三轴模块化干式真空泵
阅读：463发布：2020-05-12
专利汇可以提供三轴模块化干式真空泵专利检索，专利查询，专利分析的服务。并且本 发明 公开了一种三轴模 块 化干式 真空 泵 ，包括泵体，泵体内设置有多级泵腔，每级泵腔的一侧设置有抽吸端口，每级泵腔的另一侧设置有排出端口，相邻 前级泵 腔的排出端口与相邻后级泵腔的抽吸端口连通；每级泵腔内均设置有中泵轴、第一侧泵轴和第二侧泵轴三根平行的泵轴，相邻前级泵腔的各泵轴与相邻后级泵腔的各泵轴一一对应连接，三根泵轴同速转动且中泵轴与第一侧泵轴和第二侧泵轴转动的方向相反；每级泵腔内均设置有成对 转子 ，奇数级泵腔的成对转子分别连接在中间的泵轴和第一侧泵轴上，偶数级泵腔的成对转子分别连接在中间的泵轴和第二侧泵轴上。本发明气体流通从 前级真空 腔到后级真空腔实现顺流，没有折弯，彻底解决了气体不连续的死 角 。，下面是三轴模块化干式真空泵专利的具体信息内容。
1.一种三轴模块化干式真空泵，包括泵体，所述泵体内设置有多级泵腔，相邻两级泵腔之间通过隔板隔开，每级泵腔的一侧设置有抽吸端口，每级泵腔的另一侧设置有排出端口，相邻前级泵腔的排出端口与相邻后级泵腔的抽吸端口连通，每级泵腔内均设置有中泵轴、第一侧泵轴和第二侧泵轴三根平行的泵轴，相邻前级泵腔的各泵轴与相邻后级泵腔的各泵轴一一对应同轴设置并传动连接，三根泵轴同速转动且中泵轴与第一侧泵轴和第二侧泵轴转动的方向相反，其特征在于：
每级泵腔内均设置有成对转子，所述成对转子容纳在泵腔内并彼此相啮合地转动，奇数级泵腔的成对转子分别连接在中间的泵轴和第一侧泵轴上，偶数级泵腔的成对转子分别连接在中间的泵轴和第二侧泵轴上。
2.根据权利要求1所述的三轴模块化干式真空泵，其特征在于：所述泵体的一端安装有齿轮箱，所述齿轮箱内设置有一个主动齿轮以及两个从动齿轮，所述主动齿轮与中泵轴连接，两个所述从动齿轮分别与第一侧泵轴和第二侧泵轴连接，主动齿轮分别与两个从动齿轮啮合；所述泵体的另一端安装有电机，所述电机与中泵轴传动连接。
3.根据权利要求1或2所述的三轴模块化干式真空泵，其特征在于：所述泵体由多级泵体单元依次串联而成，每级泵体单元对应一级泵腔，所述隔板连接在相邻两泵体单元之间，相邻前级泵腔的泵轴的一端通过轴承固定在隔板上并同轴设置有连接孔，相邻后级的泵腔的泵轴的对应端同轴设置有连接销，所述连接销与连接孔间隙配合并传动连接。
4.根据权利要求3所述的三轴模块化干式真空泵，其特征在于：所述连接孔内设置有支撑在连接孔的孔底和连接销的端部之间的压缩弹性件。
5.根据权利要求4所述的三轴模块化干式真空泵，其特征在于：所述压缩弹性件为波形弹簧。
6.根据权利要求3所述的三轴模块化干式真空泵，其特征在于：所述连接孔的内侧设置有轴向的定位键，所述连接销的上设置有与该定位键匹配的键槽，连接销与连接孔通过定位键与键槽的配合来实现传动。
7.根据权利要求3所述的三轴模块化干式真空泵，其特征在于：各泵体单元和隔板的四周均设置有轴向的定位孔，所述定位孔内设置有定位销，各泵体单元和隔板通过该定位销定位连接。
8.根据权利要求3所述的三轴模块化干式真空泵，其特征在于：所述轴承的两侧均设置有密封元件，所述密封元件包括迷宫密封和唇形密封，轴承的两侧均通过迷宫密封和唇形密封密封，所述隔板内设置有用于向轴承腔室通气的氮气平衡通道。
