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一种用于离线真空吸附基板的承载机构和基板传送方法

阅读:916发布:2023-01-31

专利汇可以提供一种用于离线真空吸附基板的承载机构和基板传送方法专利检索,专利查询,专利分析的服务。并且本 发明 涉及显示器设计制造技术领域,尤其涉及一种用于离线 真空 吸附 玻璃 基板 的承载机构和基板传送方法。本发明提供的用于离线真空吸附基板的承载机构,在设有夹持器的承载框上设置真空吸附装置和分离装置,先通过夹持器对基板进行初步的固定,再通过真空吸附装置对基板进一步的固定,解决了单独使用夹持机构对基板固定时,基板在直立运输过程中存在晃动脱落的隐患的问题;同时,还设置了分离装置,分离装置能够将真空吸附装置和用于对真空吸附装置提供形成真空条件的真空管分开,同时在真空管与真空吸附装置分开后,真空吸附装置能够持续对基板进行吸附,实现离线吸附功能,可避免因真空管的长度而限制影响基板的传送。,下面是一种用于离线真空吸附基板的承载机构和基板传送方法专利的具体信息内容。

1.一种用于离线真空吸附基板的承载机构,其特征在于:包括设有夹持器的承载框(1),所述承载框(1)上设置有真空吸附装置和分离装置,所述真空吸附装置用于对基板(5)进行吸附固定,所述分离装置用于将连接在一起的真空吸附装置和真空管(4)分开,并保持真空吸附装置对待运送基板(5)的持续吸附。
2.根据权利要求1所述的用于离线真空吸附基板的承载机构,其特征在于:所述真空吸附装置包括固定在承载框(1)一侧由多条相互连通的管路(21)构成的吸附架(2),所述吸附架(2)上设置有与管路(21)相互连通的真空吸头(22);所述真空管(4)与所述管路(21)连通。
3.根据权利要求2所述的用于离线真空吸附基板的承载机构,其特征在于:所述真空吸头(22)包括吸盘(221)和吸气管(222),所述吸气管(222)的一端与吸盘(221)连通,另一端与管路(21)连通。
4.根据权利要求3所述的用于离线真空吸附基板的承载机构,其特征在于:所述吸附架(2)上设置有多个真空吸头(22),多个所述真空吸头(22)上吸盘(221)的吸附面(223)位于同一平面上,且每个所述吸附面(223)均位于所述承载框(1)内。
5.根据权利要求1所述的用于离线真空吸附基板的承载机构,其特征在于:所述真空吸附装置包括固定在承载框(1)一侧的真空板(3),所述真空板(3)具有中空腔体和位于承载框(1)内的吸附平面,所述吸附平面上设置有多个与所述中空腔体连通的吸附孔(31),所述真空管(4)与所述中空腔体连通。
6.根据权利要求5所述的用于离线真空吸附基板的承载机构,其特征在于:多个所述吸附孔(31)在所述吸附平面上均匀分布。
7.根据权利要求1-6任一项所述的用于离线真空吸附基板的承载机构,其特征在于:
所述分离装置包括设置在真空吸附装置上的第一接头和设置在真空管(4)上与第一接头配合的第二接头,所述第一接头上设置有截止
8.根据权利要求7所述的用于离线真空吸附基板的承载机构,其特征在于:所述分离装置还包括气缸,所述气缸与第二接头连接,所述分离装置用于实现第一接头与第二接头在连接状态和断开状态之间的切换。
9.根据权利要求1所述的用于离线真空吸附基板的承载机构,其特征在于:所述夹持器设置有多个,多个所述夹持器成对设置在承载框(1)的两侧;背离所述真空吸附装置一侧的夹持器能够开合。
10.一种基板传送方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1,将基板(5)放入承载框(1)内,使用夹持器对基板(5)进行固定;
S2,利用真空吸附装置对基板(5)吸附固定;
S3,通过分离装置将真空吸附装置与真空管(4)分开,并保持真空吸附装置对待运送基板(5)的持续吸附。

