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一种基于双台交换系统的电流环辅助整定装置

阅读：237发布：2023-01-20

专利汇可以提供一种基于双台交换系统的电流环辅助整定装置专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且一种基于双台交换系统的电流环辅助整定装置，所述双台交换系统包括基台、两个结构相同的硅片台和平面电机，平面电机定子采用平面永磁阵列，动子采用线圈阵列，平面电机动子采用气浮支承，所述电流环辅助整定装置包括磁钢阵列、移动部件和驱动器组件，将平面电机动子安装于电流环辅助整定装置的移动部件上，采用驱动器依次对动子每组线圈进行电流环整定，整定完成后，将平面电机动子和线圈对应的驱动器移至双台交换系统。本发明为带有复杂动子线圈结构的单台或多台系统提供一种简单、快捷的电流环整定方式，避免单台或多台系统在电流环整定过程中在结构上或控制上增添附加设备造成的麻烦。，下面是一种基于双台交换系统的电流环辅助整定装置专利的具体信息内容。

权利要求

1.一种基于双台交换系统的电流环辅助整定装置，所述双台交换系统(100)包括基台(101)、平面电机和两个结构相同的硅片台(102)，平面电机定子(201)采用平面永磁阵列，固定安装在基台上；平面电机动子(202)采用气浮支承，底部为线圈阵列(202a)，两个硅片台(102)与所述平面电机动子(202)固定连接，其特征在于：所述电流环辅助整定装置(300)包括整定基座(303)、整定磁钢阵列(301)、移动部件(302)和驱动器组件(103)；
所述整定磁钢阵列(301)固定安装在整定基座(303)上，整定磁钢阵列(301)的排布方式与所述双台交换系统(100)的平面永磁阵列的排布方式一致；
所述移动部件(302)包括导轨基座(3020)、第一导轨(3021)、第二导轨(3027)、第三导轨(3028)、第一滑块(3022)、第二滑块(3023)、第三滑块(3025)、第四滑块(3026)、第一横梁(3024)和第二横梁(3029)；
其中导轨基座(3020)固定安装在整定基座(303)上，第一导轨(3021)沿X方向固定在导轨基座(3020)上；第一滑块(3022)、第二滑块(3023)、第三滑块(3025)和第四滑块(3026)均与第一横梁(3024)固定连接，且第一滑块(3022)和第二滑块(3023)在第一导轨(3021)上沿导轨运动；第二导轨(3027)在第三滑块(3025)上沿Y方向运动，第三导轨(3028)在第四滑块(3026)上沿Y方向运动；第二导轨(3027)和第三导轨(3028)通过第二横梁相连接；
所述驱动器组件(103)包括与平面电机线圈个数相同的多个驱动器，每组线圈对应一个驱动器，分别对线圈进行电流环整定。
2.根据权利要求1所述的一种基于双台交换系统的电流环辅助整定装置，其特征在于：所述的整定磁钢阵列(301)的尺寸大小为平面电机动子(202)尺寸的1.2～2倍。

说明书全文

一种基于双台交换系统的电流环辅助整定装置

技术领域

[0001] 本发明涉及电机线圈电流环整定装置，特别涉及硅片台单台或多台交换系统中控制系统的平面电机线圈电流环的辅助整定装置，属于平面电机线圈电流环整定技术。

背景技术

[0002] 现阶段，在实际控制工程领域中，驱动装置是必不可少的部分，各类驱动器的使用也较为广泛。在驱动器的使用过程，电流环的整定是关键一步，直接影响控制系统最终的性能。

[0003] 在结构较为复杂的控制系统中，电流环整定的简便性是需要考虑的问题。如磁悬浮平面电机系统，由于系统动子是自由悬浮的状态，在整定过程中需要在原有系统中人为加上如导轨之类能够约束动子运动的装置，完成电流环整定后，需要将导轨等约束动子的装置拆除，这样对整个系统在结构和控制上造成不必要的麻烦，而且浪费资源。因此，对于上述提到的系统，需要寻找一种更为方便直接的电流环整定的方式。

发明内容

[0004] 本发明的目的提供一种基于双台交换系统的电流环辅助整定装置，以克服单台或多台系统在电流环整定过程中在结构上或控制上增添附加设备造成的问题。在不改变原有系统结构的基础上，本发明提供了一种为电机电流环整定、实用且简便的辅助装置。

[0005] 为达到上述发明目的，本发明采取的技术方案如下：

[0006] 一种基于双台交换系统的电流环辅助整定装置，所述双台交换系统包括基台、两个结构相同的硅片台和平面电机，平面电机定子采用平面永磁阵列，固定安装在基台上；平面电机动子采用气浮支承，底部为线圈阵列，两个硅片台与所述平面电机动子固定连接，其特征在于，所述电流环辅助整定装置包括整定基座、整定磁钢阵列、移动部件和驱动器组件；