9.根据权利要求8所述的三轴模块化干式真空泵，其特征在于：所述隔板上的轴孔由前级泵腔到后级泵腔的方向呈台阶形扩大，所述轴承靠近前级泵腔的一侧通过迷宫密封抵紧在轴孔内的台阶上，轴承靠近相邻后级泵腔的一侧设置有锁紧螺母和轴承盖，所述轴承盖将轴承、密封元件和锁紧螺母封闭在轴孔内，轴承靠近后级泵腔的一侧通过锁紧螺母和轴承盖锁紧。
三轴模块化干式真空泵
技术领域
背景技术
[0002] 真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备，通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
[0003] 近些年来发展出来的新型真空泵如涡旋泵，螺杆泵，爪式泵，气冷罗茨真空泵，多级罗茨真空泵等都属于连续高效的干式真空泵(泵腔内没有密封液)，从节能减排、环境保护角度说，干式真空泵是未来发展的大趋势。
[0004] 罗茨真空泵和爪式真空泵在处理那些强氧化性、强酸、粉尘、粘性物以及脱水结晶物的工艺介质来说比螺杆泵要适应性更强，其原理是其有一对同步高速旋转的鞋底(或爪子)形的转子的旋转时，气体被吸入转轴和外壳之间的空间，并在转轴的端头经过入口时被卷入，继续旋转，转轴的对立端头经过出口边缘，卷入的气体被推出进入排放管道，转轴每旋转一圈，该动作就重复两次，因此，传动轴杆每旋转一圈，该动作就重复四次，该转子属于轴向同截面，气流是在截面和泵体之间流通。
[0005] 市场上现有的多级罗茨真空泵，爪式真空泵由于都是只采用了一对同步齿轮，叶轮共轴，反向旋转，使得每一个泵腔沿着轴向的进气和排气方向是一致的，从而气体流通从一个真空腔到下一级真空腔必须要通过2个180°的折弯，并且在折弯处留有气体不连续的死角，由于气流会形成死角，对于高沸点有机物，该气体在压缩过程中会出现液化、凝固，对于粉尘是很容易卡死在折弯和机械死角处，若是腐蚀性气体会在此浓度累积造成严重腐蚀，最终造成设备故障，因此多级罗茨真空泵只适合洁净气体的工艺使用。
发明内容
[0007] 本发明提供了一种三轴模块化干式真空泵，包括泵体，所述泵体内设置有多级泵腔，相邻两级泵腔之间通过隔板隔开，每级泵腔的一侧设置有抽吸端口，每级泵腔的另一侧设置有排出端口，相邻前级泵腔的排出端口与相邻后级泵腔的抽吸端口连通；每级泵腔内均设置有中泵轴、第一侧泵轴和第二侧泵轴三根平行的泵轴，相邻前级泵腔的各泵轴与相邻后级泵腔的各泵轴一一对应同轴设置并传动连接，三根泵轴同速转动且中泵轴与第一侧泵轴和第二侧泵轴转动的方向相反；每级泵腔内均设置有成对转子，所述成对转子容纳在泵腔内并彼此相啮合地转动，奇数级泵腔的成对转子分别连接在中间的泵轴和第一侧泵轴上，偶数级泵腔的成对转子分别连接在中间的泵轴和第二侧泵轴上。
[0008] 传统的多级罗茨真空泵、爪式真空泵只有两个轴，每一级的泵腔的气流流向相同，气体流通从前级泵腔到后级泵腔必须要通过2个180°的折弯，而本发明的泵腔内设置有三根平行的泵轴，奇数级泵腔的中泵轴和第一侧泵轴上安装有成对的转子，而第二侧泵轴上没有安装转子，中泵轴和第一侧泵轴带动两个转子在泵腔内相啮合地转动，使得气体从泵腔的吸气端口进入，排气端口排出，而偶数级泵腔的中泵轴和第二侧泵轴上安装有成对的转子，而第一侧泵轴上没有安装转子，使得偶数级泵腔的气流流向与奇数级泵腔的气流流向相反，这样，相邻前级泵腔的排出端口与相邻后级泵腔的吸气端口顺接，实现了气流顺流直通，无折弯，无死角，最短距离，该真空泵不仅具有螺杆真空泵螺杆的高效连续气流方式，同时也具有了比螺杆真空泵娇嫩的密封面更耐腐蚀，耐磨损，耐破损的罗茨密封面，使得本发明的真空泵可以处理更加恶劣的工艺环境，完全具备可替代液环泵，喷射泵那种高污染，高能耗，高恶劣环境的能力。
