离子注入机的分析器
专利汇可以提供离子注入机的分析器专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本实用新型涉及一种 离子注入 机 的分析器，包括离子筛选管、离子筛选管 侧壁 上的 石墨 ，所述离子筛选管的底壁靠近侧壁处设有沟槽，垂直于离子束出口方向的离子筛选管侧壁上安装一活动 丝杆 ，所述活动丝杆伸入离子筛选管内，活动丝杆在离子筛选管内的一端装有伸缩刷子，活动丝杆在离子筛选管外的一端装有驱动机构。所述伸缩刷子在伸展状态时，伸缩刷子顶端位于离子束出口处；所述伸缩刷子在收叠状态时，位于垂直于离子束出口方向的离子筛选管侧壁一侧的沟槽内。本实用新型的优点是结构简单、自动清理剥离物、大大减少了剥离物进入后段的可能性、也大大减少了维护人员的劳动 力 。，下面是离子注入机的分析器专利的具体信息内容。
1.一种离子注入机的分析器，包括离子筛选管、离子筛选管侧壁上的石墨，其特征在于：所述离子筛选管的底壁靠近侧壁处设有沟槽，垂直于离子束出口方向的离子筛选管侧壁上安装一活动丝杆，所述活动丝杆伸入离子筛选管内，活动丝杆在离子筛选管内的一端装有伸缩刷子，活动丝杆在离子筛选管外的一端装有驱动机构。
2.根据权利要求1所述的离子注入机的分析器，其特征在于：所述活动丝杆通过一活动真空轴承安装在离子筛选管的侧壁上。
3.根据权利要求1所述的离子注入机的分析器，其特征在于：所述伸缩刷子在伸展状态时，伸缩刷子顶端位于离子束出口处；所述伸缩刷子在收叠状态时，位于垂直于离子束出口方向的离子筛选管侧壁一侧的沟槽内。
4.根据权利要求1所述的离子注入机的分析器，其特征在于：所述沟槽的深度为2-5厘米，沟槽宽度为3-5厘米。
5.根据权利要求1所述的离子注入机的分析器，其特征在于：所述驱动机构为步进电机。
6.根据权利要求1所述的离子注入机的分析器，其特征在于：所述伸缩刷子由耐高温、柔韧性好的高分子材料制成。
7.根据权利要求6所述的离子注入机的分析器，其特征在于：所述高分子材料为塑料或橡胶或纤维。
离子注入机的分析器
技术领域
背景技术
具体实施方式
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