电层。但是，当减小介电层的厚度时，由 于隧穿电流的突然增加，会引起介电体的电荷损失迅速增加。即，由于当过 度减小介电层的厚度时产生漏电流的可能性增加，所以减小介电层的厚度存 在极限。因此，已经进行了许多的研究来开发一种具有比常规的介电体更高 介电常数和更好的漏电流特性的材料。但是，非常难于开发这样的新材料。
图1是示出常规的电容器结构的横截面视图。参考图1，在下结构11 上依次形成下电极12、介电层13和上电极14。
介电层13通常由具有高介电常数的介电材料形成。但是，当诸如TiO2 的过渡金属氧化物用于介电层13时，比其它材料用于介电层13时由电容产 生了更大的漏电流。
图2A是在操作电压范围中，由不同的材料形成的介电层13的漏电流和 其物理厚度关系的曲线图。参考图2A，四种材料在从40到的非常 薄的厚度范围内全部具有高漏电流。但是，TiO2导致比其它材料相对较大的 漏电极。
图2B是示出相对于样品的测量深度利用X射线光电射线谱(XPS)分 析O2浓度分布的结果的曲线图，在样品中Ru用于图1中的上和下电极12 和14且TiO2用于介电层13。图2B表明Ti以两种氧化物形式(3+和4+) 存在。参考图2B，在不同的深度观察到TiO2峰。另外，如箭头所示，Ti的 氧化态变化且出现了两个氧化物形式。
当具有多个氧化态的过渡金属氧化物用于介电层13时，难于减小漏电 流。
发明内容
本发明还提供了一种利用该介电层制造电容器的方法。
依据本发明的一方面，提供有一种电容器，包括：硅衬底；下电极；介 电层，形成于所述下电极上；和上电极，形成于所述介电层上，其中所述介 电层包括过渡金属和镧系材料的复合氧化物(composite oxide)。
过渡金属可以是Ti，且镧系材料可以是至少一种选自由La、Dy、Ce、 Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Th和Tm构成的组的材料。
介电层的材料可以包括镧系材料和TiO2。
依据本发明的另一方面，提供有一种半导体存储器件，包括：半导体衬 底；第一和第二掺杂剂区域，通过在所述衬底中掺杂导电掺杂剂形成；栅极 结构，形成于所述第一和第二掺杂剂区域之间；和电容器，电连接到所述第 二掺杂剂区域，其中所述电容器包括：下电极；介电层，形成于所述下电极 上；和上电极，形成于所述介电层上，其中所述介电层包括过渡金属和镧系 材料的复合氧化物。
依据本发明的另一方面，提供有一种制造电容器的方法，该电容器包括： 下电极；介电层，形成于所述下电极上；和上电极，形成于所述介电层上， 该方法包括通过在所述下电极上涂布包括过渡金属和镧系材料的复合氧化 物制造介电层。
所述介电层的形成包括：将过渡金属的前体和镧系材料的前体输入反应 室；在所述下电极上形成由过渡金属和镧系材料的前体形成的前体复合层； 和氧化由过渡金属和镧系材料的前体形成的前体复合层。
所述前体复合层的氧化可以包括：将未反应的前体从反应室放出到外 部；且通过将包含氧的材料注入反应室从而氧化由过渡金属和镧系材料的前 体形成的前体复合层。
过渡金属的前体可以包括至少一种从由Ti(iOPr)2(TMHD)2、Ti(i-OPr)4 和Ti(DMPD)(TMHD)2构成的组中选择的前体。
镧系材料的前体可以具有Ln(TMHD)3和Ln(iPrCp)3的一种结构式。
该方法可以还包括氮化已氧化的前体复合层。
附图说明
参考附图通过其示范性实施例的详细描述，本发明的以上和其它特征和 优点将更加显见，其中：
图1是具有介电层的常规的电容器的横截面图；
图2A是在操作电压范围内，由不同的材料形成的介电层13的漏电流和 物理厚度的关系的曲线图；
图2B是示出利用X射线光电射线谱(XPS)根据Ti氧化物的深度分析 O2浓度和Ti氧化物关系的结果的曲线图；
图3是示出包括依据本发明的实施例的介电层的电容器的横截面图；
图4A是示出利用XPS依据Dy氧化物的深度分析Dy氧化物的氧化浓 度分布的曲线图；
图4B是示出依据本发明的实施例制造的两个介电电容器的漏电流特性 的曲线图；以及
图5是示出依据本发明的实施例的具有电容器结构的半导体存储器件的 横截面图。
具体实施方式
图3是示出包括依据本发明的实施例的介电层的电容器的横截面图。参 考图3，本发明的一方面为一包括下结构21、下电极22、介电层23和上电 极24的电容器。