[0009] 进一步地，所述泵体的一端安装有齿轮箱，所述齿轮箱内设置有一个主动齿轮以及两个从动齿轮，所述主动齿轮与中泵轴连接，两个所述从动齿轮分别与第一侧泵轴和第二侧泵轴连接，主动齿轮分别与两个从动齿轮啮合；所述泵体的另一端安装有电机，所述电机与中泵轴传动连接。采用上述结构电机带动中间泵轴转动，中间泵轴通过主动齿轮带动两个从动齿轮同步转动，进而带动第一侧泵轴和第二侧泵轴转动，从而实现三根泵轴同速转动且中泵轴与第一侧泵轴和第二侧泵轴转动的方向相反。
[0010] 进一步地，所述泵体由多级泵体单元依次串联而成，每级泵体单元对应一级泵腔，所述隔板连接在相邻两泵体单元之间，相邻前级泵腔的泵轴的一端通过轴承固定在隔板上并同轴设置有连接孔，相邻后级的泵腔的泵轴的对应端同轴设置有连接销，所述连接销与连接孔间隙配合并传动连接。本发明的每一个泵体单元都是独立的，它实现了真空泵真正的模块化，即可以根据不同的泵体单元搭配，进而采用不同的级数和组合方式装配获得具有不同抽气量，不同真空度的产品；并且，真空泵在运行过程中，泵轴会产生轴向的膨胀位移和机械位移，本发明的每级泵腔的泵轴一端通过轴承固定轴承固定，另一端插入相邻前级的泵腔连接孔内，而前级泵腔的泵轴也正好被轴承固定，因此，该级泵腔的泵轴产生的轴向膨胀位移和机械位移直接在连接孔内消除，使得各级单独消除膨胀位移和机械位移，降低了膨胀位移和机械位移对该真空泵运行的影响。
[0011] 进一步地，所述连接孔内设置有支撑在连接孔的孔底和连接销的端部之间的压缩弹性件。压缩弹性件可以消除轴承的游隙，当泵轴产生轴向位移后，压缩弹性件受力压缩同时产生一个反向推力，消除固定端轴承的游隙，在泵轴产生的轴向位移消除后，压缩弹性件复位，确保所有的轴向间隙回复初始状态。
[0013] 进一步地，所述连接孔的内侧设置有轴向的定位键，所述连接销的上设置有与该定位键匹配的键槽，连接销与连接孔通过定位键与键槽的配合来实现传动。连接孔与连接销采用定位键与键槽的方式连接，既能满足泵轴之间的传动连接，同时还能保证转子安装的角度正确。
[0014] 进一步地，各泵体单元和隔板的四周均设置有轴向的定位孔，所述定位孔内设置有定位销，各泵体单元和隔板通过该定位销定位连接。各泵体单元和隔板通过该定位销定位连接，以确保各泵体单元和隔板的轴向同心连接，进而保证泵轴在高速旋转中不出现径向位移。
[0015] 进一步地，所述轴承的两侧均设置有密封元件，所述密封元件包括迷宫密封和唇形密封，轴承的两侧均通过迷宫密封和唇形密封密封，所述隔板内设置有用于向轴承腔室通气的氮气平衡通道。由于泵腔都是处于不同的真空状态，而隔板中的轴承腔压力通过氮气平衡通道保持略高于两侧泵腔的压力，确保在运行中工艺气体不会窜入轴承腔中，密封元件中的迷宫密封是包裹轴承腔中填充的润滑脂，增加润滑脂的流通阻力，避免轴承润滑脂被吸走，唇形密封则是彻底密封泵腔与轴承腔的接触，利用唇形密封的形变功能，可以确保当轴承腔内的压力太高过两侧的真空腔时，可以有微量的气体泄露过去，使得轴承腔内的压力平衡与两侧泵腔的压力，当平衡时，则完全起到密封作用，极大的延长了唇形密封的使用寿命和确保了轴承腔内所有零件的不会和工艺气体接触。