说明书全文

一种用于离线真空吸附基板的承载机构和基板传送方法

技术领域

[0001] 本发明涉及显示器设计制造技术领域,尤其涉及一种用于离线真空吸附玻璃基板的承载机构和基板传送方法。

背景技术

[0002] 目前,如图1所示,在液晶显示器制造过程中需要对基板5’进行各种工艺,如对基板5’表面溅射各种离子,在溅射过程中需要基板5’直立并进行移动,现有的基板5’的移
动过程中大多是通过夹持机构对基板5’进行加持固定,保证基板5’处于直立状态,然后再
通过行走机构带动基板5’移动,虽然通过夹持机构能够实现基板5’在行走过程中保持直
立状态,但是夹持机构主要是通过夹持器(如方夹持器12’和三夹持器11’)对基板
5’进行固定,基板5’与夹持器之间存在一定的缝隙,在基板5’移动过程中存在基板5’晃
动脱落的隐患;而对于现有技术中采用真空吸附装置对基板5’进行吸附,真空管始终与真
空吸附装置连接,会随着基板5’一起移动,无法实现离线吸附,真空管可能会缠绕钩挂在其他装置上,影响基板5’的移动。

发明内容

[0003] (一)要解决的技术问题
[0004] 本发明要解决的技术问题是:单独使用夹持机构对基板进行固定,在基板直立行走过程中存在晃动脱落的隐患;使用真空吸附装置对基板进行吸附固定,无法实现离线吸
附,整个装置体积更大,限制了基板的移动。
[0005] (二)技术方案
[0006] 为了解决上述技术问题,本发明提供了一种用于离线真空吸附基板的承载机构,包括设有夹持器的承载框,所述承载框上设置有真空吸附装置和分离装置,所述真空吸附
装置用于对基板进行吸附固定,所述分离装置用于将连接在一起的真空吸附装置和真空管
分开,并保持真空吸附装置对待运送基板的持续吸附。
[0007] 其中,所述真空吸附装置包括固定在承载框一侧由多条相互连通的管路构成的吸附架,所述吸附架上设置有与管路相互连通的真空吸头;所述真空管与所述管路连通。
[0008] 其中,所述真空吸头包括吸盘和吸气管,所述吸气管的一端与吸盘连通,另一端与管路连通。
[0009] 其中,所述吸附架上设置有多个真空吸头,多个所述真空吸头上吸盘的吸附面位于同一平面上,且每个所述吸附面均位于所述承载框内。
[0010] 其中,所述真空吸附装置包括固定在承载框一侧的真空板,所述真空板具有中空腔体和位于承载框内的吸附平面,所述吸附平面上设置有多个与所述中空腔体连通的吸附
孔,所述真空管与所述中空腔体连通。
[0011] 其中,多个所述吸附孔在所述吸附平面上均匀分布。
[0012] 其中,所述分离装置包括设置在真空吸附装置上的第一接头和设置在真空管上与第一接头配合的第二接头,所述第一接头上设置有截止
[0013] 其中,所述分离装置还包括气缸,所述气缸与第二接头连接,所述分离装置用于实现第一接头与第二接头在连接状态和断开状态之间的切换。
[0014] 其中,所述夹持器设置有多个,多个所述夹持器成对设置在承载框的两侧;背离所述真空吸附装置一侧的夹持器能够开合。
[0015] 本发明还提供了一种基板传送方法,包括以下步骤:
[0016] S1,将基板放入承载框内,使用夹持器对基板进行固定;
[0017] S2,利用真空吸附装置对基板吸附固定;
[0018] S3,通过分离装置将真空吸附装置与真空管分开,并保持真空吸附装置对待运送基板的持续吸附。
[0019] (三)有益效果
[0020] 本发明的上述技术方案具有如下优点:本发明提供的用于离线真空吸附基板的承载机构,在设有夹持器的承载框上设置真空吸附装置和分离装置,先通过夹持器对基板进
行初步的固定,再通过真空吸附装置对基板进一步的固定,固定的更加牢靠,解决了单独使
用夹持机构对基板固定时,基板在直立运输过程中存在晃动脱落的隐患的问题;同时,还设
置了分离装置,所述分离装置能够将真空吸附装置和用于对真空吸附装置提供形成真空条
件的真空管分开,同时在真空管与真空吸附装置分开后,真空吸附装置能够持续对基板进
行吸附,实现离线吸附功能,真空管不会随着基板一起移动,避免了由于真空管的长度不够
或者真空管缠绕钩挂在其他装置上影响基板的移动。
附图说明
[0021] 本发明上述和/或附加方面的优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解,其中:
[0022] 图1是现有的用于传送基板的承载机构的结构示意图;
[0023] 图2是本发明实施例一所述的用于离线真空吸附基板的承载机构的示意图;
[0024] 图3是本发明实施例一中真空吸头的结构示意图;
[0025] 图4是本发明实施例二所述的用于离线真空吸附基板的承载机构的示意图。
[0026] 其中图1至图4中附图标记与部件名称之间的对应关系为:
[0027] 11’、三角夹持器,12’、方块夹持器,5’、基板,1、承载框,11、三角夹持器,12、方块夹持器,2、吸附架,21、管路,22、真空吸头,221、吸盘,222、吸气管,223、吸附面,3、真空板,31、吸附孔,4、真空管,5、基板。