[0007] 所述整定磁钢阵列排布方式与所述双台交换系统的平面永磁阵列的排布方式一致，所述整定磁钢阵列固定安装在整定基座上；

[0008] 所述移动部件包括导轨基座、第一导轨、第二导轨、第三导轨、第一滑块、第二滑块、第三滑块、第四滑块、第一横梁和第二横梁；

[0009] 其中导轨基座固定安装在整定基座上，第一导轨沿X方向固定在导轨基座上；第一滑块、第二滑块、第三滑块和第四滑块均与第一横梁固定连接，且第一滑块和第二滑块在第一导轨上沿导轨方向运动；第二导轨与第三滑块相配合，第三导轨与第四滑块相配合，且第二导轨和第三导轨均沿Y方向；第二导轨和第三导轨通过第二横梁相连接；

[0010] 驱动器组件包括与平面电机线圈个数相同的多个驱动器，每组线圈对应一个驱动器，分别对线圈进行电流环整定。

[0011] 辅助整定装置磁钢阵列的尺寸大小为平面电机动子尺寸的1.2～2倍。

[0012] 由于采用了以上的技术方案，本发明具有以下优点及突出效果：实现了双台交换系统电机线圈的电流环整定，在不改变原有系统结构的基础上，提供了一种为电机电流环整定、实用且简便的辅助装置。本发明的技术效果对电机电流环整定方面研究和发展具有重要的实际意义。附图说明

[0013] 图1是本发明电流环辅助整定装置示意图。

[0014] 图2是本发明双台交换系统结构示意图。

[0015] 图3是本发明平面电机动子仰视图。

[0016] 图4是本发明电流环辅助整定装置仰视图。

[0017] 图5是本发明移动部件轴测图。

[0018] 图6是本发明移动部件主视图。

[0019] 其中：

[0020] 100-双台交换系统；101-基台；102-硅片台；103-驱动器装置；104-线缆；

[0021] 201-平面电机定子；202-平面电机动子；202a-线圈阵列；

[0022] 300-电流环辅助整定装置；301-整定磁钢阵列；302-移动部件；303-整定基座；

[0023] 3020-导轨基座；3021-第一导轨；3022-第一滑块；3023-第二滑块；3024-第一横梁；3025-第三滑块；3026-第四滑块；3027-第二导轨；3028-第三导轨；3029-第二横梁。

具体实施方式

[0024] 下面结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。

[0025] 图1为本发明电流环辅助整定装置示意图，图2为本发明双台交换系统结构示意图，双台交换系统100包括基台101、两个结构相同的硅片台102和平面电机，平面电机定子201采用平面永磁阵列，固定安装在基台上，平面电机动子202采用气浮支承，底部为线圈阵列202a，两个硅片台102与所述平面电机动子202固定连接，其特征在于，电流环辅助整定装置300包括整定基座303、整定磁钢阵列301、移动部件302和驱动器组件103。

[0026] 所述整定磁钢阵列301固定安装在整定基座303上，整定磁钢阵列301排布方式与所述双台交换系统100的平面永磁阵列的排布方式一致，考虑磁钢阵列的边界效应，整定磁钢阵列301尺寸大小为平面电机动子202尺寸的1.2～2倍。

[0027] 图5为本发明移动部件轴测图，图6为本发明移动部件主视图，移动部件302包括导轨基座3020、第一导轨3021、第二导轨3027、第三导轨3028、第一滑块3022、第二滑块3023、第三滑块3025、第四滑块3026、第一横梁3024和第二横梁3029。

[0028] 其中导轨基座3020固定安装在整定基座303上，第一导轨3021沿X方向固定在导轨基座3020上；第一滑块3022、第二滑块3023、第三滑块3025和第四滑块3026均与第一横梁3024固定连接，且第一滑块3022和第二滑块3023在第一导轨3021上沿导轨运动；第二导轨3027与第三滑块3025相配合，第三导轨3028与第四滑块3026相配合，且第二导轨3027和第三导轨3028均沿Y方向；第二导轨3027和第三导轨3028通过第二横梁相连接。

[0029] 驱动器组件103包括与平面电机线圈个数相同的多个驱动器。

[0030] 平面电机电流环辅助整定过程如下，平面电机动子202安装在电流环辅助整定装置300的移动部件302上，采用与线圈相对应的驱动器分别对平面电机动子202所有线圈进行电流环整定，所有线圈均整定完成后，将平面电机动子202和对应的驱动器，安装到双台交换系统100上。

[0031] 图3为本发明平面电机动子仰视图，其特征在于平面电机动子202下表面固定安装结构相同的四组三相线圈阵列202a，其中两组线圈沿X方向，其余两组线圈沿Y方向，每组三相线圈均采用星型连接方法。

[0032] 图4为本发明电流环辅助整定装置仰视图，一组线圈仅对应一个驱动器，在电流环整定过程中线圈与驱动器的对应关系应与双台交换系统相同，需保证两者的对应关系。

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