[0016] 进一步地，所述隔板上的轴孔由前级泵腔到后级泵腔的方向呈台阶形扩大，所述轴承靠近前级泵腔的一侧通过迷宫密封抵紧在轴孔内的台阶上，轴承靠近相邻后级泵腔的一侧设置有锁紧螺母和轴承盖，所述轴承盖将轴承、密封元件和锁紧螺母封闭在轴孔内，轴承靠近后级泵腔的一侧通过锁紧螺母和轴承盖锁紧。本发明的轴承通过上述结构固定在隔板上的轴孔内，轴承固定牢固，且便于安装。
[0017] 本发明的有益效果是：
[0018] (1)气体流通从前级真空腔到后级真空腔实现顺流，没有折弯，彻底解决了气体不连续的死角；
[0019] (2)采用模块化组合在一个平台上可以衍生出不同的产品，不仅极大的适应了市场上各个行业应用的需求，也大幅度减少了产品的零件型号，使得工厂在零部件采购，制造，质量，库存中可以进行了更优化的集中管理，实现更高效的精益化生产和提高质量；
[0020] (3)每级泵腔的泵轴一端通过轴承固定轴承固定，另一端插入相邻前级的泵腔连接孔内，而前级泵腔的泵轴也正好被轴承固定，因此，该级泵腔的泵轴产生的轴向膨胀位移和机械位移直接在连接孔内消除，使得各级单独消除膨胀位移和机械位移，降低了膨胀位移和机械位移对该真空泵运行的影响；
[0022] 为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
[0023] 图1为本发明实施例的正视结构示意图；
[0024] 图2为本发明实施例的泵体的纵向剖视图；
[0025] 图3为本发明实施例的奇数级泵体单元的横截面示意图；
[0026] 图4为本发明实施例的偶数级泵体单元的横截面示意图；
[0027] 图5为本发明实施例的齿轮箱的内部结构示意图；
[0028] 图6为本发明实施例的隔板的结构示意图；
[0029] 图7为本发明实施例的相邻两级泵腔的泵轴的连接示意图。
[0030] 附图中，1表示泵体；101表示泵体单元；2表示泵腔；201表示抽吸端口；202表示排出端口；3表示隔板；301表示轴孔；4表示泵轴；401表示中泵轴；402表示第一侧泵轴；403表示第二侧泵轴；5表示转子；6表示齿轮箱；601表示主动齿轮；602表示从动齿轮；7表示电机；8表示轴承；9表示连接孔；10表示连接销；11表示压缩弹性件；121表示定位键；122表示键槽；131表示定位孔；132表示定位销；14表示迷宫密封；15表示唇形密封；16表示氮气平衡通道；17表示锁紧螺母；18表示轴承盖。
具体实施方式
[0031] 下面将结合附图对本实施例技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实施例的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本实施例的保护范围。
[0032] 如图1-图7所示，本发明提供了一种三轴模块化干式真空泵，包括泵体1，泵体1由多级泵体单元101依次串联而成，每级泵体单元101对应设置有一级泵腔2，相邻泵体单元101之间通过隔板3相连，且泵腔2之间通过隔板3隔开。