下结构21可以是诸如Si的半导体衬底或晶体管结构，其杂质区与下电 极22电连接。下电极22可以是金属电极和金属氧化物电极、和用掺杂剂掺 杂的硅电极之一。介电层23包括过渡金属氧化物和镧系材料(La、Dy、Ce、 Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Th、Tm)的复合氧化物。镧系材料具有均匀的氧化 态。图4A是利用XPS依据Dy氧化物的深度显示Dy(镝)氧化物的氧浓度 分布的分析的曲线图。参考图4A，因为Dy的氧化态是均匀的，所以在一致 的结合能处观察到Dy(镝)氧化物的峰。
介电层23通过混和过渡金属氧化物与镧系材料(La、Dy、Ce、Pr、Nd、 Sm、Eu、Gd、Th、Tm)的氧化物来形成。这里，在下结构21上形成下电 极22，或在介电层23上形成上电极24是通过常规技术中一般的半导体工艺 进行的。
在本发明中，可以选择性的利用化学气相沉积(CVD)或原子层沉积 (ALD)形成介电层23。现将详细描述通过CVD工艺利用过渡金属和镧系 材料的氧化物形成介电层23的实例。
下电极22在下结构21上由导电材料形成。在本实施例中，作为下电极 22的Ru沉积在硅氧化物上。为了利用过渡金属和镧系材料的复合氧化物在 下电极22上形成介电层23，通过在反应室中混和每种材料的前体形成前体 复合层，且氧化该前体复合层。
更具体地，当Ti用作过渡金属材料时，存在多种Ti前体，诸如 Ti(iOPr)2(TMHD)2、Ti(i-OPr)4和Ti(DMPD)(TMHD)2，且这些可以选择性地 使用，其中TMHD是四甲基庚二酮酸(tetramethylheptanedionate)且DMPD 是二甲基戊二醇(dimethylpentanediol)。镧系材料的前体是Ln(TMHD)3或 Ln(iPrCp)3。可以选择性地控制被混和的过渡金属和镧系材料的前体的量， 且镧系材料的量优选在大约30-60％原子百分比的范围内。
通过同时将过渡金属的前体和镧系材料的前体输入反应室从而在下电 极22上形成前体复合层。接下来，将未反应的前体排出到反应室的外部， 且将诸如H2O或O3的含氧材料输入反应室来氧化前体复合层。当在低于大 约700℃的温度下热处理该材料时，形成由过渡金属和镧系材料的复合氧化 物形成的介电层23。这里，可以执行通过氨(NH3)等离子体工艺的介电层 23的氮化来防止过渡金属和镧系材料的复合氧化物结晶。在该情况中，最后 的介电层材料23具有LnTiON的结构式。
接下来，通过在介电层上涂布诸如Ru的导电材料在介电层23上形成上 电极24。
图4B是示出依据本发明的实施例制造的两个介电电容器的漏电流特性 的曲线图。这里，横轴代表通过下电极和上电极22和24施加的电压，且纵 轴代表漏电流。
参考图4B，在两个试样之间的漏电流中几乎没有差别，特别地，在操 作电压范围内的漏电流密度非常低，小于大约10-7A/cm2。与在图2A中仅 由TiO2形成的介电层相比，漏电流值显著降低。
图5是半导体存储器件的横截面图，其中具有依据本发明的实施例的可 以减小漏电流的介电层的电容器电连接到晶体管的第二掺杂区。
参考图5，在半导体衬底31中形成用导电掺杂剂掺杂的第一和第二掺杂 区32和33。在第一和第二掺杂区32和33之间形成栅极34，且栅极34具 有一种结构，其中包括了栅极绝缘层和栅极电极层。第二掺杂区33通过导 电栓塞82连接到下电极22。在下电极22上形成介电层23和上电极24，介 电层23包括过渡金属和镧系材料的复合氧化物。在图5中的下结构21可以 在狭义上表达为导电栓塞82，而在广义上还可以表达为形成于电容器C下 的总的晶体管结构。参考标记35和36代表绝缘层。
在晶体管结构中，通过栅极电极施加大于阈值电压的电压，电流Id(漏 极电流)流过第一和第二掺杂区32和33之间的沟道区。因此，晶体管结构 作为依据本发明的电容器C的开关。
依据本发明，使用过渡金属氧化物作为介电层的电容器的漏电流可以得 到显著减小，而且通过使用过渡金属和镧系材料的复合氧化物作为介电层的 电容器结构，同时保持了常规的过渡金属氧化物的高介电常数。
虽然参考其示范性实施例具体显示和描述了本发明，然而本领域的一般 技术人员可以理解在不脱离由权利要求所界定的本发明的精神和范围内，可 以作出形式和细节上的不同变化。
本申请要求于2004年8月20日在韩国知识产权局提交的Korean Patent Application No.10-2004-0065877的优先权，其全部内容引入于此作为参考。
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