一种低压环境退火去除基底材料表面附着杂质的方法
阅读：1015发布：2021-02-11
专利汇可以提供一种低压环境退火去除基底材料表面附着杂质的方法专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 提供了一种低压环境 退火 去除基底材料表面附着杂质的方法，该方法包括：将样品放入 退火炉 中并抽 真空 后，通入保护气体并维持保护气体气压，开启退火炉升温至退火 温度 并维持一定时间后，降温至室温后放真空，取出样品。目前，大部分剥离单 原子 层样品和CVD单原子层样品在实验中所沾染的杂质都是胶体或者油性杂质，在低压保护气环境下，选择合适的温度对附有样品的基底材料进行退火，可以使胶体、油污等杂质产生变性或变成气态，可以使杂质脱离基底表面，并且同时基本不影响样品本身的性质和性能。，下面是一种低压环境退火去除基底材料表面附着杂质的方法专利的具体信息内容。
一种低压环境退火去除基底材料表面附着杂质的方法
技术领域
[0001] 本发明涉及一种低压环境退火去除基底材料表面附着杂质的方法。
背景技术
[0002] 2010 年10 月09 日 瑞典皇家科学院5 日宣布，将2010 年诺贝尔物理学奖授予荷兰籍物理学家安德烈·海姆和拥有英国与俄罗斯双重国籍的物理学家康斯坦丁·诺沃肖洛夫，以表彰这对师生在石墨烯材料方面的卓越研究。瑞典皇家科学院常任秘书诺尔马克表示，两位学者制备出了石墨烯材料，并发现它所具有的非凡属性，向世界展示了量子物理学的奇妙。石墨烯为“完美原子晶体”，作为二维结构单层碳原子材料，强度相当于钢的 100 倍，导电性能好、导热性能强。作为电导体，它和铜有着一样出色的导电性；作为热导体，它比目前任何其他材料的导热效果都好。利用石墨烯，科学家能够研发一系列具有特殊性质的新材料。比如，石墨烯晶体管的传输速度远远超过目前的硅晶体管，因此有希望应用于全新超级计算机的研发；石墨烯还可以用于制造触摸屏、发光板，甚至太阳能电池。如果和其他材料混合，石墨烯还可用于制造更耐热、更结实的电导体，从而使新材料更薄、更轻、更富有弹性，因此其应用前景十分广阔。而很神奇的是，用普通胶带即可成功地从石墨中剥离出石墨烯，这种材料仅有一个碳原子厚，是目前已知的最薄的材料；目前机械剥离单原子层材料的制备方法都基于此而产生和发展。而我们发现普通的胶带剥离方法，在实际操作过程中，由于转移过程中，胶带要与基底材料紧密接触，甚至需要用外力胶带与基底材料压紧，因此常常会在基底表面残留大量胶带上的胶体；另外,在样品制备好之后的使用过程中，虽然像石墨烯、二硫化钼等样品，在空气中是稳定的，但是由于样品表面长期与空气接触，不可避免会有一些油污或细尘等会附着在样品表面，甚至覆盖了有用的样品。
发明内容
[0003] 为了去除基底材料表面在样品制作过程中附着的胶体和样品后期使用中沾染的油污等杂质，得到高品质机械剥离单原子层材料样品并持续保持其使用性能，本发明提供了一种低压环境退火去除基底材料表面附着杂质的方法。
[0004] 本发明解决其技术问题所采用的技术方案如下：目前，大部分剥离单原子层样品和CVD单原子层样品在实验中所沾染的杂质都是胶体或者油性杂质，而胶体和油性杂质在真空环境或保护气环境中的变性温度大多在200℃-500℃之间，低于样品材料在真空环境或保护气环境中的分解或变性温度。因此在低压保护气环境下，选择合适的温度对附有样品的基底材料进行退火，可以使胶体、油污等杂质产生变性或变成气态，可以使杂质脱离基底表面，并且同时基本不影响样品本身的性质和性能。
[0005] 本发明的有益效果是：可以去除新制备样品表面的胶体和油性杂质，制备出高质量样品，还可以去除部分被污染样品表面的污染物，恢复样品性能。
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