[0033] 参照图2-图4，每级泵腔2的一侧设置有抽吸端口201，每级泵腔2的另一侧设置有排出端口202，相邻前级泵腔2的排出端口202与相邻后级泵腔2的抽吸端口201连通；每级泵腔2内均设置有中泵轴401、第一侧泵轴402和第二侧泵轴403三根平行的泵轴4，相邻前级泵腔2的各泵轴4与相邻后级泵腔2的各泵轴4一一对应同轴设置并传动连接，三根泵轴4同速转动且中泵轴401与第一侧泵轴402和第二侧泵轴403转动的方向相反。具体地，如图5所示，本实施例的泵体1的一端安装有齿轮箱6，齿轮箱6内设置有一个主动齿轮601以及两个从动齿轮602，主动齿轮601与中泵轴401连接，两个从动齿轮602分别与第一侧泵轴402和第二侧泵轴403连接，主动齿轮601分别与两个从动齿轮602啮合，泵体1的另一端安装有电机7，电机7与中泵轴401传动连接，这样，通过电机7带动中间泵轴4转动，中间泵轴4通过主动齿轮601带动两个从动齿轮602同步转动，进而带动第一侧泵轴402和第二侧泵轴403转动，从而实现三根泵轴4同速转动且中泵轴401与第一侧泵轴402和第二侧泵轴403转动的方向相反。
本实施例的每级泵腔2内均设置有成对转子5，成对转子5容纳在泵腔2内并彼此相啮合地转动，奇数级泵腔2的成对转子5分别连接在中间的泵轴4和第一侧泵轴402上，偶数级泵腔2的成对转子5分别连接在中间的泵轴4和第二侧泵轴403上。
本实施例的每级泵腔2内均设置有成对转子5，成对转子5容纳在泵腔2内并彼此相啮合地转动，奇数级泵腔2的成对转子5分别连接在中间的泵轴4和第一侧泵轴402上，偶数级泵腔2的成对转子5分别连接在中间的泵轴4和第二侧泵轴403上。
[0034] 传统的多级罗茨真空泵、爪式真空泵只有两个轴，每一级的泵腔2的气流流向相同，气体流通从前级泵腔2到后级泵腔2必须要通过2个180°的折弯，而本发明的泵腔2内设置有三根平行的泵轴4，奇数级泵腔2的中泵轴401和第一侧泵轴402上安装有成对的转子5，而第二侧泵轴403上没有安装转子5，中泵轴401和第一侧泵轴402带动两个转子5在泵腔2内相啮合地转动，使得气体从泵腔2的吸气端口进入，排气端口排出，而偶数级泵腔2的中泵轴401和第二侧泵轴403上安装有成对的转子5，而第一侧泵轴402上没有安装转子5，使得偶数级泵腔2的气流流向与奇数级泵腔2的气流流向相反，这样，相邻前级泵腔2的排出端口202与相邻后级泵腔2的吸气端口顺接，实现了气流顺流直通，无折弯，无死角，最短距离，该真空泵不仅具有螺杆真空泵螺杆的高效连续气流方式，同时也具有了比螺杆真空泵娇嫩的密封面更耐腐蚀，耐磨损，耐破损的罗茨密封面，使得本发明的真空泵可以处理更加恶劣的工艺环境，完全具备可替代液环泵，喷射泵那种高污染，高能耗，高恶劣环境的能力。
[0035] 参照图6和图7，相邻前级泵腔2的泵轴4的一端通过轴承8固定在隔板3上并同轴设置有连接孔9，相邻后级的泵腔2的泵轴4的对应端同轴设置有连接销10，连接销10与连接孔9间隙配合并传动连接，真空泵在运行过程中，泵轴4会产生轴向的膨胀位移和机械位移，本发明的每级泵腔2的泵轴4一端通过轴承8固定轴承8固定，另一端插入相邻前级的泵腔2连接孔9内，而前级泵腔2的泵轴4也正好被轴承8固定，因此，该级泵腔2的泵轴4产生的轴向膨胀位移和机械位移直接在连接孔9内消除，使得各级单独消除膨胀位移和机械位移，降低了膨胀位移和机械位移对该真空泵运行的影响。