具体实施方式

[0028] 在本发明的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“平”、“顶”、“底”、”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发
明的限制。此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0029] 在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本
发明中的具体含义。此外,在本发明的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上
[0030] 为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是
本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人
员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
[0031] 本发明提供了一种用于离线真空吸附基板的承载机构,包括设有夹持器的承载框1,所述承载框1上设置有真空吸附装置和分离装置,所述真空吸附装置用于对基板5进行
吸附固定,所述分离装置用于将连接在一起的真空吸附装置和真空管4分开,并保持真空
吸附装置对待运送基板5的持续吸附。本发明提供的用于离线真空吸附基板5的承载机构,
在设有夹持器的承载框1上设置真空吸附装置和分离装置,先通过夹持器对基板5进行初
步的固定,再通过真空吸附装置对基板5进一步的固定,固定的更加牢靠,解决了单独使用
夹持机构对基板5固定时,基板5在直立运输过程中存在晃动脱落的隐患的问题;同时,还
设置了分离装置,所述分离装置能够将真空吸附装置和用于对真空吸附装置提供形成真空
条件的真空管4分开,同时在真空管4与真空吸附装置分开后,真空吸附装置能够持续对基
板5进行吸附,实现离线吸附功能,真空管4不会随着基板5一起移动,避免了由于真空管
4的长度不够或者真空管4缠绕钩挂在其他装置上影响基板5的移动。
[0032] 实施例一
[0033] 如图2所示,本发明提供了一种用于离线真空吸附基板的承载机构,包括设有夹持器的承载框1,所述承载框1上设置有真空吸附装置和分离装置,其中所述真空吸附装置
包括固定在承载框1一侧由多条相互连通的管路21构成的吸附架2,所述吸附架2上设置
有与管路21相互连通的真空吸头22,优选地,所述吸附架2上设置有多个真空吸头22(在
构成吸附架2的每一条管路21上至少设置有一个真空吸头22),多个真空吸头22在吸附架
2上均匀分布,这样真空吸头22对基板5的吸附更加均匀,吸附效果更好,同时也可避免
因基板5受力不均而出现变形的问题;基板5从承载框1的另一侧放入承载框1内,然后通
过夹持器夹持固定。
[0034] 具体地,如图3所示,所述真空吸头22包括吸盘221和吸气管222,所述吸气管222的一端与吸盘221连通,另一端与管路21连通,所述吸盘221为半球状橡胶吸盘221,多个
所述真空吸头22上吸盘221的吸附面223位于同一平面上,且每个所述吸附面223均位于
所述承载框1内,保证基板5被吸附在承载框1内,同时由于所有真空吸头22的吸附面223
均位于同一平面上,在真空吸头22与基板5吸附在一起时,能够保证二者之间的密封性,为
实现离线吸附提供了基础。当然,上述吸附盘不仅仅局限于橡胶材质,其他的弹性材料如树
脂、塑料等,同样也符合上述吸盘221对于密封吸附的要求。