本实施例的连接孔9的内侧设置有轴向的定位键121，连接销10的上设置有与该定位键121匹配的键槽122，连接销10与连接孔9通过定位键121与键槽122的配合来实现传动，连接孔9与连接销10采用定位键121与键槽122的方式连接，既能满足泵轴4之间的传动连接，同时还能保证转子5安装的角度正确，本实施的连接孔9与连接销10的结构形式不限于此，还可以采用花键或者其他方式。
[0036] 连接孔9内设置有支撑在连接孔9的孔底和连接销10的端部之间的压缩弹性件11，本实施例的压缩弹性件11优选为波形弹簧，压缩弹性件11可以消除轴承8的游隙，当泵轴4产生轴向位移后，压缩弹性件11受力压缩同时产生一个反向推力，消除固定端轴承8的游隙，在泵轴4产生的轴向位移消除后，压缩弹性件11复位，确保所有的轴向间隙回复初始状态。
[0037] 本实施例的各泵体单元101和隔板3的四周均设置有轴向的定位孔131，定位孔131内设置有定位销132，各泵体单元101和隔板3通过该定位销132定位连接，以确保各泵体单元101和隔板3的轴向同心连接，进而保证泵轴4在高速旋转中不出现径向位移。
[0038] 本实施例的每一个泵体单元101都是独立的，它实现了真空泵真正的模块化，即可以根据不同的泵体单元101搭配，进而采用不同的级数和组合方式装配获得具有不同抽气量，不同真空度的产品，对于不同真空度的需求，三轴模块化干式真空泵可以灵活的使用2级或3级甚至更多的4级，5级泵体单元101连接，最终的装配的设备获得不同的入口真空度的能力。
[0039] 现市场的真空泵为了控制真空度需要通过各种手段等来实现，不仅浪费了设备的效能，还增加了使用者的获得相应真空能力的有效成本，例如原客户只需要-0.07kpa真空，过高的真空不适合其所需要的工艺，而类似像螺杆泵，多级罗茨泵，液环泵都可以提供超出数量等级高真空，为了维持指定的真空，通过阀门调节，调频降速，或者尾气回补都是牺牲了设备的最佳或最大性能，当然企业也不会因为部分的使用客户的工艺再去花很大的成本开发一个平台，本实施例的三轴模块化干式真空泵通过减少模块级数就可以直接满足客户工艺需要，既减少了成本，又不需要开发新的平台。
[0040] 三轴模块化干式真空泵还可以灵活的让第一级(吸入口)的泵体单元101不同模块化的并联，增加了第一级转子5的长度来提高该泵了最大基本抽气能力(所有真空泵的最大抽气量都是有吸入口的转子5容积确定的，像液环泵，多级罗茨真空泵通过增加转子长度既可以在一定范围内提高其最大抽气能力，螺杆泵、涡旋泵等非轴向同截面是不能通过转子加长来实现提高抽气能力的)。
[0041] 同时采用了模块化的设计，泵体单元101的任意组合也不会影响气流的方向，唯一的变化就是，当真空泵吸入口是在上方的时候，用奇数级数的泵体单元101，其排气口最终是向下的，而采用偶数级数的真空泵，其排气口最终是朝上的。由于该真空泵的模块化的属性，也可以采用真空泵吸入口朝下方的，此时通过改变电机7旋转的方向，可以确保任何级数的真空泵的最终排气口都可以朝下，完全适应那些粉尘比较大，有大量冷凝液的工艺，当然对于一些洁净的工艺气体，也可以采用排气口朝上的配置方案，总之任何的变化都能适应市场的需求。