[0035] 优选地,所述分离装置包括设置在真空吸附装置上的第一接头(图中未示出)和设置在真空管4上与第一接头配合的第二接头(图中未示出),吸附架2上的管路21通过
进气管与真空管4连通,其中第一接头设置在进气管的端部,第二接头设置在真空管4的端
部,真空管4和进气管通过第一接头与第二接头的配合连接在一起,同时在进气管上设置
截止阀,通过设置截止阀能够使真空管4与进气管在分开时,保证吸附架2上的管路21
内一直维持真空状态,实现离线真空吸附基板5的目的;其中真空管4与真空或者动力厂
房管路21连通,通过真空泵或者其它真空装置将吸附架2上的管路21内吸成真空,以完成
对基板5的吸附。
[0036] 优选地,所述分离装置还包括气缸(图中未示出),所述气缸可以设置在承载框1上,也可以设置在其他位置,所述气缸与第二接头连接,所述气缸用于实现第一接头与第二
接头在连接状态和断开状态之间的切换,即:气缸为第一接头与第二接头的组装和拆卸提
供动力,避免了人力组装拆卸的困难,操作更加方便、更容易实现;当然,上述实施例中气缸也可以替换为如液压缸、驱动电机与蜗轮蜗杆组件等动力装置,同样能够实现本申请中为
第一接头与第二接头的组装和拆卸提供动力的目的。
[0037] 上述实施例中,分离装置并不仅仅局限于上述结构,如在进气管上设置三通阀,真空管4与所述三通阀的一个口连接,同样能够实现本申请的目的,其宗旨未脱离本发明的
设计思想,应属于本发明的保护范围。
[0038] 在进气管上设置三通阀时,用于将真空管路形成真空的机构并不仅仅局限于真空泵,也可以是其他机构,如三通阀的一个端口与进气管连接另外两个端口分别为CDA(clean
dry air的缩写,意为洁净干燥的压缩空气)气体入口端和CDA气体出口端,通过CDA气体
在入口端和出口端的流动,使吸附架上的管路内形成真空,此时再关闭截止阀,同样能够实
现离线真空吸附的目的,其宗旨未脱离本发明的设计思想,应属于本发明的保护范围。
[0039] 其中所述承载框1为中间通透的框形结构,所述承载框1上设置有多个夹持器,多个所述夹持器成对设置在承载框1的两侧;背离所述真空吸附装置一侧的夹持器能够开
合,所述吸附架2设置在承载框1的一侧,另一侧为用于放入基板5的开口,其中所述夹持
器包括方块夹持器12和三角夹持器11,所述方块夹持器12设置在承载框1上下边框的内
端,并分别在上、下边框的长度方向均匀分布,所述三角夹持器11设置在承载框1左、右边
框的内端,并分别在左、右边框的长度方向上均匀分布,且远离所述吸附架2一侧的三角夹
持器11和方块夹持器12是能够开合的,另一侧的夹持器是固定的,这样在安放基板5是先
将夹持器打开,在基板5放入后,在合上夹持器完成对基板5的固定。
[0040] 需要说明的是,在上述实施例中夹持器可以全部为方块夹持器12或三角夹持器11,同样能够实现固定基板5的作用;并且夹持器也可以是承载框1的两侧均为能够开合
的,一样可以实现便于安装基板5的作用。
[0041] 下面来具体说明采用本实施例中的用于离线真空吸附基板的承载机构传送基板5的方法。
[0042] 首先,打开夹持器将基板5放入承载框1内,合上夹持器完成基板5的初步固定;此时将玻璃基板5贴覆在吸盘221上,通过气缸将第一接头和第二接头连接一起,打开真空
泵和截止阀,将构成吸附架2的管路21内吸成真空,此时基板5完全被真空吸头22吸附住;
再关闭截止阀,并通过气缸将连接在一起的第一接头和第二接头拆开,此时管路21内依然
保持着真空,仍然对基板5进行吸附,此时可通过行走机构来带动基板5移动,当基板5移
动到指定位置时,再打开截止阀,将基板5取下完成整个基板5移动过程;由于整个过程真