[0042] 因此，本实施例的三轴模块化真空泵在一个平台上可以衍生出不同的产品，不仅极大的适应了市场上各个行业应用的需求，也大幅度减少了产品的零件型号，使得工厂在零部件采购，制造，质量，库存中可以进行了更优化的集中管理，实现更高效的精益化生产和提高质量。
[0043] 参照图7，轴承8的两侧均设置有密封元件，密封元件包括迷宫密封14和唇形密封15，轴承8的两侧均通过迷宫密封14和唇形密封15密封，隔板3内设置有用于向轴承8腔室通气的氮气平衡通道16(如图6所示)。由于泵腔2都是处于不同的真空状态，而隔板3中的轴承
8腔压力通过氮气平衡通道16保持略高于两侧泵腔2的压力，确保在运行中工艺气体不会窜入轴承8腔中，密封元件中的迷宫密封14是包裹轴承8腔中填充的润滑脂，增加润滑脂的流通阻力，避免轴承8润滑脂被吸走，唇形密封15则是彻底密封泵腔2与轴承8腔的接触，利用唇形密封15的形变功能，可以确保当轴承8腔内的压力太高过两侧的真空腔时，可以有微量的气体泄露过去，使得轴承8腔内的压力平衡与两侧泵腔2的压力，当平衡时，则完全起到密封作用，极大的延长了唇形密封15的使用寿命和确保了轴承8腔内所有零件的不会和工艺气体接触。
8腔压力通过氮气平衡通道16保持略高于两侧泵腔2的压力，确保在运行中工艺气体不会窜入轴承8腔中，密封元件中的迷宫密封14是包裹轴承8腔中填充的润滑脂，增加润滑脂的流通阻力，避免轴承8润滑脂被吸走，唇形密封15则是彻底密封泵腔2与轴承8腔的接触，利用唇形密封15的形变功能，可以确保当轴承8腔内的压力太高过两侧的真空腔时，可以有微量的气体泄露过去，使得轴承8腔内的压力平衡与两侧泵腔2的压力，当平衡时，则完全起到密封作用，极大的延长了唇形密封15的使用寿命和确保了轴承8腔内所有零件的不会和工艺气体接触。
[0044] 隔板3上的轴孔301由前级泵腔2到后级泵腔2的方向呈台阶形扩大，轴承8靠近前级泵腔2的一侧通过迷宫密封14抵紧在轴孔301内的台阶上，需要解释的是，迷宫密封14包括动环和静环，迷宫密封14的动环和泵轴4固定并抵紧在轴承8的内圈上，动环随泵轴4一起转动，迷宫密封14的静环抵紧在轴承8的外圈上。轴承8靠近相邻后级泵腔2的一侧设置有锁紧螺母17和轴承盖18，锁紧螺母17抵紧在轴承8的内圈上，轴承盖18的内端抵紧在轴承8的外圈上，同时轴承盖18将轴承8、密封元件和锁紧螺母17封闭在轴孔301内，轴承8靠近后级泵腔2的一侧通过锁紧螺母17和轴承盖18锁紧，这样，即可将轴承8牢固地固定在隔板3上的轴孔301内，安装非常方便。
[0045] 本实施例第一级的泵体1的齿轮箱6处采用唇形密封15和机械密封两者同时配合，避免工艺气体进入接触齿轮箱6中的润滑油，对从齿轮和轴承8造成腐蚀等损害。中隔板3腔室中两端采用唇形密封15和封闭填充润滑脂球轴承8，并利用微负压(微正压)的氮气在中隔板3的氮气平衡通道16进行轴承8保护，最后一级泵体1的端盖可以采用唇形密封15+氮封平衡或者唇形密封15+机械密封来实现保护。
[0046] 整个泵体1采用全水冷夹套，冷却水从驱动端端盖进入后，通过折流会填充整个端盖，中隔板3和所有泵体单元101的夹层，最终冷却水从齿轮端的端盖流出。
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