空吸头22一直对基板5进行吸附固定,基板5固定的更加牢靠,解决了单纯使用夹持装置
固定,基板5在行走过程中会出现晃动脱落的问题,并且真空管4不随基板5一起移动,可
实现离线真空吸附。
[0043] 实施例二
[0044] 如图4所示,本实施例提供的一种用于离线真空吸附基板的承载机构,与实施例一中的技术方案大体相同,同样包括设有夹持器的承载框1,所述承载框1上设置有真空吸
附装置和分离装置,其主要的区别在于,所述真空吸附装置为固定在承载框1一侧的真空
板3,所述真空板3具有中空腔体和位于承载框1内的吸附平面,所述吸附平面上设置有多
个与所述中空腔体连通的吸附孔31,所述真空管4与所述中空腔体连通,且多个所述吸附
孔31在所述吸附平面上均匀分布,对基板5的吸附力更均衡,基板5固定的更加稳定。
[0045] 优选地,所述承载框1上为一端开口的盒状结构,在承载框1上设置有多个夹持器,多个夹持器设置在承载框1开口一侧的内端,其中夹持器能够开合,在安放基板5时将
夹持器打开,基板5放入后再合上夹持器完成对基板5的初步固定;其中所述夹持器包括方
块夹持器12和三角夹持器11,所述方块夹持器12设置在承载框1上下边框的内端,并分别
在上、下边框的长度方向均匀分布,所述三角夹持器11设置在承载框1左、右边框的内端,
并分别在左、右边框的长度方向上均匀分布;盒状的所述承载框1的底部为真空板3,所述
吸附孔31位于盒体内。
[0046] 下面来具体说明采用本实施例中的用于离线真空吸附基板的承载机构传送基板5的方法。
[0047] 首先,打开夹持器将基板5放入承载框1内,合上夹持器完成基板5的初步固定;此时将玻璃基板5贴覆在真空板3的吸附平面上并使基板5完全覆盖所有的吸附孔31,通
过气缸将第一接头和第二接头连接一起,打开真空泵和截止阀,将真空板3内部的中空腔
体吸成真空,此时基板5完全被真空板3上的吸附孔31吸附柱;再关闭截止阀,并通过气
缸将连接在一起的第一接头和第二接头拆开,此时真空板3的中空腔体内依然保持真空状
态,仍然对基板5进行吸附,通过行走机构来带动基板5移动,当基板5移动到指定位置时,
再打开截止阀,将基板5取下完成整个基板5移动过程;由于整个过程真空板3一直对基板
5进行吸附固定,基板5固定的更加牢靠,解决了单纯使用夹持装置固定,基板5在行走过程
中会出现晃动脱落的问题,并且真空管4不随基板5一起移动,可实现离线真空吸附
[0048] 综上所述,本发明提供的用于离线真空吸附基板的承载机构,在设有夹持器的承载框上设置真空吸附装置和分离装置,先通过夹持器对基板进行初步的固定,再通过真空
吸附装置对基板进一步的固定,固定的更加牢靠,解决了单独使用夹持机构对基板固定时,
基板在直立运输过程中存在晃动脱落的隐患的问题;同时,还设置了分离装置,所述分离装
置能够将真空吸附装置和用于对真空吸附装置提供形成真空条件的真空管分开,同时在真
空管与真空吸附装置分开后,真空吸附装置能够持续对基板进行吸附,实现离线吸附功能,
真空管不会随着基板一起移动,避免了由于真空管的长度不够或者真空管缠绕钩挂在其他
装置上影响基板的移动。
[0049] 最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然
可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替
换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精
神和范围。
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